1. PSG50x & PSG51x
Pirani-Messgeräte

PSG50x & PSG51x

Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Pirani-PSG5XX
Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Erfahren Sie mehr

Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.

Vorteile

  • Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
  • Platzsparendes, robustes Design
  • Aluminiumgehäuse
  • Montage in beliebiger Position
  • Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
  • Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
  • 10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
  • Bei 250 °C ausheizbare Version
  • Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
  • Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
  • Optionale Sollwerte
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
  • Vorvakuum-Drucküberwachung
  • Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich

Technische Daten

PSG500 tungsten
PSG500-S tungsten, setpoints
PSG502-S nickel, setpoints
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading±50%
100 … 1000 mbar% of reading±50%
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der Schaltpunkte none
Einstelungsbereichmbar‒
Hysterese% of reading‒
Relaiskontakt ‒
Relaiskontakt: Schaltzeitms‒
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
Spezifikationen herunterladen

Artikelnummer

Artikelnummer
Zubehör
Ersatzteile
PSG500 tungsten 
350-060PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061PSG500 1/8" NPT
350-062PSG500 DN 16 CF-R
350-063PSG500 1/2" Tube
350-064PSG500 8-VCR (1/2")
350-065PSG500 4-VCR (1/4")
350-066PSG500 7/16-20 UNF
350-067PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-080PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081PSG500-S 1/8" NPT
350-082PSG500-S DN 16 CF-R
350-083PSG500-S 1/2" Tube
350-084PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-140PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141PSG502-S 1/8" NPT
350-142PSG502-S DN 16 CF-R
350-143PSG502-S 1/2" Tube
350-144PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-200PSG510-S DN 16 ISO-KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-300PSG512-S DN 16 ISO-KF
PSG500 tungsten 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG502-S nickel, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
PSG500 tungsten 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-900PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-930PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-940PSG512 Spare Sensor DN 16 KF

Downloads

Datenblätter
PSG50x & PSG51x Datenblatt
pdf • 367,2 KB • Deutsch • Datenblätter
Handbücher
PSG50x & PSG51x Gebrauchsanleitung
pdf • 274,1 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen
PSG50x & PSG51x Installationsanleitung
pdf • 230,5 KB • Französisch, Deutsch, Englisch
3D Dateien
PSG500 3D 1/2" Tube
zip • 265,9 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 1/8" NPT
zip • 271,2 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 16CF-R
zip • 284,1 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 16CF-R Long Tube
zip • 295,4 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 16KF
zip • 195,3 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 16KF Long Tube
zip • 281,0 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 4-VCR
zip • 278,4 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 7/16-20 UNF
zip • 277,9 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D 8-VCR
zip • 279,6 KB • 3D Dokumente
PSG500 3D G1/8"
stp • 2,2 MB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 1/2" Tube
zip • 337,7 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 1/8" NPT
zip • 342,8 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 16CF-R
zip • 355,3 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 16CF-R Long Tube
zip • 367,1 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 16KF
zip • 319,0 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 16KF Long Tube
zip • 281,0 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 4-VCR
zip • 350,3 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 7/16-20 UNF
zip • 349,7 KB • 3D Dokumente
PSG500-S 3D 8-VCR
zip • 351,4 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 1/2" Tube
zip • 337,7 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 1/8" NPT
zip • 342,8 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 16CF-R
zip • 355,3 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 16CF-R Long Tube
zip • 367,1 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 16KF
zip • 295,4 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 16KF Long Tube
zip • 281,0 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 4-VCR
zip • 350,3 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 7/16-20 UNF
zip • 349,7 KB • 3D Dokumente
PSG502-S 3D 8-VCR
zip • 351,4 KB • 3D Dokumente
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
Analytical-Instrumentation-Navi
Analytische Instrumente
Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.
Mehr Erfahren
Battery-Market-Navi
Batterie
Von der Elektrodenproduktion bis zur End-of-Line-Prüfung
Mehr Erfahren
Display-Navi
Display
INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.
Mehr Erfahren
energy-market-navi
Energie
Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird.
Mehr Erfahren
HVACR-Navi
HVAC/R
Die Kälte- und Klimatechnik gehört zweifelsohne zu den wichtigen Themen des 21. Jahrhunderts. Nutzungseffektivität, Energieeffizienz, und nicht zuletzt optimale Temperaturen bzw. ein optimales Klima (im privaten als auch gewerblichen Sektor) spielen eine wichtige Rolle.
Mehr Erfahren
Industrial-Manufacturing-Navi-2
Industrielle Fertigung
Vakuum wird immer häufiger eingesetzt, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und wird für verschiedene Prozesse benötigt, die ohne Vakuum nicht funktionieren.
Mehr Erfahren
Mobility_and_Automotive-Navi
Mobilität & Automotive
Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.
Mehr Erfahren
Pharma_and_Medical-Navi
Pharma & Medizin
Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie
Mehr Erfahren
Research-and-Academia-Navi
Forschung & Ausbildung
Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.
Mehr Erfahren
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
Halbleiterhersteller
Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.
Mehr Erfahren
Vacuum_Coating-Navi
Vakuumbeschichtung
Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.
Mehr Erfahren
Wir benötigen für Videoinhalte Ihre Zustimmung
Mehr Informationen

Sie können diese Zustimmung jederzeit über einen Link am Ende jeder E-Mail widerrufen. Weitere Informationen über die Abmeldung, unsere Datenschutzpraktiken und wie wir Ihre Daten schützen und respektieren, finden Sie in unserer Datenschutzrichtlinie. 

Indem Sie unten auf "Absenden" klicken, erklären Sie sich damit einverstanden, dass INFICON die oben angegebenen persönlichen Daten speichert und verarbeitet, um Ihnen die gewünschten Inhalte zukommen zu lassen.