Espectrómetros de masas
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Espectrometría de masas
Transpector APX Multipresión
Advanced Process Expert for Multi-Pressure ALD/CVD and Etch
Transpector APX Multipresión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Espectrometría de masas
Transpector® APX ALD Monopresión
Experto en procesos avanzados de ALD/CVD y grabado a una presión
Transpector® APX ALD Monopresión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de presión única a alta temperatura
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Espectrómetros de masas
Transpector® XPR 3+
Espectrómetro de masas cuadrupolar de control de procesos PVD extremo
Transpector® XPR 3+
- Presión máxima de funcionamiento líder en la industria
- Enclavamiento opcional de la válvula de aislamiento de sobrepresión
- Escanea hasta 100 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® MPH
Espectrómetro de masas cuadrupolar de alto rendimiento
Transpector® MPH
- Rango dinámico de nueve décadas
- Velocidad de recogida de datos líder en el sector
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Exploraciones de hasta 300 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® MPS
Espectrómetro de masas cuadrupolar polivalente
Transpector® MPS
- Rango dinámico de nueve décadas
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Multiplicador de electrones de dinodo continuo opcional
- Escanea hasta 200 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® CPM 3
Monitorización versátil del proceso, desde la línea de base hasta la presión del proceso
Transpector® CPM 3
- Monitor ideal para procesos de semiconductores
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 1 ppm
- Bombeo diferencial integrado
Espectrómetros de masas
Transpector® SPS
Supervisión del proceso en el rango de presión objetivo
Transpector® SPS
- Procesos de alta presión específicos
- Entrada de muestreo de presión única
- Límite de detección inferior a 1 ppm
- Sistema de bombeo diferencial integrado
Espectrómetros de masas
QMG 700
Espectrómetro de masas analítico QMG 700 para romper las barreras de detección e impulsar su proceso al siguiente nivel de innovación
QMG 700
- Opciones del rango de masas de 1 a 512 uma
- Rango dinámico de más de nueve órdenes de magnitud
- Velocidades de medición extremadamente altas: 0,125 ms/uma
- MDPP < 10E-16 mbar
Espectrómetros de masas
Carro móvil para el (CPM) Transpector®
Permite que el Transpector CPM se convierta en un instrumento móvil de localización de averías
Carro móvil para el (CPM) Transpector®
- Suficientemente flexible para llevar un Transpector CPM allí donde lo necesite
- Un tamaño reducido para caber en esos espacios reducidos
- Un sistema completo capaz de albergar todo lo necesario para hacer funcionar el Transpector CPM