HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
HPG400
Für Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum
Drop-in-Optionen
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
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Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 von INFICON kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2×10-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5×10-6 Torr bis Atmosphärendruck).
Das HPG400 ermöglicht Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle bei Zerstäubungsvorgängen.
Vorteile
- Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems.
- Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von 1 X 10-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung.
- Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 X 10-2 und 1 mbar
- Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
- Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
- Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
- RoHS-Konformität
Typische Anwendungen
- Sputter-Anwendungen in der Halbleiterherstellung und in der Elektronik- und Medienindustrie
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis hohen Vakuumbereich
Spezifikationen
| Measurement range (air, N2) | mbar Torr | 2×10-6 … 1000 1.5×10-6 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-5 … 1 mbar | % of reading | ±15 (1) |
| Repeatability | ||
| 10-5 … 10-1 mbar | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 mbar | % of reading | 30 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| (1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value | ||
Artikelnummer
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 353-520 | HPG400 DN 25 ISO-KF |
| 353-521 | HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-522 | HPG400 DN 40 CF-F |
| 353-523 | HPG400 LCD, DN 40 CF-F |
| 353-525 | HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-526 | HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F |
| 353-527 | HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF |
| 353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 211-113 | Zentrierring mit Baffle DN 25 KF |
| 353-511 | Netzteil BPG400 24VDC 2.1A |
| 357-499 | Baffle HPG (10 Stück) |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 354-487 | HPG400 Ersatz-Messsystem DN 25 ISO-KF |
| 354-488 | HPG400 Ersatz-Messsystem DN 40 CF-F |
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HPG400 Datasheet
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