Vakuummessgeräte & Controller

INFICON bietet ein umfassendes Sortiment an Vakuummessgeräten und -reglern für die präzise Messung und Überwachung von Vakuumniveaus in industriellen Prozessen. Unsere fortschrittlichen Messgeräte liefern genaue Echtzeitdaten, die eine zuverlässige Prozesssteuerung und Effizienz in verschiedenen Anwendungen gewährleisten.

Produkttyp
Totaldruckmessgerät Vakuumschalter Vakuum-Messgerät-Controller
Messbereich (mbar)
1 E-5 … atm 1 E-9 … 1 E-3 1 E-9 … atm
Genauigkeit (%)
< 0.05 0.05 - 0.2 > 0.2 - 1 > 1 - 5 > 5 - 15 > 15
Digitale Schnittstelle
EtherCAT PROFINET DeviceNet PROFIBUS Ethernet
Markt
HVAC/R Industrielle Fertigung Vakuumbeschichtung Sicherheit Energie Halbleiterhersteller Halbleiter Maschinenbauer Display Pharma & Medizin Mobilität & Automobilindustrie Forschung & Ausbildung Analytische Instrumente Batterien
9174-BPG552-Trigon
Heiß-Ionisationsmessgeräte
Trigon™ BAG552

Mittel- bis Ultrahochvakuum SingleGauge

Trigon™ BAG552
  • Reines Bayard-Alpert Messsystem für einen breiten UHV & HV Messbereich
  • zwei Heizfäden für Bayard-Alpert-System
  • Galvanisch isolierte Elektronik zur Vermeidung von elektrischen Streuströmen
  • Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen
9174-BPG552-Trigon
Heiß-Ionisationsmessgeräte
Trigon™ BCG552

ATM bis Ultrahochvakuum TripleGauge®

Trigon™ BCG552
  • 3 + 1 Sensorelemente für einen extrem großen Messbereich, Kostenreduzierung und Platzersparnis
  • zwei Fäden für Bayard-Alpert-System
  • Gasartunabhängige Druckmessung oberhalb von 10 Torr für eine zuverlässige Load-Lock-Kontrolle.
  • Differenzdruckmessung eliminiert Unsicherheiten in Bezug auf atmosphärische Druckänderungen
9174-BPG552-Trigon
Heiß-Ionisationsmessgeräte
Trigon™ BPG552

ATM bis Ultrahochvakuum DualGauge

Trigon™ BPG552
  • DualGauge (2 Messfühler) für einen großen Messbereich, Kostenreduzierung und Platzersparnis
  • zwei Filamente für Bayard-Alpert-System
  • Pirani-Interlock-Schutz zur Vermeidung von vorzeitigem Filament-Burnout
  • Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen
1114-Pirani-PSG5XX
Pirani-Messgeräte
PSG5xx

ATM To Medium Vacuum Gauge - High volume standard applications

PSG50x & PSG51x
  • Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
  • Platzsparendes, robustes Design
  • Aluminiumgehäuse
  • Montage in beliebiger Position
1109-Pirani-PSG55X-PCG55X
Pirani-Messgeräte
PSG55x

Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.

PSG55x
  • Erhältlich mit Wolfram- (PSG550) oder Nickel- (PSG552) Faden oder mit einer vollständig keramikbeschichteten (PSG554) Sensoreinheit für hochkorrosive Anwendungen
  • Optionales Display, Sollwerte und digitale Schnittstellen
  • Aktuelles EtherCAT-Protokoll Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
1109-Pirani-PSG55X-PCG55X
Pirani-Messgeräte
PCG55X

Pirani Capacitance Diaphragm Gauge combines Pirani sensor and ceramic capacitance diaphragm sensor in one product

PCG55x
  • Unabhängig vom Gastyp über 10 mbar – sichere Lüftung mit beliebigen Gasmischungen
  • Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Normaldruck für die zuverlässige Erkennung atmosphärischer Drücke
  • Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten
1126-Gemini-MxG5xx
Kaltkathoden-Messgeräte
Gemini® MxG5xx

Das invertierte Magnetron Vakuummessgerät Gemini®  ist das neue Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen

Gemini® MxG5xx
  • Lange Lebensdauer in rauen Einsatzumgebungen
  • Geringes magnetisches Streufeld
  • Zuverlässige und schnelle Zündung
  • Schnellste Wartung - austauschbarer Einsatz
1115-MPG40x
Kaltkathoden-Messgeräte
MPG40X

Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 messen von 5 x 10-9 mbar (3,8 x 10-9 Torr) bis Atmosphärendruck.

