El UL6000 Fab PLUS ahorría tiempo en la prueba de fugas para semiconductores
Cada segundo cuenta en la industria de los semiconductores. El nuevo detector de fugas de helio UL6000 Fab PLUS reduce los tiempos de inactividad y ofrece resultados de pruebas de fugas más rápidos.
Cada segundo cuenta en las líneas de producción de gran volumen.
El tiempo dedicado a las pruebas de fugas y al mantenimiento de los equipos debe reducirse al mínimo, ya que las paradas imprevistas de los equipos son muy costosas.
El nuevo detector de fugas UL6000 Fab PLUS aporta mejoras en rapidez gracias a la función I∙RISE inteligente para obtener resultados de medición más rápidos y precisos, en menos de 10 segundos, independientemente del volumen de la cámara.
I∙RISE: Gran ahorro de tiempo en las pruebas de aumento de presión en las cámaras de vacío
Los equipos de vacío y los semiconductores se verifican continuamente mediante pruebas. Si se detecta una fuga durante estas pruebas integrales de fugas, a menudo, resulta difícil determinar cuál de las muchas conexiones, pasamuros, soldaduras y válvulas está causando la fuga. Por ello, el UL6000 Fab PLUS se conecta a la cámara y se realiza una prueba de rociado de helio y de aumento de presión para localizar las posibles fugas.
Un proceso de detección de fuga siempre es seguido por una prueba de fuga integral de la herramienta de producción con una prueba de aumento de presión. El nuevo UL6000Fab PLUS realiza ambos trabajos: la detección de fuga y la medición de presión gracias a la nueva finción I-RISE. Un sistema convencional suele usar un sensor de presión externo y el proceso puede tardar minutos e incluso horas, pero la función I∙RISE finaliza la prueba en 10 segundos. Esto contribuye a minimizar las interrupciones de producción o los periodos de inactividad.
El UL6000 Fab cuenta con una bomba turbomolecular que bombea helio a más de 36 litros por segundo para ofrecer tiempos de respuesta rápidos. También cuenta con una bomba primaria roots con una capacidad de bombeo de 36 m³ por hora, que permite disminuir drásticamente los tiempos de evacuación de cada prueba que se realiza, especialmente en cámaras de producción de grandes dimensiones, con volúmenes entre 50 y 1000 litros o más.
El UL6000 Fab PLUS ha sido desarrollado para su uso en la producción de semiconductores, paneles solares y pantallas planas, para el recubrimiento de láminas de vidrio y plástico y sistemas de vacío.
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