Helium Leckdetektor

UL1000 / UL1000 Fab

Mobile Helium-Lecksucher mit ULTRATEST™-Sensortechnologie.

UL1000-Fab

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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
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Analog output signal
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
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1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der Standard für Vakuumdichtheitsprüfungen in der industriellen Vakuum- und Halbleiterfertigung

Die INFICON UL1000 Helium-Lecksucher-Serie ist der renommierte Standard, wenn es um wirtschaftliche Helium-Vakuum-Lecktests in industriellen Umgebungen (UL1000 mit ölgedichteten Vorvakuumpumpen) oder in der Halbleiterindustrie (UL1000 Fab mit trocken verdichtenden Vorvakuumpumpen) geht.

Die UL1000-Serie bietet den besten Kompromiss zwischen hoher Leistung, unvergleichlicher Robustheit und Erschwinglichkeit. Sie liefert hochmoderne Nachweisgrenzen von 10-12 mbar*l/s in Kombination mit einer vernünftig kurzen Abpump- und Ansprechzeit. Das kompakte Design gewährleistet eine hohe Manövrierfähigkeit und erleichtert den Zugang zu Wartungsbereichen mit eingeschränktem Platzangebot. Die wählbare Hintergrundunterdrückung (iZERO) ermöglicht kontinuierliche Lecktests, die mindestens zwei Dekaden unter den bestehenden Hintergrundwerten liegen.

Diese Merkmale verkürzen insgesamt die Dauer Ihres Lecktestprozesses und stellen sicher, dass alle Lecks effizient und wirtschaftlich erkannt werden.

Mit dem TC1000 Testkammer-Zubehör bietet die UL1000 Helium-Lecksucher-Serie eine einfache, schnelle und genaue Prüfung hermetisch abgedichteter Teile wie IC-Gehäuse, Quarzkristalle und Laserdioden (gemäß MIL-STD 883, Methode 1014).

Vorteile

  • Minimierung des Lecktestaufwands durch schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten
  • Vermeidung mehrfacher Lecktests durch wählbare Hintergrundunterdrückung (I·ZERO)
  • I·CAL (Intelligenter Berechnungsalgorithmus für Leckraten) gewährleistet die schnellste Reaktionszeit auf Lecks in allen Messbereichen
  • Einfacher Zugang zu Wartungsbereichen mit eingeschränktem Platz durch manövrierbares Design
  • Niedrige Gesamtkosten (TCO) durch robuste Zwei-Heißfilament-Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
  • Einfache Bedienung mit drehbarem Display, optischer und akustischer Leckanzeige sowie optionaler Fernbedienung
  • Geringer Wartungsaufwand dank eingebautem Testleck mit automatischem Kalibrierungsverfahren
  • Software-Updates sind leicht per E-Mail möglich
  • Eingebautes Softwaremenü mit "Auto-Lecktest"-Funktion zur automatischen Prüfung hermetisch abgedichteter Komponenten (optionale TC1000-Testkammer)

Typische Applikationen

  • Fertigung von Industrievakuumanlagen mit hohen Reinheitsanforderungen
  • Vakuumkomponenten oder -teilbaugruppen vor dem Einbau in vorhandene Geräte
  • Wartungsarbeiten an Vakuummessgeräten mit oder ohne Unterstützung durch die eigene Pumpe
  • Inspektion und Installation von Prozessgassystemen
  • Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarzellen
  • Kälte- und Klimakomponenten sowie Baugruppen
  • Hermetisch versiegelte elektronische Geräte
  • Wärmetauscher

