HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
BCG450
Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum
Drop-in-Optionen
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Mehr Flexibilität. Bessere Stabilität.
Gleitender Emissionsmodus, herausnehmbarer Kalibrierchip, galvanisch getrennte Elektronik, optionales OLED-Display (90° drehbar) und mehr.
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Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (TripleGauge®) vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5×10-10 bis 1500 mbar (3,75×10-10 bis 1125 Torr).
Das BCG450 wurde entwickelt um drei Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter). Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage.
Auch mit digitaler ProfiNET-Schnittstelle erhältlich.
Vorteile
- Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung
- Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
- Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
- Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
- Die Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck beseitigt Ungewissheit hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
- Leicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten garantiert Reproduzierbarkeit
- Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
- RoHS-Konformität
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung von Systemen im Bereich Grob- bis Ultrahochvakuum
Spezifikationen
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
| 50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
Artikelnummer
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 353-550 | BCG450 DN 25 ISO-KF |
| 353-551 | BCG450 DN 40 CF-R |
| 353-552 | BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-553 | BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-554 | BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-556 | BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-557 | BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-558 | BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-598 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-599 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-517 | BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF |
| 353-518 | BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 353-511 | Netzteil BPG400 24VDC 2.1A |
| 353-512 | Baffle zu BPG400 |
| 211-113 | Zentrierring mit Baffle DN 25 KF |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 354-492 | BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF |
| 354-493 | BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R |
Downloads
Broschüren
Handbücher
TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long
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Bedienungsanleitungen
BCG450 Communication Protocol EtherCAT_New Generation
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Bedienungsanleitungen
TripleGauge BCG450 Communication Protocol EtherCAT
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
TripleGauge BCG450 Communication Protocol DeviceNet
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
TripleGauge BCG450 Communication Protocol PROFIBUS
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
TripleGauge BCG450 Communication Protocol PROFINET
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang
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Bedienungsanleitungen
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353-517 BCG450 PROFINET DN 25 ISO-KF
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353-518 BCG450 PROFINET DN 40 CF-R
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353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
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353-551 BCG450 DN 40-CF-R
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353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF
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353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R
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353-554 BCG450 PROFIBUS DN 25 ISO-KF
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353-556 BCG450 PROFIBUS DN 40-CF-R
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353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF
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353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R
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353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF
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353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R
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Andere
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BCG450_08E6.GSD
GSD
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EtherCAT new generation ESI file BCG450 V2_0_0_0.xml
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ESI File_BCG450 V1_3_0_0
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Inficon_450_SP_STEP7
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PROFINET GSDML File for BCG450
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