BAG402
Mittlerer bis ultrahoher Vakuumbereich

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Mehr Flexibilität. Bessere Stabilität.
Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 deckt einen breiten Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr) ab. Die INFICON BPG402 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Bereich Ausgangsdruck bis Prozessdruck in einem kompakten aktiven Messpaket.
Die einzigartige Aufhängung der beiden Filamente garantiert unerreichte Genauigkeit, Langzeitstabilität und Langlebigkeit.
Vorteile
- Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis 2,7 x 10-2 mbar (3,75 x 10-10 Torr bis 5 x 10-2 Torr)
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
- Überdruckerkennung schützt das Filament vor vorzeitigem Abbrand
- Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
- Automatische Emissionsstromauswahl reduziert Steuerkomplexität
- Leicht austauschbares Sensorelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
- RoHS-Konformität
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
Spezifikationen
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 2.7×10-2 3.75×10-10 5×10-2 |
Accuracy | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange without electronics | °C | 80 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
Artikelnummer
353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |
303-333 | Diagnosekabel 1.9m (P3) |
354-484 | Ersatzsensor BAG402 DN 25 ISO-KF |
354-485 | Ersatzsensor BAG402 DN 40 CF-R |