Vakuumschalter
VSA200
Sollwertbereich 20 ... 970 Torr
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Vakuumschalter sind für genaue und zuverlässige Druckerkennung ausgelegt. Diese robusten elektronischen Schalter werden in allen Vakuumanwendungen eingesetzt, u. a. auch in druckabhängigen Schaltsperren.
Die Schalter sind in zwei Ausführungen lieferbar: als Absolutschalter (relativ zum Vakuum) oder als Differenzschalter (relativ zur Umgebung).
Merkmale
- IP 44-Schutz
- Relaisausgang mit potenzialfreien Kontakten
- Hochgenauer temperaturkompensierter Sensor
- Anwendungsdruckbereich 1 x 10-9 mbar … 2 bar
Vorteile
- Korrosionsbeständiges Design aus Edelstahl
- Robustes Design, reinraumkonform
- Einfache Installation mit werksseitig voreingestellten Sollwerten oder vor Ort einstellbar
Typische Anwendungen
- Atmosphärendruckerkennung bei allen Vakuumanwendungen
- Druckabhängige Schaltsperre (Stromversorgung, Gasversorgung, Pumpen, Ventile, Stellantriebe usw.)
- Vakuum bis Hochvakuum
Spezifikationen
1100 mbar
1000 Torr
Schaltpunkt-Einstellbereich | mbar Torr | 30 … 1060 - |
Zulässiger Druck | bar (absolute) | 5 |
Schaltpunkt-Genauigkeit | Torr | ± 5 |
Ansprechzeit | ms | ≤45 |
Hysterese | Torr | 20 |
Schaltpunkt-Einstellbereich | mbar Torr | – 20 … 970 |
Zulässiger Druck | bar (absolute) | 5 |
Schaltpunkt-Genauigkeit | Torr | ± 5 |
Ansprechzeit | ms | ≤45 |
Hysterese | Torr | 20 |
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VSA200 VSD200 Vacuum Switch Datasheet
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