MPG40X
  • Kombinationsmessgerät – invertiertes Magnetron und Pirani
  • Großer Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphärendruck
  • Kein Filament, das ausbrennen kann
  • Ausgezeichnete Zündeigenschaften
1127-MAG470
Kaltkathoden-Messgeräte
MAG470

Das invertierte Magnetron-Vakuummessgerät MAG470 ist für alle Ultrahochvakuumanwendungen geeignet. Der Messbereich reicht von 5x10-11 mbar bis 1x10-2 mbar.

MAG470
  • Kein ausbrennbares Filament
  • Erweiterte Version, Sensor-Bakeout bis zu 250°C
  • Ausgezeichnete Zündeigenschaften
  • Leicht zu reinigen
1111-Inficon_Aurora-Titelseite_Update_R
Dual Gauge für optische Gas Analyse und Totaldruck Messung
Augent® OPG550

Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
 

Augent® OPG550
  • Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
  • Steigerung von Produktivität und Ertrag    
  • Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
Heiß-Ionisationsmessgeräte
BAG402

Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 deckt einen breiten Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr) ab.

BAG402
  • Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis 2,7 x 10-2 mbar (3,75 x 10-10 Torr bis 5 x 10-2 Torr)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Überdruckerkennung schützt das Filament vor vorzeitigem Abbrand
  • Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
PBR-260
Heiss-Ionisationsmessgeräte
PBR 260

ATM bis ultrahochvakuum Heisskathodenmessgerät

PBR 260

Kompatibel zu den Heißkathodenmessgeräten PBR 260 von Pirani/Bayard-Alpert anderer Hersteller

  • Artikelnummer IGG27000 passt zu PT R27 000   
  • Artikelnummer IGG27001 passt zu PT R27 001 
  • Artikelnummer IGG27002 passt zu PT R27 002
1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
BPG400

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG400 bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar (3,8×10-10 Torr) bis Atmosphärendruck 

BPG400
  • Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Das Pirani-Interlock schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
  • Langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament
1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
BPG402-Sx

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG402-S bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8×10-10 Torr bis Atmosphärendruck).

BPG402-Sx
  • Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Das Pirani-Interlock schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
1143-BCG450
HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
BCG450

Das BCG450 Kombinationsmessgerät (TripleGauge®)vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5×10-10 bis 1500 mbar (3,75×10-10 bis 1125 Torr).

BCG450
  • Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung
  • Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
  • Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
1110-HPG400
HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
HPG400

Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2×10-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5×10-6 Torr bis Atmosphärendruck). 

HPG400
  • Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems.
  • Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von 1 X 10-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung.
  • Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 X 10-2 und 1 mbar
1135-Pirani-PGE300
Pirani-Messgeräte
PGE300

Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich

PGE300
  • Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich und bessere Genauigkeit im Normaldruckbereich
  • Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, 1 Sollwert und 3 auswählbaren analogen Ausgangssignalen
  • Helles digitales LED-Display für benutzerfreundliche Kalibrierung und Bedienung
  • 3 optionale analoge Ausgangssignale (Vom Benutzer auswählbar)
1130-Pirani-PGE500-DeviceNet
Pirani-Messgeräte
PGE500 - DeviceNet

Das INFICON Pirani Gauge Enhanced (PGE) in der DeviceNet-Version ist mit der neuesten digitalen konvektionserweiterten Pirani-Technologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist.

