Transpector® CPX
Experto en procesos compacto para la supervisión avanzada de procesos
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Mayor rendimiento, fiabilidad probada y versatilidad de aplicaciones
INFICON Transpector CPX es un analizador de gases residuales (RGA) líder del mercado para la supervisión avanzada de procesos en la fabricación de semiconductores. INFICON entiende que los procesos de fabricación de semiconductores tienen necesidades específicas que requieren flexibilidad para satisfacer los requisitos de la aplicación. Transpector CPX está diseñado teniendo en cuenta esta versatilidad, con la entrada HexBlock de presión múltiple y una variedad de opciones de características para satisfacer las necesidades de la aplicación.
La nueva generación de Transpector CPX presenta una reducción de volumen del 30% con respecto a las generaciones anteriores*, al tiempo que mantiene los sistemas de bombeo líderes del sector. Además, Transpector CPX es un sistema más inteligente con un control más capaz.
*Comparado con Transpector CPM 3
Ventajas
- HexBlock configurable con hasta tres entradas de presión para aplicaciones versátiles
- Reducción del 30% del volumen del sistema con respecto al Transpector CPM 3 para facilitar la integración del RGA en aplicaciones con limitaciones de espacio.
- Reducción de la complejidad del sistema con un sistema de bombeo líder en el sector y cartuchos calefactores de temperatura controlada
- La calibración automatizada garantiza la fiabilidad y precisión de los datos a largo plazo para el ajuste entre sensores y entre cámaras de herramientas.
- Transpector CPX se convierte en una potente herramienta de supervisión y diagnóstico de procesos cuando se integra con el software FabGuard y cuenta con el apoyo de los expertos en aplicaciones de categoría mundial de INFICON
Especificaciones
| Límite de detección | < 200 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| Sensibilidad (baja emisión) | > 4E-6 Amps/Torr |
| Sensibilidad (alta emisión) | > 2E-5 Amps/Torr |
| Límite de detección | < 500 ppb |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| Sensibilidad (baja emisión) | > 4E-6 Amps/Torr |
| Sensibilidad (alta emisión) | > 2E-5 Amps/Torr |
| Límite de detección | < 1 ppm |
| Rango de presión de proceso | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| Sensibilidad (baja emisión) | > 4E-6 Amps/Torr |
| Sensibilidad (alta emisión) | > 2E-5 Amps/Torr |
Consumibles
| Número de pieza | Descripción |
| 969-818-G2S | Kit de filamento simple recubierto |
| 969-818-G1S | Kit de filamento único de tungsteno |
| 969-819-G3S | Kit de fuente de iones revestida de filamento único |
| 969-819-G1S | Kit de fuente de iones de tungsteno de filamento único |
| 969-819-G2S | Kit de fuente de iones de tungsteno de filamento único + revestimiento de ánodo |
| 961-707-G1 | Kit de recambio del multiplicador de electrones |
| 923-418-G2 | Kit de diafragma de repuesto para bomba de 2 etapas |
| 923-711-G1 | Kit de sustitución de válvulas HexBlock |
