Massenspektrometer
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![8252-Transpector-APX-Multi-Pressure 8252-Transpector-APX-Multi-Pressure](/uploads/media/323x215/02/8252-Transpector-APX-Multi-Pressure.png?v=1-0)
Massenspektrometer
Transpector APX mit Multi-Pressure-Inlet-System
Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
Transpector APX mit Multi-Pressure-Inlet-System
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
![8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure 8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure](/uploads/media/323x215/01/8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure.png?v=2-0)
Massenspektrometrie
Transpector® APX ALD für spezialisierten Prozessdruck Bereich
Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
Transpector® APX ALD für spezialisierten Prozessdruck Bereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
![7484-Transpector-XPR3%2B 7484-Transpector-XPR3%2B](/uploads/media/323x215/04/7484-Transpector-XPR3%2B.png?v=1-0)
Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
![899-Transpector-MPH 899-Transpector-MPH](/uploads/media/323x215/09/899-Transpector-MPH.png?v=1-0)
Massenspektrometer
Transpector® MPH
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPH
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
![900-Transpector-MPS 900-Transpector-MPS](/uploads/media/323x215/00/900-Transpector-MPS.png?v=1-0)
Massenspektrometer
Transpector® MPS
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPS
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
![901-Transpector-CPM 901-Transpector-CPM](/uploads/media/323x215/01/901-Transpector-CPM.png?v=1-0)
Massenspektrometer
Transpector® CPM 3
Vielseitige Prozessüberwachung von Hochvakuum bis Prozessdruck
Transpector® CPM 3
- Idealer Halbleiter-Prozessmonitor
- Mehrdruck-Probenahmeeingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integrierte Differenzialpumpe
![1146-Transpector-SPS 1146-Transpector-SPS](/uploads/media/323x215/06/1146-Transpector-SPS.png?v=1-0)
Massenspektrometer
Transpector® SPS
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
Transpector® SPS
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem
![1145-QMG700 1145-QMG700](/uploads/media/323x215/05/1145-QMG700.png?v=1-0)
Massenspektrometer
QMG 700
QMG 700 Analytisches Massenspektrometer zum Durchbrechen von Nachweisgrenzen und zum Vorantreiben Ihres Prozesses auf die nächste Stufe der Innovation
QMG 700
- Massenbereichvarianten von 1-512 AMU
- Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
- Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
![1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart 1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart](/uploads/media/323x215/04/1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart.png?v=1-0)
Massenspektrometer
Gerätewagen für Transpector® CPM
Ermöglicht den Einsatz des Transpector CPM als mobiles Instrument zur Fehlersuche
Gerätewagen für Transpector® CPM
- Flexibel genug, um einen Transpector CPM dorthin zu bringen, wo Sie ihn brauchen
- Eine kleine Stellfläche, die auch in enge Räume passt
- Ein komplettes System, das alles enthält, was für den Betrieb des Transpector CPM benötigt wird