UL3000 Fab Series
ULTRATEST ™ Sensor Technologie - Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät (Trockenpumpe) und UL3000 Fab Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Für die schnelle Wartung und maximale Standzeit von Halbleiteranlagen.
Keine Fehler bei der Wartung Ihrer Prozessanlagen. Mit der neuesten smarten Generation unserer erfolgreichen UL-Serie verkürzen Sie die Wartung ihrer Prozessanlagen - und dies sicherer als je zuvor.
Vorteile des UL3000 FAB ULTRA
- Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
- Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die "quasi" wartungsfreie Klauenpumpe
- Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
- Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.
Ihre Prozessausrüstung bleibt während der Dichtheitsprüfung frei von Verunreinigungen.
Alle Lecks werden zuverlässig erkannt. Nach der Wartung wird der zeitintensive Druckanstiegstest sicher bestanden.
Das Helium-Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab ULTRA ist für alle Anwendungen konzipiert, bei denen es auf Robustheit und höchste Reinheit ankommt, wie zum Beispiel bei Wartungs- oder Produktionsvorgängen von Halbleiterproduktionsanlagen in Reinräumen.
Vorteile
- Sparen Sie Zeit mit I-CAL, dem Software-Algorithmus für schnelle Messungen im Bereich von 10-9 bis 10-12 mbar-l/s
- Effizienteste Dichtheitsprüfung mit I-ZERO 2.0 der verbesserter intelligente Abzug des Untergrundsignals für höhere Messempfindlichkeit
- Anwendbar für Vakuum- und Schnüffellecksuche
- Minimieren Sie den Aufwand für die Dichtheitsprüfung durch schnelle Evakuierung und Ansprechzeit
- Zeitersparnis durch leichte Manövrierbarkeit durch schlankes Design
- Niedrige Gesamtbetriebskosten (TCO) durch robuste Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
- Benutzerfreundliches, bedienergeführtes HMI mit drehbarem, hochauflösendem Farbdisplay
- UL3000 Fab ULTRA: Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
- UL3000 Fab ULTRA: Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
- UL3000 Fab ULTRA: Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die zuverlässige Klauenpumpe
- Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.
Typische Anwendungen
- Halbleiterfertigung
- Display/Bildschirmherstellung
- Solarzellenproduktion
- Glas und Folien (Rolle zu Rolle) Beschichtungen
- Vakuumbeschichtungsanlagen und -anwendungen
Spezifikationen
Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpe | m³/h | >30 |
Helium Saugvermögen ULTRA Modus | L/s | 4 |
Abmessungen (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRA | Trockene Wälzkolbenpumpe mit höchstem Saugvermögen, HYDRO-S, separater Schnüffelleitungsanschluss für SL3000, Vakuumschlauchhalter |
Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpe | m³/h | >36 |
Helium Saugvermögen ULTRA Modus | L/s | 4 |
Abmessungen (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRA | Trockene Wälzkolbenpumpe mit höchstem Saugvermögen, HYDRO-S, separater Schnüffelleitungsanschluss für SL3000, Vakuumschlauchhalter |
Bestellinformationen
550-260 | UL3000 Fab ULTRA |
550-200 | UL3000 Fab |
551-010 | Fernbedienung RC1000C, verkabelt, mit 4m Spiralkabel |
551-202 | Vakuumschlauchhalter für UL3000 Fab (auch für ULTRA-Version) |
525-001 | SL3000-10, Schnüffelleitung 3 m Länge |
525-002 | SL3000-10, Schnüffelleitung 5 m Länge |
525-003 | SL3000-10, Schnüffelleitung 10 m Länge |
551-203 | Halterung für SL3000 |
551-210 | SL200, Schnüffelleitung + el. Erweiterung für UL3000 |
551-201 | Halter für Heliumflaschen |
560-310 | I/O 1000 Modul |
560-315 | BM1000 PROFIBUS Modul |
560-316 | BM1000 PROFINET IO Modul |
560-317 | BM1000 DeviceNet Modul |
560-318 | BM1000 Ethernet/IP Modul |
560-334 | Datenkabel for IO1000,BM1000, 0.5m |
560-332 | Datenkabel 2 m |
560-335 | Datenkabel 5 m |
560-340 | Datenkabel 10 m |
551-005 | TC1000 Testkammer, DN25KF, ESD-Handgelenkband |
551-205 | Verlängerungskabel für TC1000/SL200, UL3000 |
551-600 | I·BOOST Software Lizenz |
551-031 | SPRAY-Check TL8 |
200007656 | Luftfilter Kit UL3 Gehäusebelüftung |