Transpector APX mit Multi-Pressure-Inlet-System
Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Minimierung von Ausschuss und Maximierung des Ertrags in Echtzeit
INFICON Transpector APX ist der marktführende Restgasanalysator (RGA) für die Prozessüberwachung in der Halbleiter- und Displayindustrie. Anwender in der Halbleiter- und Displayindustrie haben ganz besondere Anforderungen. Die neueste Version des Transpector APX bietet mehr Flexibilität, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen, und behält dabei die branchenführende Messgeschwindigkeit und Empfindlichkeit bei. Transpector APX ist der ideale RGA-Prozessmonitor für Halbleiterprozesse wie ALD, CVD, PVD und ETCH.
Das Transpector APX Multi-Pressure-Inlet-System der nächsten Generation ist so konzipiert, dass auch in schwierigen Prozessen wie ALD oder PECVD erfolgreich zum Einsatz kommen kann. Es ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung und Erfassung von Datenpunkten bei allen kritischen Prozessschritten. Darüber hinaus ist der HexBlock-Einlass mit einer INFICON-eigenen Beschichtung für die Beständigkeit gegen korrosive Gase erhältlich, die für die Endpunkt Detektion und Überwachung in Prozesskammern unerlässlich ist.
Vorteile
- Anwendungsspezifisches Plattformdesign für längste Lebensdauer Ihres ALD- oder CVD-Prozesses zum besten Schutz von Wafern und Substraten und zur Prozessoptimierung
- ALD-fähig mit Messgeschwindigkeiten von über 550 Datenpunkten pro Sekunde
- 30% weniger Platzbedarf in der Fabrik und einfachere Installation durch ein leistungsstarkes Pumpsystem
- Konfigurierbarer HexBlock™ mit INFICON-eigener Beschichtung mit bis zu drei Druckbereichen, die aggressiven korrosiven Chemikalien standhalten
- Automatische Kalibrierung gewährleistet langfristige Datenzuverlässigkeit und Genauigkeit bei der Abstimmung von Sensor zu Sensor und Werkzeug zu Werkzeugkammer
- Transpector APX wird zu einem noch leistungsstärkeren Prozessüberwachungs- und Diagnosewerkzeug, wenn es in die FabGuard® Software integriert und von INFICONs weltweit führenden Anwendungsexperten unterstützt wird
Spezifikationen
| Gesamtdruckbereich | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Nachweisgrenze | <10 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar |
| Gesamtdruckbereich | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Nachweisgrenze | <25 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar |
| Gesamtdruckbereich | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Nachweisgrenze | <50 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
Verbrauchsmaterial
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 969-800-G1S | APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD |
| 969-800-G2S | APX CIS Coated Filament Kit GOLD |
| 969-801-G1S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G2S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 969-801-G3S | APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G4S | APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 961-707-G1 | Electron Multiplier Replacement Kit |
| 923-418-G2 | Replacement diaphragm kit for 2-stage pump |
