QMG 700
Überwindung von Nachweisgrenzen durch unerreichte Stabilität und verbesserte Auflösung
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Die rasante Weiterentwicklung der Halbleiterfertigung erfordert schnelle und zuverlässige Gasanalyselösungen. Ob in der Fertigung oder im Labor - das Analytische Massenspektrometer INFICON QMG 700 überwindet Nachweisgrenzen und treibt Ihren Prozess auf die nächste Entwicklungsstufe voran. Das QMG 700 bietet unerreichte Leistungsstärke und Anpassungsfähigkeit in einem modularen Design. Erhöhen Sie Ihren Wettbewerbsvorteil mit dem QMG 700 und erzielen Sie ein Höchstmaß an Messfähigkeit.
Wählen Sie aus einer breiten Palette an Ionenquellen, Massenfiltern und HF-Generatoren, um das QMG 700 Ihren spezifischen Anwendungen anzupassen. Das QMG 700 umfasst einen dynamischen Bereich über mehr als neun Messdekaden und Nachweisgrenzen im ppb-Bereich, was es zum idealen Gerät für Messungen im Ultrahochvakuum macht. Das QMG 700 bietet Einheitsauflösung über den gesamten Massenbereich und sogar noch höhere Auflösung bei niedrigen Massen. Das Gerät ist eine hervorragende Lösung für anspruchsvollste Messaufgaben, einschließlich Isotopenanalysen, z. B. bei der Trennung von Helium und Deuterium. Steuern Sie Ihren Prozess mit dem QMG 700 und vertrauen Sie auf seine langfristige Stabilität zum Schutz kritischer Messungen.
INFICONs mehr als 40-jährige Erfahrung und Kompetenz auf dem Gebiet der analytischen Massenspektrometrie garantiert, dass das QMG 700 die richtige Wahl für Ihre nächste Investition im Bereich der Gasanalyse ist. Für gleichbleibende Genauigkeit und präzise Ergebnisse können Sie sich auf das INFICON QMG 700 und unsere weltweite Anwendungserfahrung verlassen.
Merkmale
- Optionen für den Massenbereich von 1-512 amu
- Mehr als neun Dekaden dynamischer Bereich
- E xtrem schnelle Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
- Hohe Auflösung über den gesamten Massenbereich: Die Massen 1, 2 und 3 sind im ppb-Bereich klar trennbar
- Mehrere verschiedene Ionenquellenoptionen
- Diskrete oder kontinuierliche Dynoden-Elektronenvervielfacher-Optionen
- IO-Option: 8 analoge Eingänge/Ausgänge und 32 digitale Eingänge/Ausgänge
- Leistungsstarke Software mit flexibler und benutzerfreundlicher Schnittstelle
Typische Anwendungen
- Gasentladungs-Massenspektrometrie
- Endpunktbestimmung
- Überwachung des Abscheidungsmaterials
- Sekundärionenmassenspektrometrie
Spezifikationen
| Massenbereich | 1-512 amu (1) |
| Sensorlänge | 441.5 mm |
| Stabdurchmesser | 8 mm |
| Stabmaterial | Molybdenum |
| Flansch | DN 63 CF-F |
| Detektortyp | Faraday/SEV 217 |
| Max. Betriebsdruck (FC) | 1 E-4 mbar |
| Max. Betriebsdruck (EM) | 1 E-5 mbar |
| Empfindlichkeit | 5 E-4 A/mbar |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 1 E-15 mbar |
| Auflösung (einstellbar) | 0.3 - 7 amu |
| Partialdruckverhältnis | < 0.5 ppb |
| Max. Ausheiztemp. Sensor | 150 °C |
| Max. Ausheiztemp. | 400 °C |
| Max. Ausheiztemp. Elektronik | 40 °C |
| Messgeschwindigkeit | 0.125 ms - 60 s/amu |
| Stromversorgung | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 ist erhältlich für Massenbereiche: 1-512 AMU. | |
| (2) QMA 410 ist erhältlich für die Massenbereiche: 1-128 AMU. Die QMA 410-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 128 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle. | |
| Massenbereich | 1-340 amu (2) |
| Sensorlänge | 548 mm |
| Stabdurchmesser | 16 mm |
| Stabmaterial | Molybdenum |
| Flansch | DN 100 CF-F |
| Detektortyp | Faraday/SEV 217 |
| Max. Betriebsdruck (FC) | 1 E-4 mbar |
| Max. Betriebsdruck (EM) | 1 E-5 mbar |
| Empfindlichkeit | 1 E -3 A/mbar |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 5 E-16 mbar |
| Auflösung (einstellbar) | 0.2 - 2.2 amu |
| Partialdruckverhältnis | < 0.5 ppb |
| Max. Ausheiztemp. Sensor | 150 °C |
| Max. Ausheiztemp. | 400 °C |
| Max. Ausheiztemp. Elektronik | 40 °C |
| Messgeschwindigkeit | 0.125 ms - 60 s/amu |
| Stromversorgung | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 ist erhältlich für Massenbereiche: 1-512 AMU. | |
| (2) QMA 410 ist erhältlich für die Massenbereiche: 1-128 AMU. Die QMA 410-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 128 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle. | |
| Massenbereich | 1-300 amu |
| Sensorlänge | 441.5 mm |
| Stabdurchmesser | 8 mm |
| Stabmaterial | Stainless Steel |
| Flansch | DN 63 CF-F |
| Detektortyp | Faraday/SEV 217 |
| Max. Betriebsdruck (FC) | 1 E-4 mbar |
| Max. Betriebsdruck (EM) | 1 E-5 mbar |
| Empfindlichkeit | 2 E-4 A/mbar |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 1 E-15 mbar |
| Auflösung (einstellbar) | 0.3 - 7 amu |
| Partialdruckverhältnis | < 0.5 ppb |
| Max. Ausheiztemp. Sensor | 150 °C |
| Max. Ausheiztemp. | 400 °C |
| Max. Ausheiztemp. Elektronik | 40 °C |
| Messgeschwindigkeit | 0.125 ms - 60 s/amu |
| Stromversorgung | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 ist erhältlich für Massenbereiche: 1-512 AMU. | |
| (2) QMA 410 ist erhältlich für die Massenbereiche: 1-128 AMU. Die QMA 410-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 128 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle. | |
Artikelnummern
| 490-715 | QMA 400 with Grid Ion Source |
| 450-119 | Deckplatte kpl. DMM spez. |
| 490-601 | QMA 400 for PPM 422 standard |
| 490-700 | QMA 400 with Axial Ion Source |
| 490-701 | QMA 400 with Crossbeam |
| 490-702 | QMA 400, SEM 217, Crossbeam, Yt |
| 490-810 | QMA 410 with Axial Ion Source |
| 490-812 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT |
| 490-817 | QMA 410, SEM 217, crossbeam, Yt |
| 490-821 | QMA 410 Quadrup.-Analysator |
| 490-830 | QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218 |
| 490-901 | QMA 430 mit CB-IQ, Faraday |
| 490-910 | QMA 430 with Axial-IQ, 90° SEV217 |
| 490-913 | QMA 430 with Grid Ion Source |
| 490-914 | QMA 430 grid Ion Source, vac.-annealed |
| 490-916 | QMA 430, CB-IQ without SEV217 |
| 490-917 | QMA 430 with CB Ion source, Gas Tight |
| 490-918 | QMA 430, CB Ion Source without SEV217 |
| 490-943 | QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT |
