QMG 700
Más allá de los límites de detección gracias a su gran estabilidad y su resolución refinada
El QMG 700 está descatalogado.
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Rápidos progresos en la tecnología de fabricación de semiconductores basados en soluciones rápidas y fiables de análisis de gas. En la fábrica o en el laboratorio, escoja el espectrómetro de masas analítico QMG 700 de INFICON para superar las barreras de detección y lograr que su proceso alcance un mayor nivel de innovación. El QMG 700 ofrece un rendimiento sin igual y una gran adaptabilidad gracias a su diseño modular. Mejore sus ventajas competitivas con el QMG 700 y alcance un nivel superior de capacidades de medición.
Escoja entre una amplia gama de opciones de fuente de iones, filtro de masas y fuente de alimentación de RF para adaptar su QMG 700 a aplicaciones específicas. El QMG 700 puede gozar de un rango dinámico de más de nueve órdenes de magnitud y de límites de detección del orden de ppb, lo que lo convierte en el instrumento ideal para mediciones de vacío muy elevado. El QMG 700 ofrece resolución unitaria en todo el rango de masas, e incluso mayor a masas bajas. El instrumento es una opción magnífica para las mediciones más exigentes, incluyendo análisis isotópicos, como la separación de helio y deuterio. Controle su proceso con el QMG 700 y confíe en su gran estabilidad a largo plazo para proteger las mediciones críticas.
Los más de 40 años de excelencia en la espectrometría de masas analítica por parte de INFICON garantizan que el QMG 700 es la elección ideal para su próxima inversión en análisis de gases. Para una precisión constante y unos resultados exactos, puede confiar en el QMG 700 de INFICON y en nuestra experiencia de aplicaciones a escala mundial.
Características
- Opciones de rango de masas de 1-512 amu
- Más de nueve décadas de rango dinámico
- Velocidades de medición extremadamente rápidas 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
- Alta resolución en todo el rango de masas: Masas 1, 2 y 3 claramente separables en el rango de ppb
- Múltiples opciones de fuentes de iones diferentes
- Opciones de multiplicador de electrones de dinodo discreto o continuo
- Opción de E/S: 8 entradas/salidas analógicas y 32 entradas/salidas digitales
- Potente software con interfaz flexible y fácil de usar
Aplicaciones típicas
- Espectrometría de masas por descarga de gas
- Detección de puntos equivalentes
- Seguimiento del material de deposición
- Espectrometría de masas de iones secundarios
Especificaciones
Rango de masa | 1-512 amu (1) |
Longitud del sensor | 441.5 mm |
Diámetro de la barra | 8 mm |
Material de la barra | Molybdenum |
Brida | DN 63 CF-F |
Tipo de detector | Faraday/SEV 217 |
Presión de funcionamiento máx. (FC) | 1 E-4 mbar |
Presión de funcionamiento máx. (EM) | 1 E-5 mbar |
Sensibilidad | 5 E-4 A/mbar |
Presión parcial detectable mínima | 1 E-15 mbar |
Resolución (ajustable) | 0.3 - 7 amu |
Cociente de presiones parciales | < 0.5 ppb |
Temperatura máxima de funcionamiento Sensor | 150 °C |
Temperatura máxima de cocción | 400 °C |
Temperatura máxima de funcionamiento Electrónica | 40 °C |
Velocidad de medición | 0.125 ms - 60 s/amu |
Fuente de alimentación | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-512 uma. | |
(2) QMA 410 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-128 uma. Las especificaciones del QMA 410 se basan en una configuración del sistema en el rango de masas de 128 uma y fuente de iones de haz cruzado. |
Rango de masa | 1-340 amu (2) |
Longitud del sensor | 548 mm |
Diámetro de la barra | 16 mm |
Material de la barra | Molybdenum |
Brida | DN 100 CF-F |
Tipo de detector | Faraday/SEV 217 |
Presión de funcionamiento máx. (FC) | 1 E-4 mbar |
Presión de funcionamiento máx. (EM) | 1 E-5 mbar |
Sensibilidad | 1 E -3 A/mbar |
Presión parcial detectable mínima | 5 E-16 mbar |
Resolución (ajustable) | 0.2 - 2.2 amu |
Cociente de presiones parciales | < 0.5 ppb |
Temperatura máxima de funcionamiento Sensor | 150 °C |
Temperatura máxima de cocción | 400 °C |
Temperatura máxima de funcionamiento Electrónica | 40 °C |
Velocidad de medición | 0.125 ms - 60 s/amu |
Fuente de alimentación | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-512 uma. | |
(2) QMA 410 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-128 uma. Las especificaciones del QMA 410 se basan en una configuración del sistema en el rango de masas de 128 uma y fuente de iones de haz cruzado. |
Rango de masa | 1-300 amu |
Longitud del sensor | 441.5 mm |
Diámetro de la barra | 8 mm |
Material de la barra | Stainless Steel |
Brida | DN 63 CF-F |
Tipo de detector | Faraday/SEV 217 |
Presión de funcionamiento máx. (FC) | 1 E-4 mbar |
Presión de funcionamiento máx. (EM) | 1 E-5 mbar |
Sensibilidad | 2 E-4 A/mbar |
Presión parcial detectable mínima | 1 E-15 mbar |
Resolución (ajustable) | 0.3 - 7 amu |
Cociente de presiones parciales | < 0.5 ppb |
Temperatura máxima de funcionamiento Sensor | 150 °C |
Temperatura máxima de cocción | 400 °C |
Temperatura máxima de funcionamiento Electrónica | 40 °C |
Velocidad de medición | 0.125 ms - 60 s/amu |
Fuente de alimentación | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-512 uma. | |
(2) QMA 410 está disponible para los siguientes rangos de masa: 1-128 uma. Las especificaciones del QMA 410 se basan en una configuración del sistema en el rango de masas de 128 uma y fuente de iones de haz cruzado. |
Número de parte
490-715 | QMA 400 with Grid Ion Source |
450-119 | Deckplatte kpl. DMM spez. |
490-601 | QMA 400 for PPM 422 standard |
490-700 | QMA 400 with Axial Ion Source |
490-701 | QMA 400 with Crossbeam |
490-702 | QMA 400, SEM 217, Crossbeam, Yt |
490-810 | QMA 410 with Axial Ion Source |
490-812 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT |
490-817 | QMA 410, SEM 217, crossbeam, Yt |
490-821 | QMA 410 Quadrup.-Analysator |
490-830 | QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218 |
490-901 | QMA 430 mit CB-IQ, Faraday |
490-910 | QMA 430 with Axial-IQ, 90° SEV217 |
490-913 | QMA 430 with Grid Ion Source |
490-914 | QMA 430 grid Ion Source, vac.-annealed |
490-916 | QMA 430, CB-IQ without SEV217 |
490-917 | QMA 430 with CB Ion source, Gas Tight |
490-918 | QMA 430, CB Ion Source without SEV217 |
490-943 | QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT |