1. VSD200
Vakuumschalter

VSD200

Sollwertbereich Umgebung -100 ... +50 Torr

VSA200
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Vakuumschalter sind für genaue und zuverlässige Druckerkennung ausgelegt. 

Diese robusten elektronischen Schalter werden in allen Vakuumanwendungen eingesetzt, u. a. auch in druckabhängigen Schaltsperren. Die Schalter sind in zwei Ausführungen lieferbar: als Absolutschalter (relativ zum Vakuum) oder als Differenzschalter (relativ zur Umgebung).

Merkmale

  • IP 44-Schutz
  • Relaisausgang mit potenzialfreien Kontakten
  • Hochgenauer temperaturkompensierter Sensor
  • Anwendungsdruckbereich 1 x 10-9 mbar … 2 bar

Vorteile

  • Korrosionsbeständiges Design aus Edelstahl
  • Robustes Design, reinraumkonform
  • Einfache Installation mit werksseitig voreingestellten Sollwerten oder vor Ort einstellbar

Typische Anwendungen

  • Atmosphärendruckerkennung bei allen Vakuumanwendungen
  • Druckabhängige Schaltsperre (Stromversorgung, Gasversorgung, Pumpen, Ventile, Stellantriebe usw.)
  • Vakuum bis Hochvakuum

Spezifikationen

-100 ... +50 Torr
-100 ... +50 mbar
Schaltpunkt-Einstellbereichmbar
Torr		–
–99 … +46
Relaisausgang n.o., n.c., potential free
Schaltpunkt-GenauigkeitTorr±0.75
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel
HystereseTorr3
Schaltpunkt-Einstellbereichmbar
Torr		–99 … +46
–
Relaisausgang n.o., n.c., potential free
Schaltpunkt-GenauigkeitTorr±0.75
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel
HystereseTorr3
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Artikelnummer

VSD200 Ordering Information
VSD200 Ordering Information
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