Gemini® MxG5xx
Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das invertierte Magnetron Vakuummessgerät Gemini® von INFICON ist das neue Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen. Während Gemini MPG50x zwei Sensorsysteme zu einem kompakten Gerät für die Messung im Bereich von Atmophäre bis 1x10– 9 mbar vereinigt, ist Gemini™ MAG50x eine reine Kaltkatode (ohne Pirani), welche den Messbereich von 1x10-2 mbar bis runter zu 1x10 – 9 mbar abdeckt.
Das patentierte Design zur Reduktion des magnetischen Streufeldes eröffnet neue Einsatzbereiche in kritischen Vakuum-Applikationen. Der einzigartige austauschbare 2-Kammer-Sensor macht eine regelmässige Reinigung überflüssig und reduziert dadurch die Wartung des Gerätes. Gemini™ wird dadruch zum robustesten und wirtschaftlichsten Vakuum-Messgerät seiner Art.
Die Gemini™ Kaltkathode (MAG) und die Gemini™ Pirani-Kaltkathoden Kombi-Variante (MPG) sind aktive Messgeräte mit integrierter digitaler Elektronikeinheit zur ultimativen hochflexiblen Systemintegration. Die Kaltkathoden-Pirani Kombivariante (MPG) sorgt für nahtlose Messübergänge, Zuverlässigkeit und Flexibilität in Applikationen mit erweitertem Vakuumdruckbereich.
MAG und MPG Gemini™ sind auch mit PROFINET, EtherCAT Feldbus und integrierten Schaltpunkten erhältlich als MAG55x und MPG55x.Für korrosive Applikationen empfehlen wir die Keramik beschichtete Version MxG5x4. Bei dieser sind Durchführung und Pirani-Element im Sensorkopf, zur Erlangung einer verbesserten Korrosionsbeständigkeit, vollständig Keramik beschichtet.
Die Gemini® Kaltkatoden und Kombinationssensoren kommen mit vollintegrierter digitaler Elektronik und bieten so die ultimative Flexibilität bei der Systemintegration.Beide, Kaltkatode und die Kaltkatoden-Pirani Kombinationssensoroption bieten nahtlosen Übergang, Zuverlässigkeit, und Flexibilität in allen Weitbereichs-Applikationen.
Vorteile
- Lange Lebensdauer in rauen Einsatzumgebungen
- Geringes magnetisches Streufeld
- Zuverlässige und schnelle Zündung
- Schnellste Wartung - austauschbarer Einsatz
- Kompakte Baugröße - einfache Integration
- Korrosionsbeständige Durchführung & Sensor Element
- Wählbarer Messstrom
- 2 Relais-Schaltpunkte (MxG55x)
- PROFINET, EtherCAT und RS232/ RS485 digitale Schnittstellen
Typische Anwendungen
- Überwachung und Steuerung des Basisdrucks von Atmosphärendruck bis Hochvakuum in Verdampfungs- und Sputter-Anwendungen
- Allgemeine Vakuummessung – Industrieöfen, architektonische Glasbeschichtungen, Halbleiterfertigung, Kühl- und Klimaanlagen.
- Anwendungen in der Analytik und Forschung und Entwicklung; Massenspektrometrie, Elektronenmikroskope, Medizin, Augenmedizin, Optik und Hochenergiephysik.
