MESSGERÄTCONTROLLER

VGC094

Die modulare Komplettlösung für die Vakuumsteuerung.

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Der VGC094 ist eine repräsentative Lösung für die Messung, Steuerung und Datenaufzeichnung von Vakuumprozessen. Er ist mit der breiten Palette der passiven Messgeräte von INFICON kompatibel und kann den gesamten Vakuumdruckbereich von 1×10^-11 bis 1000 mbar überwachen. Der VGC094 kann vom Benutzer so konfiguriert werden, dass er bis zu vier passive Messköpfe (Pirani-Messköpfe, invertierte Magnetron-Messköpfe) über zwei Messkarten steuert. Der Controller bietet die neuesten digitalen Kommunikationsschnittstellen (USB, RS485, Ethernet) und kann dank individueller Schnittstellenkarten (PROFIBUS, PROFINET) an die spezifischen Kommunikationsstandards des Anwenders angepasst werden. Der VGC094 ist die ideale Lösung für Anwendungen mit hohen Leistungsanforderungen, wie z. B. Betrieb über große Entfernungen, hohe Temperaturen oder hohe ionisierende Strahlung.

Vorteile

Komplette Lösung für die Überwachung und Steuerung des Vakuums von 1×10^-11 bis 1000 mbar, auch auf große Entfernung
Heller und klarer Bildschirm
Bargraph-Anzeige mit Sollwert- und Druck-Zeit-Darstellung
Einfache Sensorbedienung mit intuitiven und geführten Menüs für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
Daten- und Parameter-Log-Funktion mit USB-Anschluss (Rückseite) und USB-Flash-Laufwerk (Vorderseite)
Hohe Auflösung - 16 Bit A/D-Wandler
Vier programmierbare 0 bis 10 V Schreiberausgänge
Vier frei definierbare Sollwerte pro Kanal mit einstellbarer Hysterese
RS485, Ethernet, optional RS232 und Feldbus-Kommunikationsschnittstellen

Spezifikationen

VGC094

Messkanal	4
Bildschirm	LCD, LED-Hintergrundbeleuchtung
Messrate	100 s^-1
Anzeigerate	10 s^-1
Messbereich	1 x 10^-11 ... 1000 mbar
Messeinheit (wählbar)	mbar, Torr, hPa, Micron, V
Steckplätze für Einsteckkarten	2 Messkarten 1 Schnittstellenkarte
Schaltfunktions-Relais	4
Fehler-Relais	1
Kanalzuweisung	frei zuordenbar
Einstellungsbereich	sensorabhängig
Hysterese	einstellbar
Relais-Kontaktart	potenzialfreier Umschaltkontakt
Belastung max.	30 V (ac) / 1.5 A
Belastung max.	30 V (dc) / 1.5 A
Anschluss CONTROL	D-sub, 25-pin, female
Analogausgänge	4
Spannungsbereich / Strombereich	0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
Schnittstelle (digital)	USB-Slave, Master, RS485, Ethernet, USB Typ A (Flash-Laufwerk), USB Typ B, M12 5-polig FCC68/RJ45
Spannung	100 ... 240 V (ac)
Frequenz	50 ... 60 Hz
Betriebstemperatur	+5 ... +50°C

Artikelnummer

Zubehör

398-401

VGC094 Vakuum-Messgerät-Controller

	Kabel für PSG010 80°C Kabelstecker: Amphenol / Amphenol
BG548402-T	3 m (9.9 ft)
BG548403-T	6 m (19.8 ft)
BG548450-T	10 m (33 ft)
BG548451-T	15 m (49 ft)

	Kabel für PSG017/018 80°C Kabelsteckverbinder: Amphenol / Push-Pull selbstverriegelnd
BG548308-T	3 m (9.9 ft)
BG548309-T	6 m (19.8 ft)
BG548456-T	10 m (33 ft)
BG548457-T	15 m (49 ft)

	Kabel für PSG017/018 250°C Kabelsteckverbinder: Amphenol / Push-Pull selbstverriegelnd
BG548414-T	3 m (9.9 ft)
BG548465-T	6 m (19.8 ft)
BG448047-T	10 m (33 ft)
BG448043-T	15 m (49 ft)

	Verlängerungskabel für PSG010/017/018 80°C Kabelsteckverbinder: Amphenol / Amphenol
BG548466-T	10 m (33 ft)
BG548468-T	20 m (65 ft)
BG548470-T	30 m (99 ft)

	Kabel für MAG050/060/084 80°C Kabelanschlüsse: Bajonett, SHV / SHV
BG548406-T	3 m (9.9 ft)
BG548407-T	6 m (19.8 ft)
BG548419-T	10 m (33 ft)
BG548483-T	15 m (49 ft)

	Kabel für MAG050/060/084 250°C Kabelanschlüsse: Bajonett, SHV / SHV
BG548542-T	3 m (9.9 ft)
BG548543-T	6 m (19.8 ft)
BG448045-T	10 m (33 ft)
BG548989-T	15 m (49 ft)

