UL6000 Fab Serie
UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS Lecksucher
ULTRATEST™-Sensortechnik
Setzt neue Maßstäbe für Geschwindigkeit und Präzision bei der Dichtheitsprüfung.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Helium-Lecksucher-Serie für Halbleiteranwendungen
Der INFICON UL6000 Helium Leak Detector wurde für die wichtigsten und anspruchsvollsten Leckerkennungsanwendungen entworfen. Der UL6000 verwendet die von INFICON entwickelten Softwarealgorithmen I-CAL und Hydro-S in einem felderprobten Vakuumentwurf und bietet Testflexibilität, hohe Empfindlichkeit und schnelle, präzise Ergebnisse, um Leckerkennungsanwendungen zu beschleunigen und zu vereinfachen.
Der UL6000 liefert schnelle Reaktionszeiten in allen Messbereichen sowie extrem kurze Zykluszeiträume beim Erreichen der Testbedingungen und Endergebnisse. Die speziell entworfene Vakuumarchitektur sorgt für kontinuierlich hohe Heliumpumpgeschwindigkeiten und extrem kurze Reaktionszeiten.
Effiziente Dichtheitsprüfung
Leckagen aufzuspüren ist sowohl zeitintensiv als auch komplex: Mittels eines Druckanstiegstests werden Halbleiter- und Vakuumanlagen im Betrieb kontinuierlich überprüft. Zeigt der Test nun ein Leck an, wird dieses per Helium-Sprühmethode identifiziert und beseitigt. Abschließend erfolgt eine erneute integrale Dichtheitsprüfung per Druckanstiegstest – so lange, bis das letzte Leck gefunden ist. Für die notwendige Genauigkeit kommt es vor allem bei großen Anlagenvolumina deshalb oft zu sehr langen Messzeiten. Mit dem Intelligent Rate-of-rise-Feature I·RISE übernimmt der neue UL6000 Fab PLUS die Druckanstiegsmessung jetzt selbst und kombiniert sie mit der Helium-Sprühmethode. Das patentierte System verkürzt die Messdauer erheblich und reduziert so den Zeitaufwand für Dichtheitsprüfung und Anlagenwartung um ein Vielfaches. Für noch genauere und schnellere Messergebnisse – in unter 10 Sekunden und unabhängig vom Volumen Ihrer Produktionsanlage.
Optimierte Lecksuche mit SMART-Spray, I·BOOST und SPRAY-Check
SMART-Spray Helium-Sprühpistole optimiert die Lecksuche, da keine großen Heliumflaschen und unhandlichen Schläuche mehr benötigt werden. Es rationalisiert den Prozess, reduziert manuelle Heliumflusseinstellungen und minimiert Fehler. Mit diesem Gerät wird die Lecksuche schneller, einfacher und zuverlässiger, während der Heliumverbrauch und die Hintergrundwerte niedrig bleiben.
I·BOOST ist ideal für effiziente und präzise Leckprüfungen und bietet eine Zeitersparnis von bis zu 50 % bei der Lecksuche. Mit kürzeren Reaktionszeiten liefert es schnelle und präzise Messungen über verschiedene Kammervolumina hinweg und verbessert so die Effizienz und Genauigkeit. Darüber hinaus gewährleistet SPRAY-Check, ein Sprühleck, die Funktionalität und Bereitschaft Ihres Lecksuchgeräts. Es ist ideal für den Bereich von 10-⁹ bis 10-⁸ mbar∙l/s und bietet zuverlässige Kontrollen während der Prüfprozesse.
Vorteile
Fab Produktserie
- ULTRATEST-Sensortechnik
- HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) für ein schnelles Erreichen der Prüfbedingungen.
- I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates) für eine schnelle Reaktion auf Lecks in allen Messbereichen.
- Eine spezielle Turbomolekularpumpe mit mehreren Einlässen, die optimierte hohe Helium-Pumpgeschwindigkeiten mit hoher Heliumkompression bei allen Drücken bietet, um eine hervorragende Empfindlichkeit, Reaktion und schnelle Reinigung zu gewährleisten.
- Eine Booster-Turbomolekularpumpe für extrem schnelles Ansprechen bei jedem Prüfobjekt, auch bei den größten Volumina und Kammern.
- Das bewährte INFICON Magnetsektor-Massenspektrometer für jahrelang genaue und wiederholbare Ergebnisse in einem problemlosen, wartungsfreien Design.
- Selbstschutzfunktionen zum Schutz des UL6000 vor Helium- und Partikelkontamination und sogar ein automatischer Spülzyklus, um sicherzustellen, dass das UL6000 bereit ist, wenn Sie es brauchen.
- Eine drehbare Anzeige-/Steuerungsschnittstelle und eine optionale Handfernbedienung sorgen für Flexibilität im Betrieb.
