Heiß-Ionisationsmessgeräte

BAG402

Mittlerer bis ultrahoher Vakuumbereich

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Mehr Flexibilität. Bessere Stabilität.

Gleitender Emissionsmodus, herausnehmbarer Kalibrierchip, galvanisch getrennte Elektronik, optionales OLED-Display (90° drehbar), jetzt auch kompatibel mit VGC50x und mehr.
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Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 deckt einen breiten Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr) ab. Die INFICON BPG402 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Bereich Ausgangsdruck bis Prozessdruck in einem kompakten aktiven Messpaket. 

Die einzigartige Aufhängung der beiden Filamente garantiert unerreichte Genauigkeit, Langzeitstabilität und Langlebigkeit.

Vorteile

  • Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis 2,7 x 10-2 mbar (3,75 x 10-10 Torr bis 5 x 10-2 Torr)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Überdruckerkennung schützt das Filament vor vorzeitigem Abbrand
  • Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
  • Automatische Emissionsstromauswahl reduziert Steuerkomplexität
  • Leicht austauschbares Sensorelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 2.7×10-2
3.75×10-10 5×10-2
   
Accuracy   
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange without electronics °C80
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
≤0.8
Spezifikationen herunterladen

Artikelnummer

Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
353-600BAG402 DSUB9 KF25
353-601BAG402 DSUB9 CF40
303-333Diagnosekabel 1.9m (P3)
354-484Ersatzsensor BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485Ersatzsensor BAG402 DN 40 CF-R
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