1. MPG40X
Kaltkathoden-Messgeräte

MPG40X

Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

MPG40x
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 von INFICON messen von 5 x 10-9 mbar (3,8 x 10-9 Torr) bis Atmosphärendruck. 

Die Kombination von Technologien in einem einzigen kompakten Gerät mit nur einem logarithmischen analogen Ausgangssignal vereinfacht die Installation, Einrichtung und Integration in Ihre Anlage.

Vorteile

  • Kombinationsmessgerät – invertiertes Magnetron und Pirani
  • Großer Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphärendruck
  • Kein Filament, das ausbrennen kann
  • Ausgezeichnete Zündeigenschaften
  • Leicht zu reinigen
  • FPM- oder metallversiegelte Durchführung
  • LED-Anzeige für anliegende Hochspannung
  • Logarithmisches analoges Ausgangssignal

Typische Anwendungen

  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Basisdruck für Verdampfungs- und Sputter-Systeme
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Hochvakuumbereich

Spezifikationen

MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
Messbereich (Luft, N2)mbar
Torr		5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Wiederholbarkeit  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
Zulässige Temperatur  
Betrieb (Umgebung)°C+5 … +55
Lagerung°C–40 … +65
Ausheizen (1)°C150
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+15 … +30
Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2)V (dc)+16 … +30
RippleV (p-p)≤1
LeistungsaufnahmeW≤2
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
   
(1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung.
(2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden.
Messbereich (Luft, N2)mbar
Torr		5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Wiederholbarkeit  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
Zulässige Temperatur  
Betrieb (Umgebung)°C+5 … +55
Lagerung°C–40 … +65
Ausheizen (1)°C150
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+15 … +30
Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2)V (dc)+16 … +30
RippleV (p-p)≤1
LeistungsaufnahmeW≤2
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
   
(1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung.
(2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden.
Spezifikationen herunterladen

Artikelnummer

Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-010MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
351-011MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
351-012MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-020MPG401, DN 25 ISO-KF
351-021MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
351-022MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
351-023Magnetische Abschirmung
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-023Magnetische Abschirmung
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-023Magnetische Abschirmung
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846469-TErsatz-Messsystem MPG400 DN25 ISO-KF
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846472-TErsatz-Messsystem MPG401 DN25 ISO-KF
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846470-TErsatz-Messsystem MPG400 DN40 ISO-KF
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846473-TErsatz-Messsystem MPG401 DN40 ISO-KF
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846471-TErsatz-Messsystem MPG400 DN40 CF-F
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846474-TErsatz-Messsystem MPG401 DN40CF-F
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-994MPG40x/MAG470 Montagewerkzeug Zündhilfe
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-994MPG40x/MAG470 Montagewerkzeug Zündhilfe
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-995MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-995MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-998MPG400 Reparatursatz
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-996
351-996
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-999MPG400 Wartungssatz
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-997MPG401/MAG470 Wartungssatz
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