HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BPG400

Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG400 von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10^-10 mbar (3,8×10^-10 Torr) bis Atmosphärendruck . Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht.

Das BPG400 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.

Vorteile

Extrem großer Messbereich von 5 x 10^-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10^-10 Torr bis Atmosphärendruck)
Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10^-8 bis 10^-2 mbar von 5%
Das Pirani-Interlock schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
Langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
RoHS-Konformität
Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Typische Anwendungen

Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1000 3.8×10^-10 … 750

Accuracy

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	±15

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange with extension	°C	150
Bakeout at flange without extension	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

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Artikelnummer

Zubehör

Ersatzteile

Artikelnummer	Beschreibung
353-500	BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501	BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502	BPG400 DN 40 CF-R
353-503	BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505	BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506	BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508	BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
354-490	Ersatz-Messsystem BPG400; DN 25 ISO-KF
354-491	Ersatz-Messsystem BPG400; DN 40 CF-R

Artikelnummer	Beschreibung
353-511	Netzteil BPG400 24VDC 2.1A
353-510	Ausheizverlängerung
353-512	Baffle zu BPG400
211-113	Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Artikelnummer	Beschreibung
354-490	Ersatz-Messsystem BPG400; DN 25 ISO-KF
354-491	Ersatz-Messsystem BPG400; DN 40 CF-R
354-498	Ersatz-Elektronik BPG400 o. Display
354-499	Ersatz-Elektronik BPG400 m. Display

Downloads

Broschüren

Hot Ion Gauge Brochure

pdf • 2,5 MB • Englisch • Broschüren

Datenblätter

BPG400 Datasheet

pdf • 169,8 KB • Englisch • Datenblätter

BPG400 ES

pdf • 229,9 KB • Spanisch • Datenblätter

BPG400 JA

pdf • 359,9 KB • Japanisch • Datenblätter

BPG400 KO

pdf • 280,7 KB • Koreanisch • Datenblätter

BPG400 ZH

pdf • 357,6 KB • Chinesisch • Datenblätter

BPG400 DE

pdf • 229,4 KB • Deutsch • Datenblätter

Handbücher

BPG400xx Operating Manual (short version)

pdf • 314,5 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz

pdf • 319,1 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz

pdf • 319,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIMA36E1_BPG400xx operating manual-supplement

pdf • 326,7 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TINA03D1 BPG400-xx Gebrauchsanleitung_lang.Web

pdf • 1,1 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

TINA03E1_BPG400-xx operating manual_long

pdf • 1,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIRA03E1 DeviceNet BPG400x Communication Protocol

pdf • 319,3 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIRA36E1 PROFIBUS BPG400x Communication Protocol

pdf • 399,9 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

3D Step Files

352-501 BPG400 with LCD, DN 25 ISO-KF

zip • 456,8 KB • 3D Dokumente

353-500 BPG400 without LCD, DN 25 ISO-KF

zip • 449,5 KB • 3D Dokumente

353-502 BPG400 without LCD, DN 40 CF-R

zip • 427,5 KB • 3D Dokumente

353-503 BPG400 with LCD, DN 40 CF-R

zip • 468,1 KB • 3D Dokumente

353-505 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 25 ISO-KF

zip • 468,2 KB • 3D Dokumente

353-506 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 40 CF-R

zip • 468,2 KB • 3D Dokumente

353-507 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 25 ISO-KF

zip • 457,3 KB • 3D Dokumente

353-508 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 40 CF-R

zip • 462,3 KB • 3D Dokumente

354-490 BPG400 Replacement sensor DN 25 ISO-KF

zip • 48,5 KB • 3D Dokumente

354-491 BPG400 Replacement sensor DN 40 CF-R

zip • 69,2 KB • 3D Dokumente

Andere

BPG400_06A9.GSD

GSD • 2,5 KB • Englisch

BPG400-float.eds

eds • 35,1 KB • Englisch

BPG400-int.eds

eds • 31,4 KB • Englisch

Inficon_400_SP_STEP7

zip • 856,6 KB • Englisch

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