	Kabel für MAG070 80°C Kabelanschlüsse: Push-Pull selbstverriegelnd, Triax / Triax
BG548306-T	3 m (9.9 ft)
BG548317-T	6 m (19.8 ft)
BG548490-T	10 m (33 ft)
BG548491-T	15 m (49 ft)

	Messtafeln
IG546920-T	Doppelte Pirani-Messplatte, PI 300 D
IG549212-T	Doppelte Pirani-Messplatte, PI 300 DL
IG549214-T	Doppelte Pirani-Messplatte, PI 300 DN
IG441375-T	Doppelte Pirani-Messplatte, PE 300 DC9
IG441000-T	Pirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 C9
IG441114-T	Pirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 C10
IG441080-T	Pirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 T11
IG441120-T	Pirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 T11L

	Schnittstellenkarten
IG441130-T	Schnittstelle und Relaiskarte, IF300A RS232C
IG441250-T	Schnittstelle und Relaiskarte, IF300B RS232
IG441390-T	Schnittstelle und Relaiskarte, IF300C RS422
IG441395-T	Schnittstelle und Relaiskarte, IF300P PROFIBUS
IG441396-T	Schnittstelle und Relaiskarte, IF301P PROFIBUS semi relay
398-421	Schnittstellenkarte, IF500 PROFINET

	Pirani-Messgeräte
350-400	PSG010 DN 10 ISO-KF
350-430	PSG017 DN 16 ISO-KF
350-431	PSG017 DN 16 CF-F
350-420	PSG018 DN 16 ISO-KF
350-424	PSG018 DN 16 CF-F
350-423	PSG018 DN 40 CF-F

	Kaltkathoden-Messgeräte
399-840	MAG050 DN 25 ISO-KF
399-841	MAG050 DN 40 ISO-KF
399-842	MAG050 DN 40 CF-F
399-845	MAG060 DN 40 ISO-KF
399-846	MAG060 DN 40 CF-F
399-847	MAG070 DN 40 ISO-KF
399-848	MAG070 DN 40 CF-F
399-849	MAG084 DN 40 ISO-KF
399-850	MAG084 DN 40 CF-F

Pirani-Messgeräte

PSG010

PSG017

PSG018

Druckbereich	8×10^-4 … 1000 mbar

Durchführung \| Interne Dichtung	Glas \| Elastomer (FPM)

Ausheiztemperaturbereich	≤100°C

Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung	-

Merkmale	Wolfram (W) Glühfaden

Druckbereich	8×10^-4 … 1000 mbar

Durchführung \| Interne Dichtung	AI₂O₃Keramik \| Metall

Ausheiztemperaturbereich	≤250°C

Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung	10⁶ Gy

Merkmale	Nickel (Ni)-Faden, korrosionsbeständig

Druckbereich	8×10^-4 … 1000 mbar

Durchführung \| Interne Dichtung	AI₂O₃Keramik \| Metall

Ausheiztemperaturbereich	≤250°C

Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung	10⁶ Gy

Merkmale	Wolfram (W) Glühfaden

Kaltkathodenmessgeräte mit invertiertem Magnetron

MAG050

MAG060

MAG070

MAG084

Druckbereich	2×10^-9 mbar to 5×10^-3 mbar
Durchführung \| Interne Dichtung	AI₂O₃ Keramik \| Elastomer (FPM)
Ausheiztemperaturbereich	≤150°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung	-
Immunität gegen magnetische Felder	-
Merkmale	Koax-Stecker

Druckbereich	1×10^-10 mbar to 5×10^-3 mbar
Durchführung \| Interne Dichtung	AI₂O₃ Keramik \| Metall
Ausheiztemperaturbereich	≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung	10⁷ Gy
Immunität gegen magnetische Felder	-
Merkmale	Triax-Stecker

Druckbereich	1×10^-11 mbar to 5×10^-3 mbar
Durchführung \| Interne Dichtung	AI₂O₃ Keramik \| Metall
Ausheiztemperaturbereich	≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung	10⁷ Gy
Immunität gegen magnetische Felder	-
Merkmale	Triax-Stecker

Druckbereich	1×10^-8 mbar to 5×10^-3 mbar
Durchführung \| Interne Dichtung	AI₂O₃ Keramik \| Metall
Ausheiztemperaturbereich	≤230°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung	10⁷ Gy
Immunität gegen magnetische Felder
Axial	≤280 mT
Radial	≤180 mT
Merkmale	Prinzip der doppelten Ionisationskammer Koaxialer Anschluss

Ansicht Kontroller

VGC094 Front

VGC094 Back

Konfigurationen für Messungen

Einschub A + B

Einschub C

Karten-Typ

Doppel Piranimesskarte (PI 300D, DN or DL)

Doppel Kaltkathoden Messkarte (PE 300 DC9)

Pirani- und Kaltkahtoden Kombination-Messkarte (CP 300 C9, C10, T11, T11L)

