Heiß-Ionisationsmessgeräte

IE414, IE514

Passive Heißkathoden-Ionisationsmessröhren für IM540

IE414-IE514
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das IE414 und IE514 sind High-End-Vakuumsensoren, die auf dem Heißkathoden-Ionisationseffekt basieren. Das IE414 ist ein Bayard-Alpert-Messgerät, während das IE514 auf dem Extraktorprinzip basiert. Diese passiven Messgeräte werden durch den Vakuummeter-Controller IM540 kombiniert und gesteuert.

Dank der Modulation des Kathodenemissionsstroms erstreckt sich der Messbereich des IE414 über 9 Dekaden von 10-2 mbar bis zu 10-11 mbar. Dank des Extraktorprinzips erreicht das IE514 eine untere Messgrenze von 2×10-12 mbar, da es die Röntgen- und Ionendesorptionseffekte reduziert. Die Messköpfe IE414 und IE514 sind für Vakuumsysteme mit geringer Ausgasung ausgelegt und können bis zu extrem hohen Temperaturen (400 °C) ausgeheizt werden. Der temperaturbeständige Messkopfkabelsatz ist auch für hohe Ausheiztemperaturen von über 200 °C (250 °C am Sensorflansch) ausgelegt.

Vorteile

  • Hohe Genauigkeit der Messungen durch individuell kalibriertes Sensorsystem
  • Austauschbare Kathode
  • Extrem hohe Ausheiztemperaturen bis zu 400 °C

IE414

  • Bayard-Alpert-Messprinzip
  • Messbereich bis 2×10-11 mbar
  • Modulation des Kathodenemissionsstroms (in Kombination mit dem IM540-Vakuummeter-Controller)

IE514

  • Extraktor-Messprinzip
  • Niedrigste Messgrenze, bis zu 2×10-12 mbar
  • Deutliche Reduzierung der Röntgen- und Ionendesorptionseffekte

Typische Anwendungen

  • Wissenschaftliche und F&E-Anwendungen, die präzise Vakuummessungen im Ultrahochvakuumbereich und Ausheizen bei hohen Temperaturen erfordern

Betriebseinheiten

  • Vakuummessgerät Kontroller IM540

Spezifikationen

IE414
IE514
MessprinzipBayard-Alpert, Heißkathoden-Ionisation
Messbereich2×10-11 ... 1×10-2 mbar (mit modularem Emissionsstrom)
Röntgengrenzwert<10-11 mbar
DurchführungAl2O3 Keramik
Ausheiztemperatur≤400 °C
dem Vakuum ausgesetztes MaterialNiFe, AI2O3, rostfreier Stahl, Y2O3, Mo, Wolfram
MerkmaleIridium-Glühfaden, beschichtet mit Y2O3
Molybdän-Anode
MessprinzipExtraktor, Heißkathodenionisation
Messbereich2×10-12 ... 1×10-4 mbar
Röntgengrenzwert<10-12 mbar
DurchführungAl2O3 Keramik
Ausheiztemperatur≤400 °C
dem Vakuum ausgesetztes MaterialNiFe, AI2O3, rostfreier Stahl, Y2O3, Wolfram
MerkmaleIridium-Faden, beschichtet mit Y2O3
Anode aus rostfreiem Stahl

Artikelnummer

Artikelnummer
Accessories
 IE414
399-661IE414 DN 40 CF-F
399-676Ersatzkathode IE414
 IE514
399-663IE514 DN 40 CF-F
399-677Ersatzkathode IE514
 Messröhrenkabel zum IM540 
to IE414/514, 80 °C
399-6803 m
399-6815 m
399-68210 m
399-68550 m
  
 Messröhrenkabel zum IM540 
to IE414/514, 200 °C
399-6863 m
399-6875 m
399-68810 m
399-69050 m

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