Edge® CDG045D2
45°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 1 … 1000 Torr / mbar
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das INFICON Edge™-Kapazitätsmembran-Vakuummessgerät bietet hochpräzise Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen. Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.
Vorteile
- Kompakt, spart wertvollen Platz im Werkzeug
- Einfache Integration, EtherCAT, große Auswahl an Vollskalen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullstellungsbefehl per Knopfdruck oder Fernsignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseschnittstelle für schnellen Service und Wartung
- Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer durch fortschrittliches Heizkonzept und Schutz des Messgeräts
- Keine langfristige Neukalibrierung dank hervorragender Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei rauen Plasmaanwendungen
- Konformität und Normen: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Typische Anwendungen
- CVD, Etch, PVD and other semiconductor production processes
Spezifikationen
| Genauigkeit | % of reading | 0.15 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.15 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
Artikelnummer
