1. VSA100A
Vakuumschalter

VSA100A

Sollwert 3 mbar unter Umgebung 

VSA100
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der Druckschalter VSA100A von INFICON wird als Sicherheitsschalter in Vakuumsystemen verwendet. zum Beispiel um die Gaszufuhr bei der Entlüftung von Vakuumsystemen mit einem Spülgasdruck von 6 mbar unter Atmosphärendruck automatisch zu unterbrechen. 

Bei einem Differenzialdruck von 6 mbar bzw. einem Rückschaltdruck von 3 mbar unter Atmosphärendruck betätigt eine elastische Membran einen Umschaltkontakt, der wiederum zur direkten Schaltung von Zusatzeinrichtungen verwendet werden kann.

Vorteile

  • Zuverlässiger und kostengünstiger Vakuumschalter
  • Lange Lebensdauer
  • Robuste Bauweise
  • Einfache Integration
  • IP 44-Schutz

Typische Anwendungen

  • Steuerung von Schleusenkammern
  • Sicherheitsabschaltung von Vakuumsystemen

Spezifikationen

Schaltdruckmbar6 ±2 (below atmosphere)
Zurückschaltenmbar3 ±2 (below atmosphere)
Betriebsdruck (absolut)bar<2
   
Schutzart IP 44
Werkstoffe gegen Vakuum 

stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon)

 

Technischer Hinweis: Aufgrund des verwendeten Membranmaterials (EPDM) ist der Vakuumschalter VSA100A nicht für Anwendungen geeignet, in denen das Prozessgas große Mengen Helium enthält. Die Leckrate der Membran für Helium ist 10-6 mbar l/s.
Spezifikationen herunterladen

Artikelnummer

Part NumberDescription
399-001VSA100A Vacuum Switch DN16KF, 3m Cable
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