Kapazitätsmanometer

SKY® CDG200D

200°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 1 ... 1000 Torr / mbar

Drop-in-Optionen

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INFICON SKY CDG200D-Hochtemperaturmanometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -regelung.

CDG200D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 200 °C temperaturgeregelt. Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid.

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

SKY® CDG200D ist auch mit mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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Artikelnummer

CDG160_200D Ordering information

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Broschüren

SKY® CDG100-200D Brochure

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Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

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Datenblätter

SKY® CDG160D CDG200D Datasheet

pdf • 739,2 KB • Englisch • Datenblätter

CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar JA

pdf • 1,0 MB • Japanisch • Datenblätter

CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar KO

pdf • 909,1 KB • Koreanisch • Datenblätter

CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH

pdf • 1.018,3 KB • Chinesisch • Datenblätter

CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar

pdf • 905,9 KB • Spanisch • Datenblätter

CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar DE

pdf • 864,0 KB • Deutsch • Datenblätter

Maßzeichnungen

CDG160D dimension drawing

jpg • 586,2 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch • Maßzeichnungen

Handbücher

SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D manual

pdf • 1,4 MB • Chinesisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)

pdf • 1,1 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - manual

pdf • 1,3 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)

pdf • 1,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN

pdf • 474,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Communication protocol PROFIBUS

pdf • 592,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE

pdf • 1,3 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

3D Step Files

SKY® CDG200D 3D 16KF 15DSUB

stp • 937,0 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f P-BUS

zip • 820,0 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D4-VCR-m P-BUS

zip • 839,7 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m E-CAT

zip • 954,3 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D Tube P-NET

zip • 287,2 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f P-NET

zip • 354,3 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m 9DSUB

zip • 565,8 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D 4-VCR-f 9DSUB

zip • 543,2 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG200D 3D 4-VCR-m 15DSUB

zip • 869,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 16CF 9DSUB

zip • 542,8 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 16CF P-NET

zip • 301,7 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 16KF 9DSUB

zip • 536,8 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 16KF D-NET

zip • 220,4 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 16KF E-CAT

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SKY CDG200D 16KF P-BUS

zip • 217,5 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 16KF P-NET

zip • 293,1 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 4-VCR-f E-CAT

zip • 768,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 4-VCR-m P-NET

zip • 385,9 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 8-VCR-f 9DSUB

zip • 374,9 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 8-VCR-f long 9DSUB

zip • 544,7 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 8-VCR-f long D-NET

zip • 853,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 8-VCR-f long E-CAT

zip • 934,4 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 8-VCR-f long P-BUS

zip • 821,9 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D 8-VCR-f long P-NET

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SKY CDG200D 8-VCR-f P-NET

zip • 296,1 KB • 3D Dokumente

SKY CDG200D tube 9DSUB

zip • 534,1 KB • 3D Dokumente

Andere

SKY®, Edge® CDG EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • Japanisch, Englisch

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • Englisch

Software EDS for CDGxxxD

zip • 7,6 KB • Englisch

Software GSD for CDGxxxD

zip • 1,6 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

Analytical-Instrumentation-Navi

Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

Research-and-Academia-Navi

Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Halbleiterhersteller

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