PGE500 - DeviceNet
  • Konvektionsverstärkte Pirani-Technologie für einen großen Messbereich und höhere Genauigkeit in der Nähe der Atmosphäre
  • Aktives All-in-One-Messgerät mit eingebautem Display, 2 Sollwerten und digitaler DeviceNet-Schnittstelle
1132-Pirani-PGE500
Pirani-Messgeräte
PGE500 - RS485/ Analog

Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich, RS485/RS232

PGE500 - RS485/ Analog
  • Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich und bessere Genauigkeit im Normaldruckbereich
  • Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, 2 Sollwert, 4 auswählbaren analogen Ausgangssignalen und 2 digitalen Schnittstellen
  • Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur einfachen Einrichtung, Kalibrierung und Bedienung
  • 4 optionale analoge Ausgangssignale (3 vom Benutzer auswählbar, 1 Standardsignal)
1118-Pirani-PPG570
Pirani-Messgeräte
PPG550

Das neue INFICON Pirani-Piezo-Kombinationsmessgerät (PPG550) basiert auf der modernsten MEMS-Sensortechnologie (Microelctromechanical Systems). 

PPG550
  • Gasartunabhängig über 2 mbar - ermöglicht sicheres Entlüften mit jedem Gasgemisch 
  • Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an Atmosphäre - für zuverlässige, schnelle Atmosphärendruckerfassung 
  • Vielseitig in der Einbaulage - bietet technische Freiheit im Werkzeugdesign 
1118-Pirani-PPG570
Pirani-Messgeräte
PPG570

Das neue INFICON Pirani Piezo-Kombinationsmessgerät (PPG570) basiert auf der fortschrittlichsten MEMS-Sensortechnologie (Microelctromechanical Systems), die auch in unserem PPG550 "ATM to Medium Vacuum" Messgerät verwendet wird.

PPG570
  • Gasartunabhängig über 2 mbar
  • Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an der Atmosphäre 
  • Atmosphärische Umgebungsdruckmessung 
  • Bis zu 3 Halbleiterrelais 
1123-Pirani-BAG302
HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
BAG302

Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 von INFICON deckt einen breiten Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar (1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr) ab.

BAG302
  • Breiter Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar(1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr)
  • Zwei standardmäßige langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
  • Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, Sollwert, analogen Ausgangssignalen und standardmäßig integrierter RS485-Schnittstelle
  • Helles, digitales OLED-Display
1113-Porter-A3
KAPAZITÄTSMANOMETER
Porter® CDG020D

Große Leistung, kleine Größe

Porter® CDG020D
  • Ausgezeichnete Messbereichsstabilität - unabhängig von der Gasart
  • Aluminiumoxid-Sensor
  • Kompakt, kleinste Baugröße in seiner Klasse
  • Einfache Integration, beliebige Montageausrichtung
1119-Sky%20CDG025D
Kapazitätsmanometer
SKY® CDG025D

Industrielle Anwendung, temperaturkompensiert

SKY® CDG025D
  • Vollskalenbereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
  • Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
  • Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
1119-Sky%20CDG025D
Kapazitätsmanometer
SKY® CDG025D-X3

Raue Prozessanwendung, temperaturkompensiert

SKY® CDG025D-X3
  • Vollskalenbereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
  • Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
  • Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
1121-SKY-CDG025D-X3-4-20MA
Kapazitätsmanometer
SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

Stromschleife, temperaturkompensiert

SKY® CDG025D-X3, 4-20mA
  • Der Full Scale Bereich reicht von 100 mTorr … 1000 Torr
  • Schnelle Stabilisierung nach dem Einschalten
  • Schnelle Erholung nach Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
1125-SKY-CDG045D---45C
Kapazitätsmanometer
SKY® CDG045D

Hervorragende Signalstabilität, temperaturgesteuert

SKY® CDG045D
  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
1128-SKY-CDG-100D-160D-200D
Kapazitätsmanometer
SKY® CDG100D

Hervorragende Signalstabilität, temperaturgesteuert

SKY® CDG100D
  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2
Kapazitätsmanometer
Edge® CDG025D2