Karten-Typ

Schnittstellenkarte

IF 300 A, B, C, P, IF301 P, IF 500 PN

Messkarten - Pirani

PI 300 D

PI 300 DN

PI 300 DL

Messkanäle	Doppel Pirani (2 Sensoren)

Messgerätetyp	PSG010 / PSG018

Maximaler Arbeitsabstand
Pirani	≤100 m
Kaltkathode	-

Messkanäle	Doppel Pirani (2 Sensoren)

Messgerätetyp	PSG017

Maximaler Arbeitsabstand
Pirani	≤100 m
Kaltkathode	-

Messkanäle	Doppel Pirani (2 Sensoren)

Messgerätetyp	PSG010 / PSG018

Maximaler Arbeitsabstand
Pirani	≤500 m
Kaltkathode	-

Messkarten - Kaltkathode

PE 300 DC9

Messkanäle	Doppel Kaltkathode (2 Sensoren)

Messgerätetyp	MAG050 / MAG060

Maximaler Arbeitsabstand	-
Pirani	-
Kaltkathode	≤100 m¹⁾
¹⁾ ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs

Messkarten - Pirani / Kaltkathoden-Kombination

CP 300 C9

CP 300 C10

CP 300 T11

CP 300 T11L

Messkanäle	Kombination Pirani + Kaltkathode

Messgerätetyp	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60 or MAG084

Maximaler Arbeitsabstand
Pirani	≤100 m
Kaltkathode	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs

Messkanäle	Kombination Pirani + Kaltkathode

Messgerätetyp	PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60

Maximaler Arbeitsabstand
Pirani	≤100 m
Kaltkathode	≤100 m ¹⁾
¹⁾≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs

Messkanäle	Kombination Pirani + Kaltkathode

Messgerätetyp	PSG010 or PSG018 MAG070

Maximaler Arbeitsabstand
Pirani	≤100 m
Kaltkathode	≤500 m

Messkanäle	Kombination Pirani + Kaltkathode

Messgerätetyp	PSG010 or PSG018 MAG070

Maximaler Arbeitsabstand
Pirani	≤500 m
Kaltkathode	≤500 m

PI 300 D/DN/DL

PE 300 DC9

CP 300 C9/C10

CP 300 T11/T11L

Schnittstellenkarten

IF 300 A

IF 300 B

IF 300 C

IF 300 P

IF 301 P

IF 500 PN

Kommunikationsprotokoll

RS232C-Schnittstelle und Relais (1,5 A)

Kommunikationsprotokoll

RS232-Schnittstelle und Relais (4,0 A)

Kommunikationsprotokoll

RS422-Schnittstelle und Relais (1,5 A)

Kommunikationsprotokoll

PROFIBUS-Schnittstelle und Relais (1,5 A)

Kommunikationsprotokoll

PROFIBUS-Schnittstelle und Halbleiterrelais (0,5 A)

Kommunikationsprotokoll

PROFINET-Schnittstelle

IF 300 A

IF 300 B

IF 300 C

IF 300 P

IF 301 P

IF 500 PN

Downloads

Datasheets

VGC094 Vacuum Gauge Controller Datasheet

pdf • 322,2 KB • Englisch • Datenblätter

Manuals

VGC094 PROFINET Interface Board for Total Pressure Gauge Controller Communication Protocol

pdf • 800,5 KB • Englisch

VGC094 PROFIBUS-DP Interface Board for Total Pressure Gauge Controller TPG300 Communication Protocol

pdf • 1,4 MB • Englisch

VGC094 Plug-In Boards for Total Pressure Gauge Controller Operating Manual

pdf • 1,3 MB • Englisch

VGC094 Gebrauchsanleitung

pdf • 4,3 MB • Deutsch

VGC094 Operating Manual

pdf • 6,2 MB • Englisch

3D Step Files

VGC094

stp • 11,9 MB • 3D Dokumente

Firmware

VGC094 Firmware V1.30

zip • 476,2 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch • Firmwares

Other Files

VGC094 IF300P-301P PROFIBUS GSD file

zip • 808,0 B • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

VGC094 EU Declaration of Conformity

pdf • 163,8 KB • Deutsch, Englisch

VGC094, TPG36x EthernetConfiguration Tool V1.06

zip • 34,0 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

VGC094 IF500PN PROFINET GSDML

zip • 8,5 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

VGC094 USB Update Tool V1.6

zip • 2,1 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

Installationsanleitung VGC094

pdf • 386,6 KB • Deutsch, Englisch

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Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie

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Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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Vorteile

Spezifikationen

Artikelnummer

Pirani-Messgeräte

Kaltkathodenmessgeräte mit invertiertem Magnetron

Ansicht Kontroller

Konfigurationen für Messungen

Messkarten - Pirani

Messkarten - Kaltkathode

Messkarten - Pirani / Kaltkathoden-Kombination

Schnittstellenkarten

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