Edge® CDG025D2
Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das INFICON Edge™-Kapazitätsmembran-Vakuummessgerät bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen.
Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt.
Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.
Vorteile
- Einfache Integration, EtherCAT, grosse Angebotsbreite an Messbereichen und Flanschen, Standard mit zwei Schaltpunkten
- Einfaches "zero"-Kommando, entweder manuell mit Knofdruck oder als digitales Signal, einstellbarer Null-Punkt-offset.
- "Diagnostic"- Stecker für schnelle Wartung und Service
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
- Hervorragende Langzeit-Signalstabilität
- Temperaturkompensiert
- Kontaminationsgeschützter Sensor
- Entspricht den Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Typische Anwendungen
- Ätz, PVD und andere Halbleiter Produktionsprozesse
- Speichermedien- und Display-Fertigungs-Equipment
- Industrielle Vakuumgeräte
- Allgemeine hochgenaue Druckmessung
Spezifikationen
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.25 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 130 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.5 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 130 / 30 (3) |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
