UL3000 Fab Series
UL3000 Fab /UL3000 Fab ULTRA
ULTRATEST ™ Sensor Technologie - Mobile Helium Dichtheitsprüfgeräte
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Mobile Helium Lecksucher: Speziell entwickelt für die Anforderungen der Dichtheitsprüfung in der Halbleiterindustrie.
Sie zeichnen sich durch Flexibilität, Mobilität, schnelle Inbetriebnahme, hohe Empfindlichkeit, schnelle und präzise Prüfergebnisse und Zuverlässigkeit aus. - Schnellere Abpumpzeiten (Evakuierung) aufgrund der höheren Luftfördergeschwindigkeit - Geringere Gesamtbetriebskosten (TCO) aufgrund der wartungsarmen Roots-Roughing-Pumpe.
- Früherer Beginn der Dichtheitsprüfung, da die HYDRO-S-Software den Wasserdampfhintergrund eliminiert, wodurch schnell empfindliche Messbereiche erreicht werden können
- Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfunktion durch Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang ist. Die SL3000 verfügt über einen separaten Anschluss, so dass kein Anschluss an den Vakuumeingang erforderlich ist.
Schnelle Ergebnisse
Das verbesserte Vakuumsystem mit wartungsarmen Vakuumpumpen ermöglicht die Erkennung von Lecks ab Atmosphärendruck. Das robuste Massenspektrometersystem gewährleistet eine lange Betriebsdauer und geringe Wartungskosten.
Drehbares Display und fernsteuerbare Benutzeroberfläche
Das neue Touchscreen-Display zeigt Prüfergebnisse und Statusinformationen auch aus großer Entfernung an. Einfache Bedienung über benutzergeführte Menüstruktur, auch für unerfahrene Bediener. Eine drahtlose Steuerung des UL3000 Fab (ULTRA) ist über Smartphone oder Tablet möglich - ohne spezielle Software oder Apps. Aufzeichnung und Speicherung von Prüfergebnissen per Knopfdruck, die zur weiteren Analyse auf andere Speichermedien übertragen werden können.
Schlankes Design für erweiterte Manövrierfähigkeit
Der niedrige Schwerpunkt, die großen Räder, der ergonomisch geformte Griff und das schlanke Gehäuse ermöglichen eine gute Mobilität des UL3000 Fab (ULTRA) auch in engen Räumen.
Optimierte Lecksuche mit SMART-Spray, I·BOOST und SPRAY-Check
SMART-Spray Helium-Sprühpistole optimiert die Lecksuche, da keine großen Heliumflaschen und unhandlichen Schläuche mehr benötigt werden. Es rationalisiert den Prozess, reduziert manuelle Heliumflusseinstellungen und minimiert Fehler. Mit diesem Gerät wird die Lecksuche schneller, einfacher und zuverlässiger, während der Heliumverbrauch und die Hintergrundwerte niedrig bleiben.
I·BOOST ist ideal für effiziente und präzise Leckprüfungen und bietet eine Zeitersparnis von bis zu 50 % bei der Lecksuche. Mit kürzeren Reaktionszeiten liefert es schnelle und präzise Messungen über verschiedene Kammervolumina hinweg und verbessert so die Effizienz und Genauigkeit. Darüber hinaus gewährleistet SPRAY-Check, ein Sprühleck, die Funktionalität und Bereitschaft Ihres Lecksuchgeräts. Es ist ideal für den Bereich von 10-⁹ bis 10-⁸ mbar∙l/s und bietet zuverlässige Kontrollen während der Prüfprozesse.
Vorteile
- Sparen Sie Zeit mit I-CAL, dem Software-Algorithmus für schnelle Messungen im Bereich von 10-9 bis 10-12 mbar-l/s
- Effizienteste Dichtheitsprüfung mit I-ZERO 2.0 der verbesserter intelligente Abzug des Untergrundsignals für höhere Messempfindlichkeit
- Anwendbar für Vakuum- und Schnüffellecksuche
- Minimieren Sie den Aufwand für die Dichtheitsprüfung durch schnelle Evakuierung und Ansprechzeit
- Zeitersparnis durch leichte Manövrierbarkeit durch schlankes Design
- Niedrige Gesamtbetriebskosten (TCO) durch robuste Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
- Benutzerfreundliches, bedienergeführtes HMI mit drehbarem, hochauflösendem Farbdisplay
- UL3000 Fab ULTRA: Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
- UL3000 Fab ULTRA: Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
- UL3000 Fab ULTRA: Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die zuverlässige Klauenpumpe
- Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.
Typische Anwendungen
- Halbleiterfertigung
- Display/Bildschirmherstellung
- Solarzellenproduktion
- Glas und Folien (Rolle zu Rolle) Beschichtungen
- Vakuumbeschichtungsanlagen und -anwendungen
Spezifikationen
| Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpe | m³/h | >30 |
| Helium Saugvermögen ULTRA Modus | L/s | 4 |
| Abmessungen (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRA | Trockene Wälzkolbenpumpe mit höchstem Saugvermögen, HYDRO-S, separater Schnüffelleitungsanschluss für SL3000, Vakuumschlauchhalter | |
| Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpe | m³/h | >36 |
| Helium Saugvermögen ULTRA Modus | L/s | 4 |
| Abmessungen (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRA | Trockene Wälzkolbenpumpe mit höchstem Saugvermögen, HYDRO-S, separater Schnüffelleitungsanschluss für SL3000, Vakuumschlauchhalter | |
Bestellinformationen
| 550-260 | UL3000 Fab ULTRA |
| 550-200 | UL3000 Fab |
| 551-050 | SMART-Spray Helium Sprühpistole***NEW |
| 551-600 | I·BOOST Software-Lizenz***NEW |
| 551-031 | SPRAY-Check Testleck TL8***NEW |
| 551-010 | Fernbedienung RC1000C, verkabelt, mit 4m Spiralkabel |
| 551-202 | Vakuumschlauchhalter für UL3000 Fab (auch für ULTRA-Version) |
| 525-001 | SL3000-10, Schnüffelleitung 3 m Länge |
| 525-002 | SL3000-10, Schnüffelleitung 5 m Länge |
| 525-003 | SL3000-10, Schnüffelleitung 10 m Länge |
| 551-203 | Halterung für SL3000 |
| 551-210 | SL200, Schnüffelleitung + el. Erweiterung für UL3000 |
| 551-201 | Halter für Heliumflaschen |
| 560-310 | I/O 1000 Modul |
| 560-315 | BM1000 PROFIBUS Modul |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO Modul |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet Modul |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP Modul |
| 560-334 | Datenkabel for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Datenkabel 2 m |
| 560-335 | Datenkabel 5 m |
| 560-340 | Datenkabel 10 m |
| 551-005 | TC1000 Testkammer, DN25KF, ESD-Handgelenkband |
| 551-205 | Verlängerungskabel für TC1000/SL200, UL3000 |
| 200007656 | Luftfilter Kit UL3 Gehäusebelüftung |