EtherCAT, temperaturkompensiert

Edge® CDG025D2
  • Einfache Integration, EtherCAT, grosse Angebotsbreite an Messbereichen und Flanschen, Standard mit zwei Schaltpunkten
  • Einfaches "zero"-Kommando, entweder manuell mit Knofdruck oder als digitales Signal, einstellbarer Null-Punkt-offset.
  • "Diagnostic"- Stecker für schnelle Wartung und Service
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2
Kapazitätsmanometer
Edge® CDG045D2

Kleiner footprint, temperaturgesteuert

Edge® CDG045D2
  • Kompakt, spart wertvollen Platz im Werkzeug
  • Einfache Integration, EtherCAT, große Auswahl an Vollskalen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullstellungsbefehl per Knopfdruck oder Fernsignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseschnittstelle für schnellen Service und Wartung
1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2
Kapazitätsmanometer
Edge® CDG100D2

Kleine Stellfläche, temperaturgesteuert

Edge® CDG100D2
  • Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
  • Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
1286-Stripe-CDGxxx
Kapazitätsmanometer
Stripe® CDG045Dhs

Hohe Geschwindigkeit, temperaturgesteuert

Stripe® CDG045Dhs
  • Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
  • Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
  • Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
  • Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr
1286-Stripe-CDGxxx
Kapazitätsmanometer
Stripe® CDG100Dhs

Hohe Geschwindigkeit, temperaturgesteuert

Stripe® CDG100Dhs
  • Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
  • Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
  • Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
  • Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr
1141-VSA100
Vakuumschalter
VSA100A

Differential zu Ambient - Sicherheitsschalter für Vakuumsysteme

VSA100A
  • Zuverlässiger und kostengünstiger Vakuumschalter
  • Lange Lebensdauer
  • Robuste Bauweise
  • Einfache Integration
1142-VSC150A
Vakuumschalter
VSC150A

Absoluter Druckschalter mit einstellbarem elektrischen Schaltkontakt

VSC150A
  • Hohe Schaltgenauigkeit (±0,1 mbar)
  • Konstante Eigenschaften für den Langzeitbetrieb
  • Robustes, korrosionsbeständiges Design
  • Schutz vor Prozessmedien durch Schaltkontakte (normalerweise geschlossen) in der Referenzkammer
1116-VSA200
Vakuumschalter
VSA200

Absoluter Schalter - Genaue und zuverlässige Druckerfassung

VSA200
  • IP 44-Schutz
  • Relaisausgang mit potenzialfreien Kontakten
  • Hochgenauer temperaturkompensierter Sensor
  • Anwendungsdruckbereich 1 x 10-9 mbar … 2 bar
1116-VSA200
Vakuumschalter
VSD200

Differenzialschalter - Genaue und zuverlässige Druckerfassung

VSD200
  • Korrosionsbeständiges Design aus Edelstahl
  • Robustes Design, reinraumkonform
  • Einfache Installation mit werksseitig voreingestellten Sollwerten oder vor Ort einstellbar
  • Atmosphärendruckerkennung bei allen Vakuumanwendungen
1154-VGC50X
Messgerätcontroller
VGC50x

Nachhaltige Lösung für die Prozessmessung, Prozesskontrolle und Datenerfassung

VGC50x
  • Einfache Bedienung mit menügeführtem Punktmatrixdisplay für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
  • Sehr helles und deutliches Display zur bequemen Geräteablesung über große Entfernungen
  • Balkendiagramm-Display mit Sollwerten oder Druck-Zeit-Anzeige
VGC094
MESSGERÄTCONTROLLER
VGC094

VGC094 ist eine repräsentative Lösung für die Messung, Steuerung und Datenaufzeichnung von Vakuumprozessen.

VGC094
  • Komplette Lösung für die Überwachung und Steuerung des Vakuums von 1×10-11 bis 1000 mbar, auch auf große Entfernung
  • Heller und klarer Bildschirm
  • Bargraph-Anzeige mit Sollwert- und Druck-Zeit-Darstellung
  • Einfache Sensorbedienung mit intuitiven und geführten Menüs für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
7705-PSG01X
Pirani Gauges
PSG01x

Pirani passive Messköpfe für VGC094

PSG010, PSG017 & PSG018
  • Ausführung in Elastomer (PSG010) oder metallgedichtet (PSG017, PSG018)
  • Spezifiziert hohe Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit
  • Ausheiztemperatur bis zu 100 °C (PSG010) / 250 °C (PSG017, PSG018)
  • Beständig gegen ionisierende Strahlung bis zu106 Gy (PSG017, PSG018)
1133-Pirani-PGE050
Pirani Gauges
PGE050

Das Pirani Gauge Enhanced 050 (PGE050) ist die passive Version unserer aktiven konvektionsverstärkten Pirani Gauges PGE300 und PGE500. 

