Kapazitätsmanometer
Spot™ CDS500D
Skalenendwert 10 ... 1000 Torr / mbar
Drop-in-Optionen
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der keramische Kapazitätsmembransensor Spot CDS500D wurde für die Integration in den begrenzten Platz in Ihren spezifischen Vakuumgeräten und -systemen entwickelt.
Der Miniatursensor bietet eine hohe Genauigkeit. Die Aluminiumoxid-Keramikzelle und die schweißbare Edelstahldurchführung sind mit Aluminiumoxid beschichtet. Die Sensorelektronik bietet eine digitale SPI-Schnittstelle für eine einfache Integration.
Der Sensor zeichnet sich durch eine schnelle Datenzykluszeit für eine sofortige Reaktion auf Druckänderungen, eine hervorragende Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität aus.
Vorteile
- Der keramisch beschichtete, kapazitive Miniatur-Membransensor (Al2O3) bietet eine hohe Genauigkeit.
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit und hervorragende Langzeitstabilität
- Schweißbare Durchführung für kundenseitige Integration und Kalibration oder geschweißter Kundenflansch zur Integrierung eines werkseitig kalibrierten Sensors
- Sensorelektronik mit SPI-Schnittstelle zur einfachen Integration und sicheren Datenübertragung
- Kurze Ansprechzeit
- Hohe Überdrucksicherheit
Typische Anwendungen
- Zur Integration in kundenseitige Vakuumgeräte und -anlagen
Spezifikationen
100 Torr
100 Torr
| Accuracy | 0.5 % of reading |
| Resolution | 0.01 % FS |
| Materials exposed to vacuum | ceramics (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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