HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BPG402-Sx

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG402-S von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10^-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8×10^-10 Torr bis Atmosphärendruck).

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Gleitender Emissionsmodus, herausnehmbarer Kalibrierchip, galvanisch getrennte Elektronik, optionales OLED-Display (90° drehbar) und mehr.

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Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. Das BPG402-S mit dualen Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.

Sensorelemente mit Onboard-Kalibrierdaten garantieren hohe Reproduzierbarkeit beim Austausch der Sensoren.

Vorteile

Extrem großer Messbereich von 5 x 10^-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10^-10 Torr bis Atmosphärendruck)
Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10^-8 bis 10^-2 mbar von 5%
Das Pirani-Interlock schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Leicht austauschbares Sensorelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1000 3.8×10^-10 … 750

Accuracy

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	±15

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S	°C	80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 ≤0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

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Artikelnummer

Artikelnummern

Zubehör

Ersatzteile

Artikelnummer	Beschreibung
353-570	BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571	BPG402-S DN 40 CF-R
353-572	BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573	BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578	BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574	BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575	BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576	BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577	BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596	BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597	BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494	BPG402 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-495	BPG402 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

Artikelnummer	Beschreibung
353-511	Netzteil BPG400 24VDC 2.1A
353-512	Baffle zu BPG400
211-113	Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Artikelnummer	Beschreibung
354-494	BPG402 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-495	BPG402 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

Downloads

Broschüren

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

pdf • 3,3 MB • Englisch • Broschüren

Hot Ion Gauge Brochure

pdf • 2,5 MB • Englisch • Broschüren

Datenblätter

BPG402-S Datasheet

pdf • 184,6 KB • Englisch • Datenblätter

BPG402-S JA

pdf • 447,3 KB • Japanisch • Datenblätter

BPG402-S KO

pdf • 355,4 KB • Koreanisch • Datenblätter

BPG402-S ZH

pdf • 439,9 KB • Chinesisch • Datenblätter

BPG402-S

pdf • 360,7 KB • Spanisch • Datenblätter

BPG402-S DE

pdf • 363,5 KB • Deutsch • Datenblätter

Handbücher

BPG402 Operating Manual (short version)

pdf • 392,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BPG402 Operating Manual, Fieldbus Version (short version)

pdf • 375,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BPG402 Operating Manual

pdf • 1,3 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BPG402 DeviceNET Communication Protocol

pdf • 240,3 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BPG402 ProfiBUS Communication Protocol

pdf • 337,9 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BPG402 EtherCAT Comunication Protocol

pdf • 318,2 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BPG402 EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 671,5 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIMA46D1_BPG402 Gebrauchsanleitung_kurz

pdf • 388,1 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

TIMA47D1_BPG402 Gebrauchsanleitung (Feldbus Versionen)_kurz

pdf • 372,9 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

TINA46D1_BPG402 (alle Versionen) Gebrauchsanleitung_lang

pdf • 1,3 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

3D Step Files

353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF

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353-571 BPG402-S DN 40 CF-R

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353-572 BPG402-S LCD DN 25 ISO-KF

zip • 421,5 KB • 3D Dokumente

353-573 BPG402-S LCD DN 40 CF-R

zip • 430,8 KB • 3D Dokumente

353-574 BPG402-SP PROFIBUS DN 25 ISO-KF

zip • 431,8 KB • 3D Dokumente

353-575 BPG402-SP PROFIBUS DN 40 CF-R

zip • 442,2 KB • 3D Dokumente

353-576 BPG402-SD DNET DN 25 ISO-KF

zip • 424,5 KB • 3D Dokumente

353-577 BPG402-SD DNET DN 40 CF-R

zip • 433,8 KB • 3D Dokumente

353-578 BPG402-SL long-tube DN 40 CF-R

zip • 391,4 KB • 3D Dokumente

353-590 BPG402-SE EtherCAT 25 ISO-KF

zip • 197,6 KB • 3D Dokumente

353-591 BPG402-SE EtherCAT 40 CF-R

zip • 196,8 KB • 3D Dokumente

Andere

BPG402 int EDS

eds • 42,8 KB • Englisch

BGP402-float.eds

eds • 42,8 KB • Englisch

BPG402 09AA GSD

GSD • 3,0 KB • Englisch

Inficon_402_SP_STEP7

zip • 847,3 KB • Englisch

BPG402 EtherCAT New Generation ESI V2

xml • 171,8 KB • Englisch

BPG402 EtherCAT ESI V1.3

xml • 1,1 MB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

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