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Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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La gran variedad de terminales de paso de INFICON ofrece el dispositivo adecuado para todas las aplicaciones que se soliciten, independientemente de que se utilice, por ejemplo, en cámaras de aplicación de revestimiento o en su proyecto de investigación aplicada en condiciones de laboratorio.
Los diseños de brida disponibles ISO-KF/ISO-K y CF corresponden a nuestra línea de conectores. Todos los pasos se pueden utilizar en sistemas de vacío con velocidades de fuga de hasta 1 x 10-9 mbar•l/s. También disponible para UHV y todos los pasos diseñados en metal.
Ventajas
- Fuelle
- Versión metálica por completo
- Para necesidades de vacío muy exigentes
- De conformidad con la normativa 2011/65/EU (RoHS)
Especificaciones
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
| Conexión de vacío | DN16 ISO-CF-F | |
| Pasamuros/sello | Fuelle | |
| Conexión del eje | mm | 4 |
| Torque transferible | ||
| Dinámica | Nm | 0.4 |
| Dinámica, a 300 ºC | Nm | 0.2 |
| Estática | Nm | 0.2 |
| Velocidad de rotación | rpm | 200 |
| En el par máx. | rpm | ─ |
| Carga del eje por lado de vacío | ||
| Fuerza radial | N | 10 |
| Fuerza axial | N | 5 |
| Vida de servicio | Revoluciones | 1'000'000 |
| División de la escala | Grado | 10 |
| Hermeticidad | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| Presión (absoluta) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| Temperatura de funcionamiento | °C | 300 |
| Temperatura de horneado | °C | 300 |
| Materiales expuestos a medios de proceso | acero inoxidable 304L/1.4306, acero inoxidable 304/1.4301, –/2.4360 | |
Peso
| kg | 0.3 |
| Conexión de vacío | DN40 ISO-CF-F | |
| Pasamuros/sello | Fuelle | |
| Conexión del eje | mm | 8 |
| Torque transferible | ||
| Dinámica | Nm | 4 |
| Dinámica, a 300 ºC | Nm | 2 |
| Estática | Nm | 3 |
| Velocidad de rotación | rpm | 1000 |
| En el par máx. | rpm | 500 |
| Carga del eje por lado de vacío | ||
| Fuerza radial | N | 60 |
| Fuerza axial | N | 20 |
| Vida de servicio | Revolutions | 2'000'000 |
| División de la escala | Degree | ─ |
| Hermeticidad | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| Presión (absoluta) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| Temperatura de funcionamiento | °C | 300 |
| Temperatura de horneado | °C | 300 |
| Materiales expuestos a medios de proceso | acero inoxidable 304L/1.4306, acero inoxidable 304/1.4301 | |
Peso
| kg | 1.5 |
| Conexión de vacío | DN40 ISO-CF-F | |
| Pasamuros/sello | Fuelle | |
| Conexión del eje | mm | 12 |
| Torque transferible | ||
| Dinámica | Nm | 10 |
| Dinámica, a 300 ºC | Nm | 2 |
| Estática | Nm | 5 |
| Velocidad de rotación | rpm | 500 |
| En el par máx. | rpm | 300 |
| Carga del eje por lado de vacío | ||
| Fuerza radial | N | 100 |
| Fuerza axial | N | 30 |
| Vida de servicio | Revolutions | 1'000'000 |
| División de la escala | Degree | ─ |
| Hermeticidad | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
| Presión (absoluta) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| Temperatura de funcionamiento | °C | 300 |
| Temperatura de horneado | °C | 300 |
| Materiales expuestos a medios de proceso | acero inoxidable 304L/1.4306, acero inoxidable 304/1.4301, acero inoxidable 303/1.4305 | |
Peso
| kg | 3.0 |
Número de parte
| Número de parte | Descripción |
| 214-310 | Rotary feedthrough, FRU016-H, DN16 ISO-CF-F |
| 214-312 | Rotary feedthrough, FRU040-N, DN40 ISO-CF-F |
| 214-314 | Rotary feedthrough, FRU040-L, DN40 ISO-CF-F |
Descargas
Fichas técnicas
Drehdurchführungen CF DE
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Alemán
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Rotary Feedthroughs CF EN
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回転式フィードスルー CF JA
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Japonés
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Fichas técnicas
로터리 피드스루 CF KO
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Coreano
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Fichas técnicas
旋转馈入装置 CF ZH
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Chino
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Terminales de paso de giro CF ES
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