SKY® CDG025D
Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICON SKY CDG025D-Kapazitätsmembranmessgeräte sind hochpräzise temperaturkompensierte Manometer mit stabiler Leistung für anspruchsvolle Prozessumgebungen. Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die Leistung des Messgeräts und umfasst Funktionen wie eine Nullfunktion per Knopfdruck und eine Sollwertjustierung.
Der korrosionsbeständige ultrareine Keramiksensor bietet eine exzellente Nullstabilität mit einer langen Lebenserwartung von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das Messgerät vor Prozessverunreinigung. Die robuste mechanische Konstruktion und die digitale Elektronik verbessern die EMC-Kompatibilität, Langzeitstabilität und Temperaturkompensation.
Das CDG025D-Kapazitätsmembranmessgerät setzt neue Standards in Bezug auf schnelle Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition.
Vorteile
- Vollskalenbereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
- Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
- Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
- Ausgezeichnete langfristige Signalstabilität
- Temperaturkompensiert
- Sensor ist vor Verunreinigung geschützt
- Nullung mit einem einzigen Tastendruck
- Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten
Typische Anwendungen
- Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
- Produktionsanlagen für Datenspeicher und Bildschirme
- Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
- Allgemeine Druckmessung mit hoher Präzision
Spezifikationen
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| Genauigkeit | % of reading | 0.25 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 130 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| Genauigkeit | % of reading | 0.5 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 130 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass |
