Cold Cathode Gauges

MAG050, MAG060, MAG070

Passive Kaltkathoden-Messröhren für VGC094 und VGC083C

MAG050_060_070
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die Messröhren MAG050, MAG060 und MAG070 sind seit langem bewährte passive, invertierte Magnetron-Kaltkathodenmessgeräte, die für den Betrieb mit den Vakuum-Messcontrollern VGC094 und VGC083C vorgesehen sind. Sie sind für die Vakuummessung im Druckbereich von 1×10-11 (MAG070) bis 5×10-3 mbar ausgelegt. Die kompakte Metallkonstruktion bietet eine robuste Lösung für allgemeine Vakuumanwendungen. Die MAG050 ist eine Kaltkathodenmessröhre mit einer elastomergedichteten Durchführung.

Dank ihrer Ganzmetallausführung erfüllen MAG060 und MAG070 die Anforderungen anspruchsvoller Anwendungen, die eine Ausheiztemperatur von bis zu 250 °C oder eine hohe Beständigkeit gegen ionisierende Strahlung erfordern. Beide ermöglichen Druckmessungen im UHV-Bereich. Der TRIAX Anschluss des MAG070 ermöglicht die Messung niedrigster Drücke (bis zu 1×10-11 mbar) und den Betrieb über große Entfernungen zwischen Messröhre und Steuergerät (bis zu 500 m). Alle Messröhren verfügen über eine an der Anode angebrachte Zündhilfe (die die Zündzeit der Kaltkathode bei niedrigem Druck verkürzt) und können leicht demontiert und gereinigt werden, was einen langfristigen Einsatz mit minimalen Ausfallzeiten ermöglicht.

Vorteile

  • Zuverlässige und bewährte Messröhrenkonstruktion, basierend auf dem Prinzip des umgekehrten Magnetrons
  • Großer Vakuumdruckmessbereich von 1×10-11 (MAG070) bis 5×10-3 mbar
  • Ausheizbar bis 150 °C (MAG050) oder 250 °C (MAG060, MAG070)
  • Gute Zündeigenschaften
  • Korrosionsbeständig mit Keramikdurchführung
  • Strahlungsbeständige Ausführung erhältlich (MAG060, MAG070)
  • Einfache Wartung, niedrige Betriebskosten

Typische Anwendungen

  • Allgemeine Vakuummessung und -regelung für anspruchsvolle und/oder Hochtemperaturanwendungen vom Nieder- bis zum Hochvakuumbereich

Betriebseinheiten

  • Vakuumkontroller VGC094 und VGC083C (MAG070 ausgeschlossen)

Spezifikationen

MAG050
MAG060
MAG070
MessprinzipInvertierte Magnetron-Kaltkathode
Messbereich2x10-9 ... 5x10-3 mbar
Genauigkeit (N2)30% des Messwerts
Reproduzierbarkeit (N2)5% des Messwerts
Durchführung | Interne DichtungAI2O3-Keramik | Elastomer (FPM)
Ausheiztemperatur≤150°C
Maximaler Arbeitsabstand≤100 m 
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung-
Dem Vakuum ausgesetzte MaterialienRostfreier Stahl, AI2O3, FPM, Mo
MerkmaleKoax-Anschluss
MessprinzipInvertierte Magnetron-Kaltkathode
Messbereich1x10-10 ... 5x10-3 mbar
Genauigkeit (N2)30% des Messwerts
Reproduzierbarkeit (N2)5% des Messwerts
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperatur≤250°C
Maximaler Arbeitsabstand≤100 m
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Dem Vakuum ausgesetzte MaterialienRostfreier Stahl, AI2O3, Ag, Mo
MerkmaleKoax-Anschluss
MessprinzipInvertierte Magnetron-Kaltkathode
Messbereich1x10-11 ... 5x10-3 mbar
Genauigkeit (N2)30% des Messwerts
Reproduzierbarkeit (N2)5% des Messwerts
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperatur≤250°C
Maximaler Arbeitsabstand≤500 m
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Dem Vakuum ausgesetzte MaterialienRostfreier Stahl, AI2O3, Ag, Mo
MerkmaleTriax-Verbinder
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Artikelnummer

Artikelnummer
Zubehör
 MAG050
399-840DN 25 ISO-KF
399-841DN 40 ISO-KF
399-842DN 40 CF-F
  
 MAG060
399-845DN 40 ISO-KF
399-846DN 40 CF-F
  
 MAG070
399-847DN 40 ISO-KF
399-848DN 40 CF-F
 Kabel zu VGC094
 zu MAG050/060 80°C
BG548406-T3 m (9.9 ft)
BG548407-T6 m (19.8 ft)
BG548419-T10 m (33 ft)
BG548483-T15 m (49 ft)
  
 zu MAG050/060 250°C
BG548542-T3 m (9.9 ft)
BG548543-T6 m (19.8 ft)
BG448045-T10 m (33 ft)
BG548989-T15 m (49 ft)
  
 zu MAG070  80°C
BG548306-T3 m (9.9 ft)
BG548317-T6 m (19.8 ft)
BG548490-T10 m (33 ft)
BG548491-T15 m (49 ft)
  
 Kabel zu VGC083C
 zu MAG050/060 80°C
399-8203 m (9 ft)
399-8218 m (25 ft)
399-82215 m (50 ft)
  
 zu MAG050/060 200°C
399-8303 m (9 ft)
399-8318 m (25 ft)
399-83215 m (50 ft)
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