- Die Zugangskontrolle zum Gerät und zur Systemsoftware kann über die Software aktiviert werden, um eine unbefugte Nutzung oder unbeabsichtigte Änderungen an den Testaufbauten zu verhindern.
- Software-Updates per E-Mail sorgen dafür, dass Ihr UL6000 stets die optimale Leistung erbringt.
- Work Station Design mit einer Arbeitsfläche in optimaler Höhe, die eine ESD-Matte und einen Werkzeugkasten für bequemes Testen enthält.
Fab PLUS Produktserie
- Ausgestattet mit I-RISE, unserer intelligenten Anstiegsrate: Ermöglicht die Prüfung des Druckanstiegs im Gerät in Kombination mit der Helium-Sprühmethode
- Anstiegsgeschwindigkeitsmessungen in weniger als 10 Sekunden
- Minimiert die allgemeine Zeit für Dichtheitsprüfungen und die Wartung von Fertigungsanlagen
- Mehr Geschwindigkeit, mehr Präzision
Typische Anwendungen
- Leckprüfung von Komponenten, Baugruppen und großen Kammern, die für Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeuge verwendet werden.
- Leckprüfungen an Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeugen
- Leckprüfungen von Komponenten, Baugruppen und Anlagen in der Luft- und Raumfahrt
- Leckprüfungen an Vorratsbehältern und Vorratstanks
Spezifikationen
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) | atm (~1013 mbar) | |
| Vorpumpentyp | roots | |
| Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen) | m³/h | >36 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus) | L/s | >36 |
| Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40 | L/s | ~ 30 |
| Ansprechzeit für 50 L | s | 1.4 |
| Abpumpzeit 100 L auf 1 mbar | s | 52 |
| Abpumpzeit 50 L auf 1 mbar | s | 104 |
| Abpumpzeit 500 L auf 1 mbar | s | 527 |
| Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbar | s | 1054 |
| Belüftungszeit bis atm für 50 L | s | 16 |
| Zeit bis zur Betriebsbereitschaft | min | <2 |
| Zeit für die Kalibrierung | s | <30 s |
| Einlassflansch | DN63 ISO-K | |
| Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Versorgungsspannung | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Maximaler Leistungsbedarf | VA | 1500 |
| Typischer Leistungsbedarf | VA | 700 |
| Gewicht | kg | 143 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) | atm (~1013 mbar) | |
| Vorpumpentyp | roots | |
| Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen) | m³/h | >36 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus) | L/s | >36 |
| Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40 | L/s | ~ 30 |
| Ansprechzeit für 50 L | s | 1.4 |
| Abpumpzeit 100 L auf 1 mbar | s | 52 |
| Abpumpzeit 50 L auf 1 mbar | s | 104 |
| Abpumpzeit 500 L auf 1 mbar | s | 527 |
| Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbar | s | 1054 |
| Belüftungszeit bis atm für 50 L | s | 16 |
| Zeit bis zur Betriebsbereitschaft | min | <2 |
| Zeit für die Kalibrierung | s | <30 s |
| Zeit für Rate-of-rise-Messung (I·RISE) | s | <10 |
| Einlassflansch | DN63 ISO-K | |
| Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Versorgungsspannung | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Maximaler Leistungsbedarf | VA | 1500 |
| Typischer Leistungsbedarf | VA | 700 |
| Gewicht | kg | 144 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
Bestellinformationen
| 550-520 | UL6000 Fab |
| 550-530 | UL6000 Fab PLUS |
| 551-050 | SMART-Spray ***NEW |
| 551-600 | I·BOOST software license***NEW |
| 551-031 | SPRAY-Check TL8***NEW |
| 551-226 | Metallschlauch, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
| 551-227 | Metallschlauch, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
| 551-015 | Fernbedienung RC1000WL, kabellos, inkl. Funktransmitter |
| 551-010 | Fernbedienung RC1000C, verkabelt, mit 4m Spiralkabel |
| 551-202 | Vakuumschlauchhalter für UL3000 Fab (auch für ULTRA-Version) |
| 525-001 | SL3000-10, Schnüffelleitung 3 m Länge |
| 525-002 | SL3000-10, Schnüffelleitung 5 m Länge |
| 525-003 | SL3000-10, Schnüffelleitung 10 m Länge |
| 551-203 | Halterung für SL3000 |
| 551-210 | SL200, Schnüffelleitung + el. Erweiterung für UL3000 |
| 551-201 | Halter für Heliumflaschen |
| 560-310 | I/O 1000 Modul |
| 560-315 | BM1000 PROFIBUS Modul |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO Modul |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet Modul |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP Modul |
| 560-334 | Datenkabel for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Datenkabel 2 m |
| 560-335 | Datenkabel 5 m |
| 560-340 | Datenkabel 10 m |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
