RF-Sensortechnik
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RF-Sensortechnik
Sion™
Nichtinvasiver anklemmbarer HF-Detektor liefert schnelle Lichtbogenerkennung in IPVD, PECVD und Ätzprozessen
Sion™
- Einfache Nachrüstung vorhandener Werkzeuge
- Nichtinvasive Sensorinstallation
- Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung (250 kHz)
- Integrierte Datenverwaltung mit FabGuard
RF-Sensortechnik
ADC100
Nicht-invasive Hochgeschwindigkeits-DC-Bogenerfassung für die Prozesskontrolle in Echtzeit
ADC100 DC-Lichtbogendetektor
- Softwareintegration bis auf Werkzeugebene mithilfe des FabGuard-Sensorintegrations- und Analysesystems
- Datenerfassung bei 250 kHz pro Kanal
- Spezialkabel zum Anschluss an die meisten Gleichstromgeneratoren
- Rasche Erkennung von Lichtbögen mithilfe vordefinierter Analysewerkzeuge