Helium Leak Detector
UL6000 Fab Serie
UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS
ULTRATEST™-Sensortechnik
Setzt neue Maßstäbe für Geschwindigkeit und Präzision bei der Dichtheitsprüfung.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der INFICON UL6000 Helium Leak Detector wurde für die wichtigsten und anspruchsvollsten Leckerkennungsanwendungen entworfen. Der UL6000 verwendet die von INFICON entwickelten Softwarealgorithmen I-CAL und Hydro-S in einem felderprobten Vakuumentwurf und bietet Testflexibilität, hohe Empfindlichkeit und schnelle, präzise Ergebnisse, um Leckerkennungsanwendungen zu beschleunigen und zu vereinfachen.
Der UL6000 liefert schnelle Reaktionszeiten in allen Messbereichen sowie extrem kurze Zykluszeiträume beim Erreichen der Testbedingungen und Endergebnisse. Die speziell entworfene Vakuumarchitektur sorgt für kontinuierlich hohe Heliumpumpgeschwindigkeiten und extrem kurze Reaktionszeiten.
Der neue UL6000 Fab PLUS mit I·RISE. Rate-of-rise in unter 10 Sekunden
Leckagen aufzuspüren ist sowohl zeitintensiv als auch komplex: Mittels eines Druckanstiegstests werden Halbleiter- und Vakuumanlagen im Betrieb kontinuierlich überprüft. Zeigt der Test nun ein Leck an, wird dieses per Helium-Sprühmethode identifiziert und beseitigt. Abschließend erfolgt eine erneute integrale Dichtheitsprüfung per Druckanstiegstest – so lange, bis das letzte Leck gefunden ist. Für die notwendige Genauigkeit kommt es vor allem bei großen Anlagenvolumina deshalb oft zu sehr langen Messzeiten. Mit dem Intelligent Rate-of-rise-Feature I·RISE übernimmt der neue UL6000 Fab PLUS die Druckanstiegsmessung jetzt selbst und kombiniert sie mit der Helium-Sprühmethode. Das patentierte System verkürzt die Messdauer erheblich und reduziert so den Zeitaufwand für Dichtheitsprüfung und Anlagenwartung um ein Vielfaches. Für noch genauere und schnellere Messergebnisse – in unter 10 Sekunden und unabhängig vom Volumen Ihrer Produktionsanlage.
Vorteile
Fab Produktserie
- ULTRATEST-Sensortechnik
- HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) für ein schnelles Erreichen der Prüfbedingungen.
- I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates) für eine schnelle Reaktion auf Lecks in allen Messbereichen.
- Eine spezielle Turbomolekularpumpe mit mehreren Einlässen, die optimierte hohe Helium-Pumpgeschwindigkeiten mit hoher Heliumkompression bei allen Drücken bietet, um eine hervorragende Empfindlichkeit, Reaktion und schnelle Reinigung zu gewährleisten.
- Eine Booster-Turbomolekularpumpe für extrem schnelles Ansprechen bei jedem Prüfobjekt, auch bei den größten Volumina und Kammern.
- Das bewährte INFICON Magnetsektor-Massenspektrometer für jahrelang genaue und wiederholbare Ergebnisse in einem problemlosen, wartungsfreien Design.
- Selbstschutzfunktionen zum Schutz des UL6000 vor Helium- und Partikelkontamination und sogar ein automatischer Spülzyklus, um sicherzustellen, dass das UL6000 bereit ist, wenn Sie es brauchen.
- Eine drehbare Anzeige-/Steuerungsschnittstelle und eine optionale Handfernbedienung sorgen für Flexibilität im Betrieb.
- Die Zugangskontrolle zum Gerät und zur Systemsoftware kann über die Software aktiviert werden, um eine unbefugte Nutzung oder unbeabsichtigte Änderungen an den Testaufbauten zu verhindern.
- Software-Updates per E-Mail sorgen dafür, dass Ihr UL6000 stets die optimale Leistung erbringt.
- Work Station Design mit einer Arbeitsfläche in optimaler Höhe, die eine ESD-Matte und einen Werkzeugkasten für bequemes Testen enthält.
Fab PLUS Produktserie
- Ausgestattet mit I-RISE, unserer intelligenten Anstiegsrate: Ermöglicht die Prüfung des Druckanstiegs im Gerät in Kombination mit der Helium-Sprühmethode
- Anstiegsgeschwindigkeitsmessungen in weniger als 10 Sekunden
- Minimiert die allgemeine Zeit für Dichtheitsprüfungen und die Wartung von Fertigungsanlagen
- Mehr Geschwindigkeit, mehr Präzision
Typische Anwendungen
- Leckprüfung von Komponenten, Baugruppen und großen Kammern, die für Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeuge verwendet werden.
