Edge® CDG025D2

Das INFICON Edge™-Kapazitätsmembran-Vakuummessgerät bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen.

Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt.

Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.

Vorteile

Einfache Integration, EtherCAT, grosse Angebotsbreite an Messbereichen und Flanschen, Standard mit zwei Schaltpunkten
Einfaches "zero"-Kommando, entweder manuell mit Knofdruck oder als digitales Signal, einstellbarer Null-Punkt-offset.
"Diagnostic"- Stecker für schnelle Wartung und Service
Korrosionsbeständiger Keramiksensor
Hervorragende Langzeit-Signalstabilität
Temperaturkompensiert
Kontaminationsgeschützter Sensor
Entspricht den Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Spezifikationen

1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr / mbar

0.1 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.25

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	130

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.5

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	130 / 30 (3)

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)