PGE050
  • Konvektionsverstärkte Pirani-Technologie für einen großen Messbereich und höhere Genauigkeit in der Nähe der Atmosphäre
  • Vergoldete Wolframwendel
  • Mechanisch robust und weniger anfällig für mechanische Stöße und Vibrationen
  • Große Auswahl an Flanschoptionen
9895-MAG050_060_070_11-2023
Cold Cathode Gauges
MAG050, MAG060, MAG070

Passive Kaltkathoden-Messröhren für VGC094 und VGC083C

MAG050, MAG060, MAG070
  • Zuverlässige und bewährte Messröhrenkonstruktion, basierend auf dem Prinzip des umgekehrten Magnetrons
  • Großer Vakuumdruckmessbereich von 1×10-11 (MAG070) bis 5×10-3 mbar
  • Ausheizbar bis 150 °C (MAG050) oder 250 °C (MAG060, MAG070)
  • Gute Zündeigenschaften
7708-MAG084
Kaltkathoden-Messgeräte
MAG084

Der Messkopf MAG084 ist ein einzigartiges magnetfeldbeständiges Inversmagnetron-Kaltkathoden-Messgerät, das für den Betrieb mit dem Vakuum-Messgerät-Controller VGC094 entwickelt wurde. 

MAG084
  • Entwickelt für den Betrieb in starken externen Magnetfeldern
  • Zuverlässige und bewährte Messkopfkonstruktion, basierend auf dem Prinzip des invertierten Magnetrons
  • Innovatives Prinzip der doppelten Ionisationskammer
  • Ausheizbar bis 230 °C
7707-BAG055_freigestellt
Hot Ionization Gauges
BAG055

Mini-Heißionen-Bayard-Alpert-Passivmessröhre für VGC083

BAG055
  • Langjähriges, zuverlässiges und bewährtes Design
  • Drop-in-Ersatz dank seiner kompakten Größe und einer großen Auswahl an Anschlussflanschen und Fittings
  • Doppelte Yttriumoxid-beschichtete Iridium-Filament-Kathodeneinheit
  • Elektronenbeschuss (EB)-Entgasung
1136-BAG05X-UHV
Heiß-Ionisationsmessgeräte
BAG05x

Die passiven INFICON Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 sind für die Verwendung mit den INFICON-Vakuummesscontrollern VGC083A & VGC083B vorgesehen. 

BAG05x
  • Reliable and proven gauge head design
  • Drop in for most nude hot ion gauge heads
  • Wide range of emission currents 
  • Available with single / dual yttria coated iridium and dual tungsten filament
7710-IE414%20IE514
Heiß-Ionisationsmessgeräte
IE414, IE514

Passive Heißkathoden-Ionisationsmessröhren für IM540

IE414, IE514
  • Hohe Genauigkeit der Messungen durch individuell kalibriertes Messsystem
  • Austauschbare Kathode
  • Extrem hohe Ausheiztemperaturen bis zu 400 °C
IRG080
IRG080

Der neue Standard für Ionisationsvakuummeter.

IRG080
  • Entwickelt für Anwendungen, die eine hohe Messgenauigkeit im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich erfordern
  • Elektrodensystemkonfiguration gemäß ISO/TS 6737
  • Echter Druck für alle Gasspezies dank vorhersagbarer relativer Gasempfindlichkeit mit geringer Unsicherheit
10086-TPG36x
Vakuum-Messgerät-Controller
TPG36x

Fortgeschrittener Controller für Prozessmessung und Datenaufzeichnung.

