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Pasos de movimiento lineal
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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La gran variedad de terminales de paso de INFICON ofrece el dispositivo adecuado para todas las aplicaciones que se soliciten, independientemente de que se utilice, por ejemplo, en cámaras de aplicación de revestimiento o en su proyecto de investigación aplicada en condiciones de laboratorio.
Los diseños de brida disponibles ISO-KF/ISO-K y CF corresponden a nuestra línea de conectores. Todos los pasos se pueden utilizar en sistemas de vacío con velocidades de fuga de hasta 1 x 10-9 mbar•l/s. También disponible para UHV y todos los pasos diseñados en metal.
Ventajas
- Con fuelle para las necesidades de vacío más exigentes
- Empuje directo y acción de tirar
- Ajuste de alta precisión con el tornillo micrométrico
- De conformidad con la normativa 2011/65/EU (RoHS)
Especificaciones
FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
| Conexión de vacío | DN16 ISO-CF-R | |
| Pasamuros/sello | Fuelle | |
| Conexión del eje | M4x16 mm | |
| Actuador | manual | |
| Recorrido | mm | 25 |
| Recorrido por revolución | mm | |
| División de la escala | mm | 5 |
| Carga del eje | ||
| Fuerza radial a máx. | N | 20 |
| Fuerza axial de vacío | N | 85 |
| Fuerza axial contra atm | N | 100 |
| Par de torsión | Nm | 0.2 |
| Hermeticidad | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| Presión (absoluta) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| Temperatura de horneado | ||
| Pasamuro | °C | 300 |
| Tornillo micrométrico | °C | |
| Materiales expuestos a medios de proceso | acero inoxidable 304L/1.4306, acero inoxidable 316Ti/1.4571 | |
Peso
| kg | 0.15 |
| Conexión de vacío | DN40 ISO-CF-R | |
| Pasamuros/sello | Fuelle | |
| Conexión del eje | M6x10 mm, Ø10 mm | |
| Actuador | manual | |
| Recorrido | mm | 50 |
| Recorrido por revolución | mm | |
| División de la escala | mm | 10 |
| Carga del eje | ||
| Fuerza radial a máx. | N | 100 |
| Fuerza axial de vacío | N | 140 |
| Fuerza axial contra atm | N | 200 |
| Par de torsión | Nm | 0.5 |
| Hermeticidad | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| Presión (absoluta) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| Temperatura de horneado | ||
| Pasamuro | °C | 300 |
| Tornillo micrométrico | °C | |
| Materiales expuestos a medios de proceso | acero inoxidable 304L/1.4306, acero inoxidable 316Ti/1.4571 | |
Peso
| kg | 0.75 |
| Conexión de vacío | DN16 ISO-CF-R | |
| Pasamuros/sello | Fuelle | |
| Conexión del eje | M4x16 mm | |
| Actuador | tornillo micrométrico | |
| Recorrido | mm | 20 |
| Recorrido por revolución | mm | 0.5 |
| División de la escala | mm | 0.01 |
| Carga del eje | ||
| Fuerza radial a máx. | N | 20 |
| Fuerza axial de vacío | N | 185 |
| Fuerza axial contra atm | N | 200 |
| Par de torsión | Nm | 0.2 |
| Hermeticidad | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| Presión (absoluta) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| Temperatura de horneado | ||
| Pasamuro | °C | 300 |
| Tornillo micrométrico | °C | 100 |
| Materiales expuestos a medios de proceso | acero inoxidable 304L/1.4306, acero inoxidable 316Ti/1.4571 | |
Peso
| kg | 0.25 |
| Conexión de vacío | DN40 ISO-CF-R | |
| Pasamuros/sello | Fuelle | |
| Conexión del eje | M6x10mm, Ø10 mm | |
| Actuador | tornillo micrométrico | |
| Recorrido | mm | 50 |
| Recorrido por revolución | mm | 1 |
| División de la escala | mm | 0.005 |
| Carga del eje | ||
| Fuerza radial a máx. | N | 100 |
| Fuerza axial de vacío | N | 440 |
| Fuerza axial contra atm | N | 500 |
| Par de torsión | Nm | 0.5 |
| Hermeticidad | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| Presión (absoluta) | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| Temperatura de horneado | ||
| Pasamuro | °C | 300 |
| Tornillo micrométrico | °C | 100 |
| Materiales expuestos a medios de proceso | acero inoxidable 304L/1.4306, acero inoxidable 316Ti/1.4571 | |
Peso
| kg | 1 |
Número de parte
| Número de parte | Descripción |
| 214-330 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-H, DN16 ISO-CF-R |
| 214-332 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-H, DN40 ISO-CF-R |
| 214-334 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-Z, DN16 ISO-CF-R |
| 214-336 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-Z, DN40 ISO-CF-R |
Descargas
Fichas técnicas
Lineardurchführungen CF DE
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Linear Motion Feedthroughs CF EN
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直線状モーションフィードスルー CF JA
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선형 동작 피드스루 CF KO
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直线运动馈入装置 CF ZH
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Terminales de paso de movimiento lineal CF ES
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