Transpector® MPH
Rendimiento inigualable para mejorar los resultados y maximizar el tiempo de actividad
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El aumento de los precios de las obleas de silicona y la demanda de productos acabados hacen que las obleas deterioradas cuesten más que nunca. Por tanto, comprender los procesos y controlar los defectos se ha convertido en una gran prioridad en los centros de fabricación de semiconductores. El sistema de análisis de Transpector MPH está diseñado para desbloquear los procesos con un rendimiento líder en el sector para todas las aplicaciones de análisis de gases que ayudan a maximizar el rendimiento de los chips y reducir el tiempo de inactividad de la herramienta. Gracias a su reducido coste de propiedad general y su reducido índice de fallos, Transpector MPH mejorará su balance final más que ningún otro analizador de gases residuales (RGA) del mercado.
INFICON ha aplicado su gran experiencia en equipos de control de procesos de análisis de gases para crear un analizador de gases residuales con la mayor velocidad de recopilación de datos del mercado, una mínima presión parcial detectable y la mejor proporción señal-ruido. Todo ello sin sacrificar la gran fiabilidad de los analizadores de gases Transpector de INFICON.
Características
- Tasa máxima de datos de 1,8 ms por punto para análisis analógicos y picos seleccionados
- Conectividad Ethernet TCP/IP
- Filamentos duales
- Multiplicador de electrones sustituible en campo
- Kit de filamento reflector, cátodo y ánodo combinado
- Los sensores más cortos minimizan la huella de la instalación
- Rango dinámico de nueve décadas
- MDPP de <2E-15 Torr (100 amu)
- Mejor relación señal/ruido
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Los sensores se montan, se prueban y se empaquetan en entornos esterilizados
- Cumplimiento de la normativa RoHS
