FabGuard® FDC
Intelligente Überwachung für eine intelligentere Fertigung
INFICON FabGuard ist das branchenführende System für Prozessüberwachung und Fehlererkennung, das speziell für die Halbleiter- und High-Tech-Fertigung entwickelt wurde. Durch die Nutzung von Echtzeit-Datenanalysen und KI-gesteuerten Erkenntnissen hilft FabGuard, Probleme zu erkennen, bevor sie die Produktion beeinträchtigen, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Prozesseffizienz zu steigern.
Dank der nahtlosen Integration in die Fertigungsanlagen sorgt FabGuard für höheren Durchsatz, geringere Fehlerraten und mehr Betriebssicherheit – und verschafft Ihnen so einen Wettbewerbsvorteil in der Präzisionsfertigung.
Echtzeit-Prozessüberwachung für intelligentere Fertigung
Das FabGuard FDC-System von INFICON bietet unübertroffene Konnektivität, Datenerfassung und verwertbare Erkenntnisse zur Optimierung der Halbleiterfertigung. Ingenieure erhalten tiefgehende Einblicke in die Werkzeugleistung und Prozesseffizienz, wodurch fundierte Entscheidungen und kontinuierliche Verbesserungen ermöglicht werden.
Über herkömmliche Methoden der Fehlererkennung und -klassifikation (FDC) hinaus nutzt FabGuard SmartFDC® mit fortschrittlichem unüberwachtem Machine Learning, um Prozessabweichungen automatisch zu erkennen – für schnellere Reaktionszeiten, höhere Ausbeute und maximale Produktionseffizienz.
Vorteile
- Nahtlose Integration von Prozessequipment und
- Sensordaten
- Edge-Computing
- On-Premises oder Cloud-basiert
- Echtzeit- und Run-by-Run-Analyse
- Erstklassige Konnektivität zu Sensoren,
- Messgeräten, IoT/IIoT und Prozesswerkzeugen
- Automatisiertes Machine Learning
Intelligente Prozessüberwachung und -steuerung
FabGuard ist ein fortschrittliches Prozessüberwachungssystem, das Ingenieuren umfassende Echtzeit-Einblicke in eine Vielzahl von Sensoren, Messgeräten, Anlagen und Geräten ermöglicht. Durch die nahtlose Integration von Daten aus mehreren Quellen bietet FabGuard beispiellose Transparenz über Prozesswerkzeuge – für fundiertere Entscheidungen, verbesserte Prozesskontrolle und höhere Fertigungseffizienz.
- Sensoren: RGA, OES, RF/DC, Quarzkristall-Mikrowaage
- Messgeräte: Weitbereichsvakuum, Hochpräzisionsvakuum, Massendurchfluss, Flüssigkeitsdurchfluss
- Anlagen: Pumpen, Abluftreinigung, Heizungen, Kühler, Chemikalienversorgung
- Hohe Geschwindigkeit: Beschleunigungssensor, Arcing-Detection, Hochgeschwindigkeitsanalog
Durch die adaptive Datenerfassung in Echtzeit stellt FabGuard sicher, dass die richtigen Daten zur richtigen Zeit erfasst werden - entscheidend für eine genaue Fehlererkennung und Prozesscharakterisierung. Seine dynamischen Datenerfassungsfunktionen optimieren die Werkzeugbandbreite und maximieren die Datentiefe und -breite ohne Leistungseinbußen. Durch die Anpassung in Echtzeit an Prozessbedingungen, Sensoren und Werkzeugkomponenten liefert FabGuard intelligentere Erkenntnisse, schnellere Reaktionen und eine hervorragende Prozessoptimierung.
Kompetenz, die Ihre Fabrik verwandelt
INFICON bringt umfassendes Prozess- und Anlagen-Know-how in jede Fabrik und hilft Ingenieuren dabei, reale Fertigungsherausforderungen mit Präzision und Effizienz zu lösen. Unsere Außendienst- und Softwareentwicklungsteams sind Branchenveteranen, die sicherstellen, dass FabGuard auf die einzigartigen Anforderungen Ihrer Produktionsumgebung zugeschnitten ist.
Mit seiner Erfahrung in allen Wafer-Durchmessern, Flachbildschirmgrößen, Bauteilgeometrien und Substrattypen unterstützt INFICON Fabriken auf jeder Ebene - von minimal automatisierten bis hin zu vollautomatisierten intelligenten Fertigungssystemen. Durch die Kombination von fortschrittlicher Technologie und praktischer Branchenkenntnis helfen wir Ihnen, Ihre Prozesse zu optimieren, die Leistung Ihrer Werkzeuge zu verbessern und höhere Erträge zu erzielen.
Fragen Sie INFICON unseren KI-gestützten Experten
Ask INFICON basiert auf der fortschrittlichen LLM-Technologie (Large Language Model) und bietet Unterstützung in Echtzeit, so dass Halbleiterhersteller schnell auf wichtiges Produktwissen zugreifen können. Der in die FabGuard-Webanwendung integrierte Wissensassistent enthält die FabGuard-Hilfe, Schulungsmaterialien, Sensordokumentation und andere Endbenutzer-Ressourcen und ermöglicht es Ingenieuren und Bedienern, Probleme zu beheben, Fehlererkennungs- und Sensorisierungskonzepte zu verstehen und ihr Verständnis der FabGuard-Funktionen zu verbessern - alles innerhalb einer nahtlosen KI-gesteuerten Schnittstelle.
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