Transpector® APX ALD Monopresión
Experto en procesos avanzados de ALD/CVD y Grabado
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Minimizar los residuos y maximizar el rendimiento en tiempo real
INFICON Transpector APX sigue siendo el analizador de gases residuales (RGA) líder del mercado para la supervisión de procesos de semiconductores y pantallas. INFICON sabe que los clientes de semiconductores y pantallas tienen necesidades únicas, y la última revisión del Transpector APX permite una mayor flexibilidad para satisfacer los requisitos específicos de la aplicación, al tiempo que mantiene la velocidad de medición y la sensibilidad líderes del sector. Transpector APX es el monitor de procesos RGA ideal para procesos de semiconductores como ALD, CVD, PVD y Etch.
El sistema de entrada de presión única Transpector APX ALD de última generación está diseñado para sobrevivir a procesos químicos propensos a la generación de partículas o revestimientos como ALD o PECVD. Esto permite una monitorización continua para capturar puntos de datos en todos los pasos críticos del proceso. Además, la temperatura de la entrada está controlada para resistir a los gases corrosivos, algo esencial para las aplicaciones de monitorización de punto final limpio de la cámara.
Ventajas
- Diseño de plataforma específico de la aplicación para una mayor vida útil en su proceso ALD o CVD para la mejor protección de obleas y paneles y la optimización del proceso.
- Preparada para ALD con velocidades de medición de más de 550 puntos de datos por segundo.
- Ocupa un 30% menos de espacio en la fábrica y es más fácil de instalar gracias a un sistema de bombeo de alto rendimiento.
- Entrada de temperatura controlada con revestimiento patentado por INFICON para una entrada de presión discreta que puede soportar productos químicos corrosivos severos.
- La calibración automatizada garantiza la fiabilidad y precisión de los datos a largo plazo para la correspondencia entre sensores y cámaras de herramientas.
- Transpector APX se convierte en una potente herramienta de monitorización y diagnóstico de procesos cuando se integra con el software FabGuard® y cuenta con el apoyo de los expertos en aplicaciones de categoría mundial de INFICON.
Especificaciones
| Rango de presión total | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Límite de detección | <10 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilidad (baja emisión) | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar |
| Sensibilidad (alta emisión) | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar |
| Rango de presión total | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Límite de detección | <25 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilidad (baja emisión) | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar |
| Sensibilidad (alta emisión) | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar |
| Rango de presión total | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Límite de detección | <50 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilidad (baja emisión) | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
| Sensibilidad (alta emisión) | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
Consumibles
| Número de parte | Descripción |
| 969-800-G1S | APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD |
| 969-800-G2S | APX CIS Coated Filament Kit GOLD |
| 969-801-G1S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G2S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 969-801-G3S | APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G4S | APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 961-707-G1 | Electron Multiplier Replacement Kit |
| 923-418-G2 | Replacement diaphragm kit for 2-stage pump |
