SKY® CDG025D-X3
Präzision und Zuverlässigkeit neu definiert
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Für Anwendungen, bei denen Präzision und Zuverlässigkeit von entscheidender Bedeutung sind, stellt INFICON SKY den kapazitiven Membrandruckaufnehmer SKY CDG025D-X3 vor, ein Spitzenprodukt für die Druckmessung und -kontrolle. Dieses Messgerät kombiniert jahrzehntelange Erfahrung mit modernster Technologie, um einen unübertroffenen Standard in der Branche zu setzen.
Vorstellung des SKY® CDG025D-X3
Hochpräzise Temperaturkompensation: Die Sky CDG025D-X3 verwendet eine fortschrittliche Technologie zur Temperaturkompensation. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gerät auch unter extremen Bedingungen zuverlässige und genaue Messresultate liefert.
Der korrosionsbeständige Keramiksensor bietet eine ausgezeichnete Nullpunktstabilität mit einer langen Lebensdauer von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich atmosphärischer Druckstöße.
Fortschrittliche digitale Elektronik: Die Elektronik dieses Manometers ist nicht nur auf dem neuesten Stand der Technik, sondern bietet auch eine beeindruckende Liste von Funktionen. Nullpunkteinstellung und Schaltpunkteinstellung auf Knopfdruck erhöhen die Benutzerfreundlichkeit.
Die neueste SKY® Technologie
Langlebiger Keramiksensor: Der korrosionsbeständige Ultrakeramiksensor verleiht dem Messgerät eine hervorragende Langzeit-Signalstabilität und eine Lebenserwartung von Millionen von Druckzyklen, selbst bei atmosphärische Druckstösse.
Darüber hinaus schützt eine patentierte Sensorabschirmung das Messgerät vor Prozessverschmutzung. Dies ist besonders wichtig in typischen Anwendungen wie Halbleiterproduktionsanlagen, insbesondere bei Prozessen wie Ätzen, CVD, PVD und ALD. Die Sky CDG025D-X3 eignet sich daher ideal für Produktionsanlagen in den Bereichen Speichermedien und Flachbildschirme, industrielle Vakuumprozessausrüstungen sowie generelle Vakuumdruckmessungen welche hohe Genauigkeit erfordern.
Besondere Eigenschaften und Vorteile
Im heutigen industriellen Umfeld, in dem elektromagnetische Störungen ein ernsthaftes Problem darstellen können, wurde die Sky CDG025D-X3 unter Berücksichtigung der EMV-Kompatibilität entwickelt. Zusammen mit seiner beeindruckenden Langzeitstabilität und Temperaturkompensation gewährleistet dies eine zuverlässige Leistung über viele Jahre.
Darüber hinaus bietet das CDG025D-X3 eine schnelle Stabilisierung nach dem Einschalten und eine ebenso schnelle Erholung nach atmosphärischer Belastung, was sie zu einem unverzichtbaren Instrument für anspruchsvolle industrielle Anwendungen macht. Es ist nicht nur ein Messgerät, sondern ein Symbol für Qualität und Innovation in der Vakuummesstechnik.
Vorteile
- Oberer Messbereichsendwert h von 100 mTorr ... 1000 Torr
- Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
- Schnelle Erholung vom Atmosphärendruck
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
- Ausgezeichnete Langzeit-Signalstabilität
- Temperaturkompensiert
- Sensor doppelt vor Verschmutzung geschützt
- Nullpunkteinstellung per Knopfdruck
- Weitbereichsspannungsversorgung
- 2 Schaltpunkte
- RS232 Schnittstelle
- Reinraumtauglich
Typische Anwendungen
- Halbleiterfertigungsanlagen für Ätzen, CVD, PVD, ALD
- Produktionsanlagen für Speichermedien und Flachbildschirme
- Industrielle Vakuumausrüstung
- Allgemeine hochgenaue Druckmessung
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Spezifikationen
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.25 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 130 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.5 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 130 / 30 (3) |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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