INFICON SKY® CDG045D

INFICON SKY CDG045D-Manometer sind die beste Wahl für hochpräzise Gesamtdruckmessung und -steuerung.

CDG045D-Messgeräte sind temperaturgeregelt auf 45 °C für bessere Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 50 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid.

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Vakuumanwendungen.

SKY® CDG045D ist auch mit der digitalen EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Konformität und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Vakuumprozesse
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
Referenzsensor zur Überwachung von Testinstrumenten gemäß internationaler Standards
Transferstandard für Verfolgbarkeitsmessungen

Spezifikationen

1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.15

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.15

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.15

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	130 / 30 ⁽³⁾

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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Typische Anwendungen

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