Transpector® MPH
Rendimiento inigualable para mejorar los resultados y maximizar el tiempo de actividad
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El aumento de los precios de las obleas de silicona y la demanda de productos acabados hacen que las obleas deterioradas cuesten más que nunca. Por tanto, comprender los procesos y controlar los defectos se ha convertido en una gran prioridad en los centros de fabricación de semiconductores. El sistema de análisis de Transpector MPH está diseñado para desbloquear los procesos con un rendimiento líder en el sector para todas las aplicaciones de análisis de gases que ayudan a maximizar el rendimiento de los chips y reducir el tiempo de inactividad de la herramienta. Gracias a su reducido coste de propiedad general y su reducido índice de fallos, Transpector MPH mejorará su balance final más que ningún otro analizador de gases residuales (RGA) del mercado.
INFICON ha aplicado su gran experiencia en equipos de control de procesos de análisis de gases para crear un analizador de gases residuales con la mayor velocidad de recopilación de datos del mercado, una mínima presión parcial detectable y la mejor proporción señal-ruido. Todo ello sin sacrificar la gran fiabilidad de los analizadores de gases Transpector de INFICON.
Características
- Tasa máxima de datos de 1,8 ms por punto para análisis analógicos y picos seleccionados
- Conectividad Ethernet TCP/IP
- Filamentos duales
- Multiplicador de electrones sustituible en campo
- Kit de filamento reflector, cátodo y ánodo combinado
- Los sensores más cortos minimizan la huella de la instalación
- Rango dinámico de nueve décadas
- MDPP de <2E-15 Torr (100 amu)
- Mejor relación señal/ruido
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Los sensores se montan, se prueban y se empaquetan en entornos esterilizados
- Cumplimiento de la normativa RoHS
Especificaciones
| Rango de masa | 100 amu |
| Presión parcial detectable mín. | 2E-15 Torr |
| Sensibilidad (FC) | 6E-4 A/Torr |
| Sensibilidad (EM) | 500 A/Torr |
| Presión de funcionamiento máx. | 5E-4 Torr |
| Rango de masa | 100 amu |
| Presión parcial detectable mín. | 3E-13 Torr |
| Sensibilidad (FC) | 6E-4 A/Torr |
| Sensibilidad (EM) | NA |
| Presión de funcionamiento máx. | 5E-4 Torr |
| Rango de masa | 200 amu |
| Presión parcial detectable mín. | 3E-15 Torr |
| Sensibilidad (FC) | 5E-4 A/Torr |
| Sensibilidad (EM) | 500 A/Torr |
| Presión de funcionamiento máx. | 5E-4 Torr |
| Rango de masa | 200 amu |
| Presión parcial detectable mín. | 4E-13 Torr |
| Sensibilidad (FC) | 5E-4 A/Torr |
| Sensibilidad (EM) | NA |
| Presión de funcionamiento máx. | 5E-4 Torr |
| Rango de masa | 300 amu |
| Presión parcial detectable mín. | 4E-15 Torr |
| Sensibilidad (FC) | 4E-4 A/Torr |
| Sensibilidad (EM) | 250 A/Torr |
| Presión de funcionamiento máx. | 5E-4 Torr |
| Rango de masa | 300 amu |
| Presión parcial detectable mín. | 5E-13 Torr |
| Sensibilidad (FC) | 4E-4 A/Torr |
| Sensibilidad (EM) | NA |
| Presión de funcionamiento máx. | 5E-4 Torr |
Accesorios
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| 600-1428-P1 | Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi |
| 961-418-G1 | Ethernet Switch 8 port |
| 961-702-G1 | Pirani Interlock Kit |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual (includes heater) |
| 914-026-G1 | MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater) |
| 961-029-G1 | MPH Heater Kit 120 VAC |
| 961-029-G2 | MPH Heater Kit 230 VAC |
| 961-416-P1 | Spare MPH Heating Jacket |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone) |
| 600-1117-P1 | Spare Heater Power Cable 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Spare Heater Power Cable 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH Extension Kit |
| 961-205-G2 | MPH HPR Extension Kit |
| 961-022-G1 | Spare O-Ring and Nut Kit |
| 074-5007-G1 | Gas Analysis Product Manuals CD |
| 961-700-G1 | Coated Iridium Filament Kit |
| 961-700-G2 | Tungsten Filament Kit |
| 961-701-G1 | Coated Iridium Filament Ion Source |
| 961-701-G2 | Tungsten Filament Ion Source |
| 961-2428-G2 | Electron Multiplier Replacement Kit |
Piezas de repuesto
| 961-H1FAS | MPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H1FBS | MPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H10S | MPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet |
| 961-H1MAS | MPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H1MBS | MPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H10S | MPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet |
| 961-H2FAS | MPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H2FBS | MPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H20S | MPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet |
| 961-H2MAS | MPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H2MBS | MPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H20S | MPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet |
| 961-H3FAS | MPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H3FBS | MPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H30S | MPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet |
| 961-H3MAS | MPH Sensor, 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Y2O3/Ir Filaments |
| 961-H3MBS | MPH Sensor 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Tungsten Filaments |
| MP-H30S | MPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet |
