Gasanalyse
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![8252-Transpector-APX-Multi-Pressure 8252-Transpector-APX-Multi-Pressure](/uploads/media/323x215/02/8252-Transpector-APX-Multi-Pressure.png?v=1-0)
Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
![8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure 8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure](/uploads/media/323x215/01/8251-Transpector-APX-ALD-Single-Pressure.png?v=2-0)
Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
![7484-Transpector-XPR3%2B 7484-Transpector-XPR3%2B](/uploads/media/323x215/04/7484-Transpector-XPR3%2B.png?v=1-0)
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
![899-Transpector-MPH 899-Transpector-MPH](/uploads/media/323x215/09/899-Transpector-MPH.png?v=1-0)
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
![900-Transpector-MPS 900-Transpector-MPS](/uploads/media/323x215/00/900-Transpector-MPS.png?v=1-0)
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
![901-Transpector-CPM 901-Transpector-CPM](/uploads/media/323x215/01/901-Transpector-CPM.png?v=1-0)
Vielseitige Prozessüberwachung von Hochvakuum bis Prozessdruck
- Idealer Halbleiter-Prozessmonitor
- Mehrdruck-Probenahmeeingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integrierte Differenzialpumpe
![1146-Transpector-SPS 1146-Transpector-SPS](/uploads/media/323x215/06/1146-Transpector-SPS.png?v=1-0)
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem
![1145-QMG700 1145-QMG700](/uploads/media/323x215/05/1145-QMG700.png?v=1-0)
QMG 700 Analytisches Massenspektrometer zum Durchbrechen von Nachweisgrenzen und zum Vorantreiben Ihres Prozesses auf die nächste Stufe der Innovation
- Massenbereichvarianten von 1-512 AMU
- Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
- Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
![1111-Augent-OPG550 1111-Augent-OPG550](/uploads/media/323x215/01/1111-Augent-OPG550.png?v=1-0)
Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
![8165-Quantus-HP100 8165-Quantus-HP100](/uploads/media/323x215/05/8165-Quantus-HP100.png?v=11-0)
Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
![929-Quantus-LP100 929-Quantus-LP100](/uploads/media/323x215/09/929-Quantus-LP100.png?v=1-0)
Echtzeit-Leckerkennung und Endpunkt-Erkennung für kritische Prozessumgebungen
- Betriebsbereich von 10 mTorr bis 1 Torr
- Ausgezeichnete Nachweisgrenzen bis hinunter zu niedrigen ppm-Werten
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
![8622-FLUEMateWithProbe_670x1000 8622-FLUEMateWithProbe_670x1000](/uploads/media/323x215/02/8622-FLUEMateWithProbe_670x1000.png?v=2-0)
Optimieren Sie Ihre Verbrennungseffizienz
- Zeigt die Messwerte für Wirkungsgrad, O2, CO2, CO und Abgastemperatur auf einem einzigen Bildschirm an
- Leicht ablesbares, beleuchtetes Display
- Überwachung der Systemdrücke mit eingebautem Manometer und Schlauchsatz
- QR-Code für schnelle Analyseberichte mit der mobilen FLUE-Mate-App
![896-Micro-GC-Fusion 896-Micro-GC-Fusion](/uploads/media/323x215/06/896-Micro-GC-Fusion.png?v=1-0)
Einfachere und schnellere Gasanalysen
- Analysenzeit minimieren
- Verfügbarkeit maximieren
- Lizenzfreier Zugang
- Einfache Anbindung
![893-Micro-GC-Fusion-External-Sample-Conditioner 893-Micro-GC-Fusion-External-Sample-Conditioner](/uploads/media/323x215/03/893-Micro-GC-Fusion-External-Sample-Conditioner.png?v=1-0)
Sorgt für eine Druckreduzierung und hält gleichzeitig die Probentemperatur auf >50°C (122°F).
- Easily attaches to Micro GC Fusion
- Side door for easy filter replacement
- Use a quick connect fitting for easy sampling
- Can be taken into the field for on-site sampling
![Micro-GC-Fusion-User-Interface Micro-GC-Fusion-User-Interface](/uploads/media/323x215/07/887-micro-gc-fusion-user-interface.png?v=2-0)
Webbasierte Benutzeroberfläche
- Betriebssystemunabhängig
- Lizenzfrei
- Integriert in jedes Instrument
- Keine Installation erforderlich
![1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart 1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart](/uploads/media/323x215/04/1144-Transpector-CPM-Mobile-Cart.png?v=1-0)
Ermöglicht den Einsatz des Transpector CPM als mobiles Instrument zur Fehlersuche
- Flexibel genug, um einen Transpector CPM dorthin zu bringen, wo Sie ihn brauchen
- Eine kleine Stellfläche, die auch in enge Räume passt
- Ein komplettes System, das alles enthält, was für den Betrieb des Transpector CPM benötigt wird