- Leckprüfungen an Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeugen
- Leckprüfungen von Komponenten, Baugruppen und Anlagen in der Luft- und Raumfahrt
- Leckprüfungen an Vorratsbehältern und Vorratstanks
Spezifikationen
UL 6000 Fab
UL 6000 Fab PLUS
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) | atm (~1013 mbar) | |
| Vorpumpentyp | roots | |
| Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen) | m³/h | >36 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus) | L/s | >36 |
| Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40 | L/s | ~ 30 |
| Ansprechzeit für 50 L | s | 1.4 |
| Abpumpzeit 100 L auf 1 mbar | s | 52 |
| Abpumpzeit 50 L auf 1 mbar | s | 104 |
| Abpumpzeit 500 L auf 1 mbar | s | 527 |
| Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbar | s | 1054 |
| Belüftungszeit bis atm für 50 L | s | 16 |
| Zeit bis zur Betriebsbereitschaft | min | <2 |
| Zeit für die Kalibrierung | s | <30 s |
| Einlassflansch | DN63 ISO-K | |
| Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Versorgungsspannung | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Maximaler Leistungsbedarf | VA | 1500 |
| Typischer Leistungsbedarf | VA | 700 |
| Gewicht | kg | 143 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) | atm (~1013 mbar) | |
| Vorpumpentyp | roots | |
| Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen) | m³/h | >36 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus) | L/s | >36 |
| Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40 | L/s | ~ 30 |
| Ansprechzeit für 50 L | s | 1.4 |
| Abpumpzeit 100 L auf 1 mbar | s | 52 |
| Abpumpzeit 50 L auf 1 mbar | s | 104 |
| Abpumpzeit 500 L auf 1 mbar | s | 527 |
| Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbar | s | 1054 |
| Belüftungszeit bis atm für 50 L | s | 16 |
| Zeit bis zur Betriebsbereitschaft | min | <2 |
| Zeit für die Kalibrierung | s | <30 s |
| Zeit für Rate-of-rise-Messung (I·RISE) | s | <10 |
| Einlassflansch | DN63 ISO-K | |
| Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Versorgungsspannung | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Maximaler Leistungsbedarf | VA | 1500 |
| Typischer Leistungsbedarf | VA | 700 |
| Gewicht | kg | 144 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
Bestellinformationen
Artikelnummern
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
| 550-520 | UL6000 Fab |
| 550-530 | UL6000 Fab PLUS |
| 551-226 | Metallschlauch, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
| 551-227 | Metallschlauch, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
| 551-015 | Fernbedienung RC1000WL, kabellos, inkl. Funktransmitter |
| 551-010 | Fernbedienung RC1000C, verkabelt, mit 4m Spiralkabel |
| 551-202 | Vakuumschlauchhalter für UL3000 Fab (auch für ULTRA-Version) |
| 525-001 | SL3000-10, Schnüffelleitung 3 m Länge |
| 525-002 | SL3000-10, Schnüffelleitung 5 m Länge |
| 525-003 | SL3000-10, Schnüffelleitung 10 m Länge |
| 551-203 | Halterung für SL3000 |
| 551-210 | SL200, Schnüffelleitung + el. Erweiterung für UL3000 |
| 551-201 | Halter für Heliumflaschen |
| 560-310 | I/O 1000 Modul |
| 560-315 | BM1000 PROFIBUS Modul |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO Modul |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet Modul |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP Modul |
| 560-334 | Datenkabel for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Datenkabel 2 m |
| 560-335 | Datenkabel 5 m |
| 560-340 | Datenkabel 10 m |
| 551-600 | I·BOOST Software Lizenz |
| 551-031 | SPRAY-Check TL8 |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
Downloads
Broschüren
Handbücher
UL6000-Fab,-PLUS-操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
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4,4 MB
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Chinesisch
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Bedienungsanleitungen
SMART-Spray Operating instructions
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2,5 MB
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
SMART-Spray Betriebsanleitung
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2,5 MB
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Deutsch
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Bedienungsanleitungen
RC1000 Operating instructions
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2,1 MB
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
RC1000 Notice d'utilisation
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2,1 MB
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Französisch
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Bedienungsanleitungen
SL3000(XL) Operating Manual
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1,7 MB
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
SL3000 bracket
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148,3 KB
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Instrukcja obsługi
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4,3 MB
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Polnisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Istruzioni per l'uso
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4,2 MB
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Italienisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Manual de instrucciones
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4,3 MB
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Spanisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Notice d'utilisation
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4,3 MB
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Französisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS инструкция по эксплуатации
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•
4,7 MB
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Russisch
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Bedienungsanleitungen
Halterung SL3000
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328,7 KB
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Deutsch
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Bedienungsanleitungen
RC1000 Betriebsanleitung
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•
2,1 MB
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Deutsch
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Bedienungsanleitungen
SL3000(XL) Operating Manual
pdf
•
1,8 MB
•
Deutsch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Betriebsanleitung
pdf
•
4,3 MB
•
Deutsch
•
Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Operating Instructions
pdf
•
4,2 MB
•
Englisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作説明 Operating Instructions
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•
4,4 MB
•
Japanisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作说明书 Operating Instructions
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•
4,4 MB
•
Chinesisch
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Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 사용 설명서 Operating Instructions
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4,2 MB
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Koreanisch
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Bedienungsanleitungen
Kataloge
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
