Transpector® MPH
Unerreichte Leistung für bessere Ausbeuten und maximale Betriebszeiten
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Der ständig steigende Preis von Siliziumwafern und der zunehmende Bedarf für Fertigprodukte bedeuten, dass Waferabfälle kostspieliger sind als je zuvor. Das Verständnis Ihres Prozesses und die Überwachung auf Defekte nimmt deshalb in Halbleiterfertigungsbetrieben einen zunehmend höheren Stellenwert ein. Das Transpector MPH-Gasanalysegerät wurde entwickelt, um Ihre Prozesse für alle gasanalytischen Anwendungen mit branchenführender Leistung zu optimieren, so dass Ihre Chip-Ausbeuten maximiert und Stillstandzeiten möglichst niedrig gehalten werden. In Verbindung mit den niedrigen Gesamtbetriebskosten und hohen MTBF-Werten (Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen) leistet der Transpector MPH mehr zur Verbesserung Ihres Betriebsergebnisses als alle anderen kommerziell erhältlichen Restgasanalysegeräte (RGA).
INFICON hat seine Expertise im Bereich Prozesssteuergeräte zur Gasanalyse effektiv genutzt, um ein RGA zu entwickeln, das in puncto Datenerfassungsgeschwindigkeit, kleinster nachweisbarer Partialdruck und Signal-Rausch-Abstand branchenführend ist. Und wir haben all das erreicht, ohne Einbußen der hohen Zuverlässigkeit in Kauf zu nehmen, die Sie von INFICON Transpector-Gasanalysegeräten erwarten.
Merkmale
- Max. Datenrate von 1,8 ms pro Punkt für Analogscans und ausgewählte Peaks
- TCP/IP-Ethernetkonnektivität
- Zwei Heizfäden
- Vor Ort austauschbarer Elektronenvervielfacher
- Kombinationskit mit Anode, Kathode und Heizfaden mit Reflektor
- Kürzere Sensoren zur Minimierung der installierten Stellfläche
- Dynamischer Bereich über neun Dekaden
- MDPP of <2E-15 Torr (100 AMU)
- Erhöhter Signal-Rausch-Abstand
- Sensoren und Elektronik austauschbar
- Sensoren werden in einer Reinraumumgebung zusammengebaut, geprüft und doppelt verpackt
- RoHS-konform
Spezifikationen
| Massenbereich | 100 amu |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 2E-15 Torr |
| Empfindlichkeit (FC) | 6E-4 A/Torr |
| Empfindlichkeit (EM) | 500 A/Torr |
| Max. Betriebsdruck | 5E-4 Torr |
| Massenbereich | 100 amu |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 3E-13 Torr |
| Empfindlichkeit (FC) | 6E-4 A/Torr |
| Empfindlichkeit (EM) | NA |
| Max. Betriebsdruck | 5E-4 Torr |
| Massenbereich | 200 amu |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 3E-15 Torr |
| Empfindlichkeit (FC) | 5E-4 A/Torr |
| Empfindlichkeit (EM) | 500 A/Torr |
| Max. Betriebsdruck | 5E-4 Torr |
| Massenbereich | 200 amu |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 4E-13 Torr |
| Empfindlichkeit (FC) | 5E-4 A/Torr |
| Empfindlichkeit (EM) | NA |
| Max. Betriebsdruck | 5E-4 Torr |
| Massenbereich | 300 amu |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 4E-15 Torr |
| Empfindlichkeit (FC) | 4E-4 A/Torr |
| Empfindlichkeit (EM) | 250 A/Torr |
| Max. Betriebsdruck | 5E-4 Torr |
| Massenbereich | 300 amu |
| Kleinster nachweisbarer Partialdruck | 5E-13 Torr |
| Empfindlichkeit (FC) | 4E-4 A/Torr |
| Empfindlichkeit (EM) | NA |
| Max. Betriebsdruck | 5E-4 Torr |
Zubehör
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| 600-1428-P1 | Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi |
| 961-418-G1 | Ethernet Switch 8 port |
| 961-702-G1 | Pirani Interlock Kit |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual (includes heater) |
| 914-026-G1 | MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater) |
| 961-029-G1 | MPH Heater Kit 120 VAC |
| 961-029-G2 | MPH Heater Kit 230 VAC |
| 961-416-P1 | Spare MPH Heating Jacket |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone) |
| 600-1117-P1 | Spare Heater Power Cable 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Spare Heater Power Cable 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH Extension Kit |
| 961-205-G2 | MPH HPR Extension Kit |
| 961-022-G1 | Spare O-Ring and Nut Kit |
| 074-5007-G1 | Gas Analysis Product Manuals CD |
| 961-700-G1 | Coated Iridium Filament Kit |
| 961-700-G2 | Tungsten Filament Kit |
| 961-701-G1 | Coated Iridium Filament Ion Source |
| 961-701-G2 | Tungsten Filament Ion Source |
| 961-2428-G2 | Electron Multiplier Replacement Kit |
Ersatzteile
| 961-H1FAS | MPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H1FBS | MPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H10S | MPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet |
| 961-H1MAS | MPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H1MBS | MPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H10S | MPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet |
| 961-H2FAS | MPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H2FBS | MPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H20S | MPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet |
| 961-H2MAS | MPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H2MBS | MPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H20S | MPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet |
| 961-H3FAS | MPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H3FBS | MPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H30S | MPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet |
| 961-H3MAS | MPH Sensor, 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H3MBS | MPH Sensor 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H30S | MPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet |
