Transpector APX Multipresión
Experto en procesos avanzados para multi-presión ALD/CVD y Etch
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Minimizar los residuos y maximizar el rendimiento en tiempo real
INFICON Transpector APX sigue siendo el analizador de gases residuales (RGA) líder del mercado para la supervisión de procesos de semiconductores y pantallas. INFICON sabe que los clientes de semiconductores y pantallas tienen necesidades únicas, y la última revisión del Transpector APX permite una mayor flexibilidad para satisfacer los requisitos específicos de la aplicación, manteniendo al mismo tiempo la velocidad y sensibilidad de medición que lo hace líder en la industria. Transpector APX es el monitor de procesos RGA ideal para procesos de semiconductores como ALD, CVD, PVD y Etch.
El sistema de entrada multipresión Transpector APX de última generación está diseñado para sobrevivir a procesos químicos propensos a la generación de partículas o revestimientos, como ALD o PECVD. Esto permite una monitorización continua para capturar puntos de datos en todos los pasos críticos del proceso. Además, la entrada HexBlock está disponible con el recubrimiento patentado de INFICON para resistir los gases corrosivos, esencial para las aplicaciones de monitorización de punto final limpio de la cámara.
Ventajas
- Diseño de plataforma específico de la aplicación para una mayor vida útil en su proceso ALD o CVD para la mejor protección de obleas y paneles y la optimización del proceso.
- ALD preparado con velocidades de medición de más de 550 puntos de datos por segundo.
- Huella de fábrica reducida en un 30% e instalación más sencilla gracias al sistema de bombeo de alto rendimiento.
- HexBlock™ configurable con revestimiento patentado por INFICON con hasta tres entradas de presión que pueden soportar la química corrosiva dura.
- La calibración automática garantiza la confiabilidad y precisión de los datos a largo plazo al hacer coincidir un sensor con otro y un molde con la cavidad del molde.
- Transpector APX se convierte en una potente herramienta de monitorización y diagnóstico de procesos cuando se integra con el software FabGuard® y cuenta con el apoyo de los expertos en aplicaciones de talla mundial de INFICON.
Especificaciones
| Rango de presión total | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Límite de detección | <10 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilidad (baja emisión) | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar |
| Sensibilidad (alta emisión) | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar |
| Rango de presión total | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Límite de detección | <25 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilidad (baja emisión) | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar |
| Sensibilidad (alta emisión) | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar |
| Rango de presión total | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Límite de detección | <50 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilidad (baja emisión) | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
| Sensibilidad (alta emisión) | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
Consumibles
| Número de parte | Descripción |
| 969-800-G1S | APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD |
| 969-800-G2S | APX CIS Coated Filament Kit GOLD |
| 969-801-G1S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G2S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 969-801-G3S | APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G4S | APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 961-707-G1 | Electron Multiplier Replacement Kit |
| 923-418-G2 | Replacement diaphragm kit for 2-stage pump |