TPG36x
  • Einfach zu bedienende Punktmatrix-Menüschnittstelle zur Anpassung von Parametern, Sensoren oder allgemeinen Einstellungen
  • Gut sichtbares und helles Display zur Fernablesung der Gerätedaten
  • Balkendiagramm zur Visualisierung von Sollwerten oder zur Anzeige des Drucks über die Zeit
1138-PGD500
Vakuum-Messgerät-Controller
PGD500

Kostengünstige Lösung zur Drucküberwachung.

PGD500
  • Vom Benutzer wählbare Messeinheit (Pa, mbar oder Torr)
  • Kompaktes Tischmodell, das leicht in eine Schalttafel oder ein 19"-Rack eingebaut werden kann
  • 0 bis 10 V Ausgangssignal vom Messgerät ist für den Einsatz in PLC oder mit einem Chart-Recorder verfügbar
  • Ein frei einstellbarer Sollwert
IRC081
Vakuum-Messgerät-Controller
IRC081

Der Ionen-Referenzmessgerät-Controller IRC081 und seine Benutzeroberfläche sind eine Bedien- und Anzeigeschnittstelle zum standardisierten Ionen-Referenzmessgerät IRG080.

IRC081
  • Bedien- und Anzeigelösung für genaue Vakuumdruckmessung
  • Benutzersteuerung für alle eingestellten Parameter des IRG080
  • Einfache manuelle Bedienung mit 5 Potentiometern
  • Anschluss der Benutzerschnittstelle über USB-B-Port an den PC
1139-VGC031
Messgerätcontroller
VGC031

Einkanalige Steuerung für PGE050

VGC031
  • Anzeige und Kontrolle eines großen Messbereichs von 1,3×10-4 bis 1333 mbar
  • Helles digitales OLED-Display mit Tastatur für einfache Einrichtung und Bedienung
  • 4 frei wählbare analoge Ausgangssignale, 2 Sollwertrelais
  • Digitale Schnittstelle RS232/RS485
7711-IM540
Vakuum-Messgerät-Controller
IM540

Vielseitiges Heißkathoden-Ionisations-Passivmessgerät

IM540
  • Unterstützt den Betrieb des IE414 (Bayard-Alpert) und des IE514 (Extraktor) Heißkathoden-Ionisationsmessgerätes
  • Anschluss und Betrieb von zwei aktiven Messgeräten der Baureihen PSG5xx (Pirani), PCG55x (Pirani-Capacitance diaphragm) und CDG (Capacitance diaphragm) möglich
  • Einfache Bedienung mit menügeführter Anzeige für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
1153-VGD500
Messgerätcontroller
VGD500

Anschluss an die INFICON CDG-Produktlinie zur Bereitstellung einer 4-stelligen Anzeige

VGD500
  • 4 Digit display for easy read out
  • Large 10mm active LED display -
    readable from distance and wide range gauge of angle
  • In-line plug design
  • 15pin D-Sub, no extra power connection
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Zuverlässige, leistungsstarke Vakuummessgeräte für industrielle Prozesse

INFICON bietet mit seinem umfassenden Angebot an Vakuummessgeräten, Druckmessgeräten und Vakuumsensoren leistungsstarke Lösungen für die industrielle Vakuumüberwachung. Unsere Messgeräte gewährleisten eine genaue Messung des Vakuumniveaus in industriellen Prozessen und liefern Echtzeitdaten durch digitale Vakuumüberwachung.

Unsere Produkte bieten hohe Stabilität, zuverlässige Messungen für kritische Prozesse, reduzierte Systemausfallzeiten und verbesserte betriebliche Effizienz.

Mit der INFICON-Vakuumtechnologie kann die Industrie eine optimale Leistung aufrechterhalten und hochwertige Ergebnisse in vakuumabhängigen Prozessen sicherstellen. Wir sorgen für minimale Ausfallzeiten bei der Umstellung von Vakuummessgeräten anderer Hersteller auf INFICON, indem wir eine nahtlose Integration und kundenspezifische Installationsunterstützung anbieten, so dass ein reibungsloser Übergang ohne Unterbrechung kritischer Prozesse möglich ist.