Transpector® APX ALD für spezialisierten Prozessdruck Bereich
Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Minimierung des Ausschusses und Maximierung des Ertrags in Echtzeit
INFICON Transpector APX ist der marktführende Restgasanalysator (RGA) für die Prozessüberwachung in der Halbleiter- und Displayindustrie. Anwender in der Halbleiter- und Displayindustrie haben ganz besondere Anforderungen. Die neueste Version des Transpector APX bietet mehr Flexibilität, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen, und behält dabei die branchenführende Messgeschwindigkeit und Empfindlichkeit bei. Transpector APX ist der ideale RGA-Prozessmonitor für Halbleiterprozesse wie ALD, CVD, PVD und ETCH.
Das Transpector APX ALD Single Pressure Inlet System der nächsten Generation ist so konzipiert, dass es resistent gegen aggressive Prozesschemikalien ist und damit auch in schwierigen Prozessen wie ALD oder PECVD erfolgreich zum Einsatz kommen kann Dies ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung und Erfassung von Datenpunkten bei allen kritischen Prozessschritten. Darüber hinaus ist der Einlass temperaturgesteuert und damit resistent gegen korrosive Gase, was für die Endpunkt Detektion und Überwachung in Prozesskammern unerlässlich ist.
Vorteile
- Anwendungsspezifisches Plattformdesign für die längste Lebensdauer Ihres ALD- oder CVD-Prozesses zum besten Schutz von Wafern und Substraten und zur Optimierung Ihres Prozesses
- ALD-fähig mit Messgeschwindigkeiten von über 550 Datenpunkten pro Sekunde
- 30% weniger Platzbedarf in der Fabrik und einfachere Installation durch ein integriertes Hochleistungspumpsystem
- Temperaturgeregelter Einlass mit INFICON-eigener Beschichtung für hochspezialisierten Gaseinlass, der auch aggressiven chemischen Substanzen standhält
- Automatische Kalibrierung gewährleistet langfristige Datenzuverlässigkeit und Genauigkeit bei der Anpassung von Sensor zu Sensor und Werkzeug zu Werkzeugkammer
- Transpector APX wird zu einem noch leistungsstärkeren Prozessüberwachungs- und Diagnosewerkzeug, wenn es in die FabGuard® Software integriert und von INFICONs weltweit führenden Anwendungsexperten unterstützt wird
Spezifikationen
| Gesamtdruckbereich | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Nachweisgrenze | <10 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar |
| Gesamtdruckbereich | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Nachweisgrenze | <25 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar |
| Gesamtdruckbereich | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Nachweisgrenze | <50 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
Verbrauchsmaterial
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 969-800-G1S | APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD |
| 969-800-G2S | APX CIS Coated Filament Kit GOLD |
| 969-801-G1S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G2S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 969-801-G3S | APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G4S | APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 961-707-G1 | Electron Multiplier Replacement Kit |
| 923-418-G2 | Replacement diaphragm kit for 2-stage pump |