Spezifikationen
| Messbereich (air, N2) | mbar Torr | 1×10-9 … 1×10-2 (7.6×10-10 … 7.6×10-3) |
| Genauigkeit (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | 30 |
| 1×10-2 … 100 mbar | % of reading | - |
| 100 … 1000 mbar | % of reading | - |
| Wiederholbarkeit (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | 5 |
| 1×10-8 … 100 mbar | % of reading | - |
| Zulässige Temperatur | ||
| Betrieb (Umgebung) | °C | +5 ... +55 |
| Ausheizen am Flansch (1) | °C | <150 |
| Lagerung | °C | -40 ... +70 |
| Filament temperatur | °C | - |
| Betriebsspannung | ||
| Am Messgerät (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
| Restwelligkeit | V (p-p) | <1 |
| Leistungsaufnahme | W | <2 |
| Absicherung extern | AT | <1 |
| (1) Ohne Elektronik. (2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden. | ||
| Messbereich (air, N2) | mbar Torr | (7.6×10-10 … 760) 1×10-9 … 1000 |
| Genauigkeit (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | 30 |
| 1×10-2 … 100 mbar | % of reading | 30 |
| 100 … 1000 mbar | % of reading | 50 |
| Wiederholbarkeit (N2) | ||
| 1×10-8 … 1×10-2 mbar | % of reading | - |
| 1×10-8 … 100 mbar | % of reading | 5 |
| Zulässige Temperatur | ||
| Betrieb (Umgebung) | °C | |
| Ausheizen am Flansch (1) | °C | <150 |
| Lagerung | °C | -40 ... +70 |
| Filament temperatur | °C | 120 |
| Betriebsspannung | ||
| Am Messgerät (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
| Restwelligkeit | V (p-p) | <1 |
| Leistungsaufnahme | W | <=3 |
| Absicherung extern | AT | <1 |
| (1) Ohne Elektronik. (2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden. | ||
Artikelnummer
| MAG5xx | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 211-098 | Zentrierring mit Feinfilter DN25KF |
| 351-550 | MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe |
| 211-113 | Zentrierring mit Baffle DN 25 KF |
| 353-512 | Baffle zu BPG400
|
| MPG5xx | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 211-098 | Zentrierring mit Feinfilter DN25KF |
| 351-550 | MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe |
| 211-113 | Zentrierring mit Baffle DN 25 KF |
| 353-512 | Baffle zu BPG400 |
| MAG5xx | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-500 | MAG500 Ersatzsensor, 25KF, SS |
| 351-556 | Ersatz Ionisationskammer TI |
| 351-512 | MAG500 Ersatzsensor, 40KF, SS |
| 351-536 | MAG500 Ersatzsensor, 40CF-R, SS |
| 351-524 | MAG500 Ersatzsensor, 40CF-F, SS |
| 351-502 | MAG500 Ersatzsensor, 25KF, TI |
| 351-514 | MAG500 Ersatzsensor, 40KF, TI |
| 351-538 | MAG500 Ersatzsensor, 40CF-R, TI |
| 351-526 | MAG500 Ersatzsensor, 40CF-F, TI |
| 351-501 | MAG504 Ersatzsensor, 25KF, SS |
| 351-513 | MAG504 Ersatzsensor, 40KF, SS |
| 351-537 | MAG504 Ersatzsensor, 40CF-R, SS |
| 351-525 | MAG504 Ersatzsensor, 40CF-F, SS |
| 351-503 | MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI |
| 351-515 | MAG504 Ersatzsensor, 40KF, TI |
| 351-539 | MAG504 Ersatzsensor, 40CF-R, TI |
| 351-527 | MAG504 Ersatzsensor, 40CF-F, TI |
| 351-995 | MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk) |
| 351-555 | Ersatz Ionisationskammer SS |
| MPG5xx | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-506 | MPG500 Ersatzsensor, 25KF, SS |
| 351-518 | MPG500 Ersatzsensor, 40KF, SS |
| 351-542 | MPG500 Ersatzsensor, 40CF-R, SS |
| 351-530 | MPG500 Ersatzsensor, 40CF-F, SS |
| 351-508 | MPG500 Ersatzsensor, 25KF, TI |
| 351-520 | MPG500 Ersatzsensor, 40KF, TI |
| 351-544 | MPG500 Ersatzsensor, 40CF-R, TI |
| 351-532 | MPG500 Ersatzsensor, 40CF-F, TI |
| 351-507 | MPG504 Ersatzsensor, 25KF, TI |
| 351-519 | MPG504 Ersatzsensor, 40KF, SS |
| 351-543 | MPG504 Ersatzsensor, 40CF-R, SS |
| 351-531 | MPG504 Ersatzsensor, 40CF-F, SS |
| 351-509 | MPG504 Ersatzsensor, 25KF, TI |
| 351-521 | MPG504 Ersatzsensor, 40KF, TI |
| 351-545 | MPG504 Ersatzsensor, 40CF-R, TI |
| 351-533 | MPG504 Ersatzsensor, 40CF-F, TI |
| 351-995 | MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk) |
| 351-555 | Ersatz Ionisationskammer SS |
| 351-556 | Ersatz Ionisationskammer TI |
Artikelnummer
