Massenspektrometer

Transpector® CPM 3

Schnelles, betriebsbereites System zur Prozessüberwachung

Leistungsstärke, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit

Der Transpector CPM von INFICON ist seit mehr als 10 Jahren der marktführende Restgasanalysator (RGA) zur Prozessüberwachung in der Halbleiterindustrie. Der Transpector CPM 3 bietet jetzt branchenführende Messgeschwindigkeit und Messempfindlichkeit durch sein praxiserprobtes Pump- und Einlasssystem in Verbindung mit einem neuen Sensor und neuer Elektronik. Der Transpector CPM 3 ist der ideale RGA-Prozessmonitor für neue und etablierte Halbleiterprozesse wie ALD, CVD, PVD und Ätzen.

Der Transpector CPM 3 liefert unseren Partnern eine nachweislich höhere Investitionsrendite durch:

Branchenführende Messtechnik
Robuste und adaptive Architektur
Wartungsfreundlichkeit
Hervorragenden Produktsupport

Merkmale

Restgasanalysegerät für ALD, Ätzen, CVD und 300 mm Degas zur Prozessüberwachung und -analyse in Echtzeit
Betriebsbereit für ALD mit einer Messgeschwindigkeit von 1,8 ms pro Punkt (555 Punkte pro Sekunde)
Praxiserprobte Langlebigkeit und Zuverlässigkeit in anspruchsvollsten CVD- und Ätzanwendungen
Anwendungsintegration – In Verbindung mit der FabGuard-Software und den kompetenten Anwendungsexperten von INFICON wird der Transpector CPM zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Prozessüberwachung und Diagnose
Seine kompakte Größe ermöglicht die einfache Integration in Anlagen zur Halbleiterfertigung
Hexblock™ mit bis zu drei Druckeingängen und reduzierter Oberfläche zur Minimierung von Oberflächenreaktionen und Ansprechzeiten
Kapazitätsmembran-Messgerät (CDG) – CDG ermöglicht die bedienerseitige Überwachung des Prozessdrucks und schützt das System automatisch vor Druckabweichungen
Automatische Kalibrierung – garantiert langfristige Datenstabilität und Genauigkeit zum Kammerabgleich individueller Sensoren und Geräte

Spezifikationen

100 AMU CPM

200 AMU CPM

300 AMU CPM

Totaldruckbereich	5E-7 - 1E-3 Torr

Nachweisgrenze	< 1 ppm

Systembetriebsdruck	1E-8 Torr - 1.2 atm

Empfindlichkeit (Niedrige Emission)	> 4E-6 Amps/Torr

Empfindlichkeit (Hohe Emission)	> 2E-5 Amps/Torr

Totaldruckbereich	5E-7 - 1E-3 Torr

Nachweisgrenze	< 2 ppm

Systembetriebsdruck	1E-8 Torr - 1.2 atm

Empfindlichkeit (Niedrige Emission)	> 2E-6 Amps/Torr

Empfindlichkeit (Hohe Emission)	> 1E-5 Amps/Torr

Totaldruckbereich	5E-7 - 1E-3 Torr

Nachweisgrenze	< 4 ppm

Systembetriebsdruck	1E-8 Torr - 1.2 atm

Empfindlichkeit (Niedrige Emission)	> 1E-6 Amps/Torr

Empfindlichkeit (Hohe Emission)	> 5E-6 Amps/Torr

Spezifikationen herunterladen

Verbrauchsmaterial

100 AMU CPM

200 AMU CPM

300 AMU CPM

Artikelnummer	Beschreibung
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10	30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G3	10 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G4	1 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G6	10 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7	360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G8	15 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G9	3 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G1	10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2	100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G3	7 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Artikelnummer	Beschreibung
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10	30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G3	10 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G4	1 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G6	10 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7	360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G8	15 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G9	3 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G1	10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2	100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G3	7 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

300 AMU CPM
Artikelnummer	Beschreibung
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10	30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G3	10 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G4	1 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G6	10 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7	360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G8	15 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G9	3 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G1	10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2	100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G3	7 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Ersatzteile

100 AMU CPM

200 AMU CPM

300 AMU CPM

Artikelnummer	Beschreibung
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring
915-724-G1	Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1	Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3	Capillary assembly - 3 m
923-403-P2	CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1	HexBlock valve replacement kit
923-712-G1	Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable

Artikelnummer	Beschreibung
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring
915-724-G1	Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1	Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3	Capillary assembly - 3 m
923-403-P2	CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1	HexBlock valve replacement kit
923-712-G1	Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable

Artikelnummer	Beschreibung
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring
915-724-G1	Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1	Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3	Capillary assembly - 3 m
923-403-P2	CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1	HexBlock valve replacement kit
923-712-G1	Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable

Downloads

Broschüren

Transpector CPM 3 Brochure

pdf • 7,9 MB • Englisch • Broschüren

Handbücher

074-641-P1B Transpector CPM OM

pdf • 12,2 MB • Englisch • Produktpräsentationen, Bedienungsanleitungen

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

Mehr Erfahren

Batterie

Von der Elektrodenproduktion bis zur End-of-Line-Prüfung

Mehr Erfahren

Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

Mehr Erfahren

Energie

Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird.

Mehr Erfahren

Industrielle Fertigung

Vakuum wird immer häufiger eingesetzt, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und wird für verschiedene Prozesse benötigt, die ohne Vakuum nicht funktionieren.

Mehr Erfahren

Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

Mehr Erfahren

Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie

Mehr Erfahren

Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

Mehr Erfahren

Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

Mehr Erfahren

Vakuumbeschichtung

Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

Mehr Erfahren