Spezifikationen

UL1000
UL1000 Fab
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuum-Mode)mbar•L/s< 5·10-12
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Sniffer-Mode)mbar•L/s< 5·10-8
Max. Inlet pressure GROSS-Modusmbar15
Max. Inlet pressure FINE modembar2
Max. Einlassdruck ULTRA-Modusmbar0.4
Vorvakuumpumpen-Typ Ölgedichtet
Pumpendrehzahl während der Evakuierungm³/h16 at 50 Hz
Helium-Pumpgeschwindigkeit ULTRA-ModusL/s2.5
Nachweisbare Massen 2,3,4 amu
Massenspektrometer Fachgebiet 180°
Filamente Ionenquelle Iridium/Yttrium beschichtet 2
Kalibriertes eingebautes Testleckmbar•L/sE-7
Testanschluss DN 25 KF
Einstellbare Trigger 2
Schnittstelle RS232
SchreiberausgangV2x10
Eingänge/Ausgänge PLC compatible
Zulässige Umgebungstemperatur (während des Betriebs)°C+10.....+40
Gewichtkg
lb
110
242
Abmessungen ( L x B x H )mm
in
1068 x 525 x 850
42 x 21 x 33
VersorgungsspannungenV (AC)
V (AC)
V (AC)
230 (±10%) 50Hz
115 (±10%) 60Hz
100 (±10%) 50/60Hz
StromverbrauchVA1100
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb)mbar•L/s< 5·10-12
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Sniffer-Modus)mbar•L/s< 5·10-8
Max. Einlassdruck GROSS-Modusmbar15
Max. Einlassdruck FINE-Modusmbar2
Max. Einlassdruck ULTRA-Modusmbar0.4
Vorvakuumpumpen-Typ Trockenverdichtend
Pumpendrehzahl während der Evakuierungm³/h25 at 50 Hz
Helium-Saugvermögen ULTRA-ModusL/s2.5
Nachweisbare Massen 2,3,4 amu
Massenspektrometer Sektorenfeld 180°
Filamente Ionenquelle Iridium/Yttrium beschichtet 2
Kalibriertes eingebautes Leckmbar•L/s∼ 10-7
Prüfanschluss DN 25 KF/(DN 40 KF)
Einstellbare Trigger 2
Schnittstelle RS 232
Ausgabe des SchreibersV2 x10
Eingänge/Ausgänge PLC compatible
Zulässige Umgebungstemperatur (während des Betriebs)°C+10 to +40
Gewichtkg
lb
110
242
Abmessungen (L x B x H)mm
in.
1050 x 472 x 987
41 x 19 x 39
Versorgungsspannung (EU)V (AC)230 (± 10 %) 50 Hz
Versorgungsspannung (US)V (AC)100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
Leistungsaufnahme (typ.)VA1100
Leistungsaufnahme (max.)VA1100

Bestellinformationen

Artikelnummer
Zubehör
550-000AUL1000, 230 V AC, DN 25 KF
550-001AUL1000, 115 V AC, DN 25 KF
550-002AUL1000, 100 V AC, DN 25 KF
  
550-100AUL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF
550-101AUL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF
550-102UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF
14022Verlängerungskabel für Fernsteuerung RC1000, 8 m Länge
551-000Werkzeugbox, abnehmbar für UL1000
551-001Heliumflaschenhalterung für UL1000/5000
551-002ESD-Matte für UL1000/5000
551-005TC1000 Prüfkammer, DN 25 KF, ESD-Handgelenkband
551-010Fernbedienung RC1000C, mit 4 m Spiralkabel
551-015Fernbedienung RC1000WL, drahtlos, inkl. Funksender
551-020Kabelloser Transmitter für RC1000WL
551-050SMART-Spray Helium Sprühpisotle Set
551-031SPRAY-Check TL8 (nicht kalibriert)

Downloads

Handbücher
UL1000 Fab Operation Manual
pdf 2,0 MB Englisch Bedienungsanleitungen
RC1000 Operating instructions
pdf 2,1 MB Englisch Bedienungsanleitungen
RC1000 Notice d'utilisation
pdf 2,1 MB Französisch Bedienungsanleitungen
TC1000 Operating Manual
pdf 353,8 KB Englisch Bedienungsanleitungen
Schnüffelleitung SL200
pdf 1,0 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
RC1000 Betriebsanleitung
pdf 2,1 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
SMART-Spray Betriebsanleitung
pdf 2,7 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
SMART-Spray Operating instructions
pdf 2,7 MB Englisch Bedienungsanleitungen
Sniffer Line SL200
pdf 1,1 MB Englisch Bedienungsanleitungen
TC1000 Betriebsanleitung
pdf 340,5 KB Deutsch Bedienungsanleitungen
UL1000 Fab Betriebsanleitung
pdf 2,4 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
UL1000 Fab Operating instructions FR
pdf 3,0 MB Französisch Bedienungsanleitungen
UL1000 Fab Operating instructions IT
pdf 2,1 MB Italienisch Bedienungsanleitungen
UL1000 Fab Operating instructions NL
pdf 2,1 MB Niederländisch Bedienungsanleitungen
UL1000 Fab Operating instructions PL
pdf 2,2 MB Polnisch Bedienungsanleitungen
UL1000/5000 Protocol Descriptions
pdf 147,8 KB Französisch, Deutsch, Italienisch, Japanisch, Koreanisch, Polnisch, Russisch, Spanisch, Swedisch, Chinesisch, Tschechisch, Englisch, Niederländisch, Portugiesisch, Ungarisch, Rumänisch Bedienungsanleitungen
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