Transpector® CPX
Kompakter Prozessexperte für erweiterte Prozessüberwachung
Verbesserte Leistung, bewährte Zuverlässigkeit und Anwendungsvielfalt
INFICON Transpector CPX ist ein marktführender Restgasanalysator (RGA) für die erweiterte Prozessüberwachung in der Halbleiterfertigung. INFICON weiß, dass Halbleiterfertigungsprozesse spezifische Anforderungen haben, die Flexibilität erfordern, um die Anforderungen der Anwendung zu erfüllen. Der Transpector CPX wurde mit Blick auf diese Vielseitigkeit entwickelt, mit dem Multi-Druck HexBlock Einlass und einer Vielzahl von Funktionsoptionen, um die Anforderungen der Anwendung zu erfüllen.
Die nächste Generation der Transpector CPX zeichnet sich durch eine Verringerung des Volumens um 30 % im Vergleich zu den Vorgängergenerationen* aus, wobei die branchenführenden Pumpensysteme beibehalten werden. Darüber hinaus ist Transpector CPX ein intelligenteres System mit einer leistungsfähigeren Steuerung.
*Verglichen mit Transpector CPM 3
Vorteile
- Konfigurierbarer HexBlock mit bis zu drei Druckeinlässen für vielseitige Anwendungen
- 30 % geringeres Systemvolumen als beim Transpector CPM 3 für eine einfachere RGA-Integration in Anwendungen mit begrenztem Platzangebot
- Geringere Systemkomplexität durch ein branchenführendes Pumpsystem und temperaturgesteuerte Heizpatronen
- Automatische Kalibrierung gewährleistet langfristige Datenzuverlässigkeit und Genauigkeit bei der Abstimmung von Sensor zu Sensor und Werkzeug zu Werkzeugkammer
- Transpector CPX wird zu einem leistungsstarken Prozessüberwachungs- und Diagnosewerkzeug, wenn es in die FabGuard-Software integriert und von INFICONs erstklassigen Anwendungsexperten unterstützt wird
Spezifikationen
| Nachweisgrenze | < 200 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | > 4E-6 Amps/Torr |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | > 2E-5 Amps/Torr |
| Nachweisgrenze | < 500 ppb |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | > 4E-6 Amps/Torr |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | > 2E-5 Amps/Torr |
| Nachweisgrenze | < 1 ppm |
| Prozessdruckbereich | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| Empfindlichkeit (niedrige Emission) | > 4E-6 Amps/Torr |
| Empfindlichkeit (hohe Emission) | > 2E-5 Amps/Torr |
Verbrauchsmaterial
| Teil Nummer | Beschreibung |
| 969-818-G2S | Einzelne Filamente beschichtetes Filament Kit |
| 969-818-G1S | Einzelne Filament Wolfram Filament Kit |
| 969-819-G3S | Ionenquellen-Kit mit beschichtetem Einzelfilament |
| 969-819-G1S | Einfaden-Wolfram-Ionenquellen-Kit |
| 969-819-G2S | Einfaden-Wolfram-Ionenquellen-Bausatz + Anodeneinsatz |
| 961-707-G1 | Elektronenvervielfacher-Ersatzteilsatz |
| 923-418-G2 | Ersatzmembransatz für 2-stufige Pumpe |
| 923-711-G1 | HexBlock-Ventil-Ersatzteilsatz |
