Elementos esenciales SMART

para facilitar el manejo y obtener resultados más rápidos en la detección de fugas de helio

SMART-Spray: Rápido, sencillo y fiable

Con SMART-Spray, ofrecemos una nueva pistola de helio. El manejo de cilindros de helio con largas mangueras y el ajuste del volumen de atomización, propenso a errores, son cosa del pasado con SMART-Spray. "El práctico dispositivo, diseñado para más de 1.000 atomizaciones por llenado de helio, sustituye a un mando a distancia y combina sus funciones con las de una pistola atomizadora de helio manual", afirma el jefe de producto Markus Schwambera, resumiendo las ventajas.

Equipado con una pantalla a color con iluminación, facilita la detección de fugas en sistemas semiconductores complejos con muchos puntos de prueba y fugas potenciales. Estas aplicaciones se caracterizan por tasas de fuga límite inferiores a 1 x 10^-9 mbar x l/s. En estas aplicaciones, el dispositivo portátil que funciona con baterías hace que las pruebas de fugas sean más flexibles, sencillas y eficaces.

I·BOOST: Tiempo de respuesta corto, resultado de medición preciso

Con la actualización del software del filtro de procesamiento de señales I·BOOST, INFICON acelera la señal de tasa de fugas. Esto acorta los tiempos de respuesta y de prueba, especialmente para las series UL3000 Fab y UL6000 Fab, ya que los puntos de prueba se pueden atomizar en intervalos más cortos.

"El resultado final es un ahorro de tiempo de hasta el 50 % en la detección de fugas en todos los rangos de medición", afirma Markus Schwambera, director de producto, al describir el salto en eficiencia. "Los usuarios que adquieren la licencia obtienen resultados de medición más rápidos y precisos para diferentes volúmenes de cámara", asegura Schwambera. Las ventajas de I·BOOST también son especialmente eficaces en sistemas semiconductores complejos.

Cuanto más bajos son las tasas de fuga límite, más largos suelen ser los ciclos de prueba, y es aquí donde la mayor sensibilidad y el ahorro de tiempo de I·BOOST tienen el mayor impacto.

Markus Schwambera

Product Manager

SPRAY-Check: Prueba de fugas fácil de instalar.

SPRAY-Check es una prueba de fugas fácil de instalar. "La herramienta se basa en ventanas de cuarzo que sólo son permeables a gases ligeros como el helio y el hidrógeno. Esto aumenta la seguridad y amplía la funcionalidad de la detección de fugas", explica Markus Schwambera. SPRAY-Check permite comprobar la configuración de la medición y el método de prueba en el rango de tasa de fuga correspondiente. También puede conectarse directamente al sistema para realizar comprobaciones en tiempo muerto.

"A veces transcurre cierto tiempo entre el disparo de atomización y la visualización en la pantalla", dice Markus Schwambera. De este modo, los usuarios pueden estimar mejor cuánto tiempo debe durar la pausa entre los puntos de atomización para poder identificar claramente las posibles fugas. Se aplica el procedimiento de eliminación: Si no hay ninguna indicación una vez transcurrido el tiempo muerto, no hay fuga. "Como SPRAY-Check es impermeable a gases nocivos para el proceso, como el agua o el oxígeno, también puede permanecer montado en el sistema semiconductor", explica el jefe de producto. Las areas de aplicación importantes son los sistemas con tasa de fuga límite inferiores a 10^-9 mbar x l/s.

Estos Smart Essentials están disponibles en todo el mundo

SMART-Spray, I·BOOST y SPRAY-Check son adecuados para todos los detectores móviles de fugas de helio INFICON de la familia UL, mientras que I·BOOST está limitado a la última generación de dispositivos UL (series UL3000 Fab/UL6000 Fab). El UL6000 Fab es el dispositivo más potente y mejor del mercado para grandes volúmenes de pruebas en fábricas de semiconductores modernas y sistemas de revestimiento en cámaras de grandes volúmenes. Ofrece los tiempos de respuesta más rápidos y los tiempos de ciclo más cortos en todos los rangos de medición. Su diseño compacto facilita las maniobras incluso en espacios reducidos. La serie UL3000 Fab también se ha desarrollado para la detección de fugas en fábricas de semiconductores. "Se caracteriza por su flexibilidad, movilidad, rápida puesta en marcha y alta sensibilidad. Además, los usuarios reciben muy rápidamente los resultados precisos de las pruebas", que son el estándar en las modernas fábricas de semiconductores", subraya el director de producto Markus Schwambera. Además, la UL3000 Fab ocupa muy poco espacio y puede maniobrarse fácilmente en espacios reducidos. La serie UL1000 Fab cubre una amplia gama de aplicaciones cuando se trata de pruebas económicas de fugas en vacío con helio en entornos industriales o de semiconductores, especialmente para volúmenes de cámara más pequeños. Las principales ventajas: El dispositivo es muy potente, robusto y aun costo accesible.

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