Espectrómetros de masas

Transpector® CPM 3

Sistema de supervisión de procesos rápido y listo para su uso

Rendimiento, fiabilidad y versatilidad

Transpector CPM de INFICON ha sido el sistema de supervisión del proceso de analizador de gases residuales (RGA) líder en el mercado durante más de una década. Ahora, Transpector CPM 3 proporciona una sensibilidad y velocidad de medición líderes en la industria a través de un sistema de bombeo y entrada probado y que integra un nuevo sensor y una nueva electrónica. Transpector CPM 3 es el monitor de procesos RGA ideal para procesos de semiconductores nuevos y establecidos, como ALD, CVD, PVD y decapado.

Transpector CPM 3 proporciona una rentabilidad probada a nuestros clientes mediante:

Tecnología de medición líder en la industria
Arquitectura flexible y resistente
Facilidad de mantenimiento
Soporte de productos inmejorable

Características

Analizador de gases residuales para análisis y supervisión de procesos en tiempo real de degasificación de 300 mm, ALD, decapado y CVD.
Preparado para ALD con una velocidad de medida de 1,8 ms por punto (555 puntos por segundo).
Fiabilidad y durabilidad probadas en la mayoría de las aplicaciones CVD y de decapado.
En cuanto a la integración de aplicaciones, el Transpector CPM se ha convertido en una potente herramienta de diagnóstico y supervisión de procesos cuando se integra con el software FabGuard y recibe el apoyo de los expertos de aplicaciones de primera clase de INFICON.
El tamaño compacto facilita la integración en equipos semiconductores de producción.
Hexblock™ tiene hasta tres entradas de presión y un área de superficie reducida para minimizar los tiempos de respuesta y las reacciones de la superficie.
El indicador del diafragma de la capacitancia (CDG) permite a los usuarios supervisar la presión del proceso y proteger automáticamente el sistema ante variaciones de la presión.
La calibración automática garantiza la estabilidad y la precisión de datos a largo plazo de forma que sea adapten entre sensores y entre herramientas.

Especificaciones

100 AMU CPM

200 AMU CPM

300 AMU CPM

Rango total de presión	5E-7 - 1E-3 Torr

Límite de detección	< 1 ppm

Presión de funcionamiento del sistema	1E-8 Torr - 1.2 atm

Sensibilidad (baja emisión)	> 4E-6 Amps/Torr

Sensibilidad (alta emisión)	> 2E-5 Amps/Torr

Rango total de presión	5E-7 - 1E-3 Torr

Límite de detección	< 2 ppm

Presión de funcionamiento del sistema	1E-8 Torr - 1.2 atm

Sensibilidad (baja emisión)	> 2E-6 Amps/Torr

Sensibilidad (alta emisión)	> 1E-5 Amps/Torr

Rango total de presión	5E-7 - 1E-3 Torr

Límite de detección	< 4 ppm

Presión de funcionamiento del sistema	1E-8 Torr - 1.2 atm

Sensibilidad (baja emisión)	> 1E-6 Amps/Torr

Sensibilidad (alta emisión)	> 5E-6 Amps/Torr

Descargue aquí las especificaciones completas

Consumibles

100 AMU CPM

200 AMU CPM

300 AMU CPM

Número de parte	Descripción
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10	30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G3	10 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G4	1 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G6	10 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7	360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G8	15 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G9	3 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G1	10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2	100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G3	7 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Número de parte	Descripción
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10	30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G3	10 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G4	1 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G6	10 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7	360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G8	15 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G9	3 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G1	10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2	100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G3	7 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Número de parte	Descripción
059-0196	NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400	Replacement c-ring
070-1042	O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1	CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G10	30 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G3	10 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G4	1 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G6	10 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7	360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G8	15 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G9	3 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G1	10 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2	100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G3	7 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1	Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1	Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2	Filament Kit CPM Coated
964-711-G1	Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2	Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1	Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2	Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Piezas de repuesto

100 AMU CPM

200 AMU CPM

300 AMU CPM

Número de parte	Descripción
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring
915-724-G1	Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1	Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3	Capillary assembly - 3 m
923-403-P2	CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1	HexBlock valve replacement kit
923-712-G1	Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable

Número de parte	Descripción
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring
915-724-G1	Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1	Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3	Capillary assembly - 3 m
923-403-P2	CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1	HexBlock valve replacement kit
923-712-G1	Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable

Número de parte	Descripción
032-0079	Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400	Replacement c-ring
915-724-G1	Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1	Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3	Capillary assembly - 3 m
923-403-P2	CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1	Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1	HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1	HexBlock valve replacement kit
923-712-G1	Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G2	2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1	CPM Cable Box Assembly
964-403-P1	CPM Manifold Heater
964-603-G2	CPM Controller Box
964-720-G1	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2	CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3	CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4	CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable

Descargas

Folletos

Transpector CPM 3 Brochure

pdf • 7,9 MB • Inglesa • Folletos

Manuales

074-641-P1B Transpector CPM OM

pdf • 12,2 MB • Inglesa • Presentaciones de productos, Manual de instrucciones

El producto se utiliza en los siguientes mercados

Instrumentación analítica

El mercado de los instrumentos analíticos apoya con sus herramientas altamente sofisticadas a los usuarios en un amplio abanico de aplicaciones y mercados. INFICON colabora con los fabricantes de las tecnologías más avanzadas que ayudan a analizar e identificar las estructuras más pequeñas o las composiciones de los elementos, ya sean gases, líquidos o sólidos.

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La industria manufacturera se encarga de la fabricación de productos destinados al uso industrial. El vacío se utiliza más a menudo para garantizar un entorno limpio y es necesario para varios procesos, ya que sin vacío no funcionan.

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Revelar los misterios más recónditos del universo a través de la investigación fundamental. Proporcionando hoy la innovación que potencia las tecnologías del mañana.

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