Analizadores ópticos de gases
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Manómetro doble para análisis óptico de gases y medición de la presión total
Augent® OPG550
El medidor óptico de plasma Augent® de INFICON es una solución compacta e inteligente para el monitoreo del vacío.
Augent® OPG550
- La detección de fugas a alta velocidad permite realizar pruebas de fugas en cámara
- Aumento de la productividad y el rendimiento
- Larga vida útil, sin que el filamento se queme, protección contra entrada de aire
Analizadores ópticos de gases
Quantus® HP100
Proporcionan detección de fugas en tiempo real, detección de puntos finales y supervisión de procesos para los procesos de fabricación de semiconductores de vanguardia y otras aplicaciones de análisis de gases.
Quantus® HP100
- Rango de funcionamiento desde 1 Torr hasta 450 Torr
- Límite de detección superior < 1 ppm
- Fiabilidad a largo plazo: no necesita bombas
- Fácil instalación mediante una conexión estándar KF25
Analizadores ópticos de gases
Quantus® LP100
Proporcionan detección de fugas en tiempo real y detección de puntos finales para entornos de procesos críticos
Quantus® LP100
- Rango de funcionamiento de 10 mTorr a 1 Torr
- Excelentes límites de detección hasta niveles bajos de ppm
- Fiabilidad a largo plazo: no necesita bombas
- Fácil instalación mediante una conexión KF25 estándar