Deposición de películas finas
Las soluciones de deposición de película fina de INFICON ofrecen un control preciso sobre la creación de capas de material ultrafinas, esenciales para los procesos de fabricación de alta precisión. Nuestras herramientas proporcionan información en tiempo real, mejorando tanto la eficiencia como la calidad del producto en todas las industrias.
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El cristal estándar de 25,4 mm (1 pulgada) de diámetro y corte "AT", usado inicialmente por INFICON, se utiliza principalmente en aplicaciones de investigación con los sistemas RQCM (microbalanza de cristal de cuarzo para investigación) de INFICON.
- Preciso
- Seguro
- Estable
- Amplia variedad de materiales de electrodos disponible
Precisión óptima, máximo tiempo de actividad y mínimo mantenimiento para aplicaciones ALD
- Es compatible con la mayoría de temperaturas de proceso de ALD
- Reduce el mantenimiento considerablemente
- Maximiza el tiempo de actividad del sistema
- Maximiza la precisión de las mediciones
El sensor dual Cool Drawer se ha diseñado para su uso en procesos críticos en los que es preferible tener un segundo cristal en la cámara de vacío.
- Cristales dobles
- Soporte de cristal Cool Drawer
- Sin cables internos
- Obturador de cristal
Los sensores individuales Cool Drawer permiten la instalación de cristal en el sensor desde el lateral, lo que resulta útil en sistemas que no tienen espacio suficiente para la carga frontal del cristal.
- Sin cables internos
- Soporte de cristal Cool Drawer
- Instalación fácil
- Refractario si se solicita con una brida CF40 soldada
La sustitución de cristales automática maximiza el tiempo de producción
- Soporta 12 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
- Carro fácil de extraer que permite una sustitución rápida de los 12 cristales
- Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
El sensor CrystalSix de INFICON es crucial para procesos largos que requieren un control continuo de la velocidad.
- Soporta 6 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
- Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
- Los tubos de 1,8" mantienen la estabilidad térmica y ofrecen flexibilidad para la instalación del sensor
- Obturador de cristal opcional disponible
Proporciona un valor excepcional mediante la combinación del rendimiento demostrado de los controladores de película delgada de INFICON con características exclusivas diseñadas para que saque el máximo rendimiento al proceso OLED.
- La tecnología ModeLock de INFICON garantiza la medición de grosor y velocidad más estable y con la mayor resolución posible, incluso a velocidades muy bajas.
- Auto Z (coeficiente de impedancia acústica) mejora la precisión del grosor al determinar automáticamente el coeficiente de impedancia acústica cuando se coloca el material
- Permite controlar hasta seis fuentes de forma simultánea, independientemente o en cualquier combinación, con un solo Cygnus 2, por lo que ya no necesitará dos o tres controladores
Los sensores dobles de tasa sencilla ofrecen una solución simple y asequible para aplicaciones QCM en los que un cristal puede no ser suficiente.
- Cristales dobles
- Precio de valor
- Diseño de bajo perfil
- Incluye obturador de cristal
INFICON ofrece una gran variedad de pasos de sensores de monitores de cristal de cuarzo (QCM) para almacenar sensores de velocidad sencilla.
- Disponibles modelos con perno de 2,54 cm (1 pulg.) o CF40 (2,75 pulg. ConFlat®)
- Disponibles con racores perforados
Los sensores dobles de tasa sencilla pueden maximizar la producción a la vez que minimizan el coste.
- Mínima inversión con el menor coste inicial
- Menor coste total de propiedad gracias a la mayor vida útil del sensor
- Máximo rendimiento con menos mantenimiento
- Fácil instalación
Los sensores duales de cristal de carga frontal de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad demostradas y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado.
- Cristales dobles
- Obturador de cristal
- Soporte de cristal de carga frontal
- Instalación fácil
Los sensores individuales de cristal de carga frontal de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad demostradas y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado.
- Soporte de cristal de carga frontal
- Instalación fácil
- Disponible con paso de perno de 2,54 cm (1 pulg.)/paso eléctrico CF40
Deposición simultánea de hasta ocho materiales
- Supervisa y controla la deposición simultánea de hasta 8 materiales
- Tasas de deposición desde 0,1 y hasta 10.000 Å/s
- Control integrado de proceso de película delgada QCM y EIES
- 12 salidas de relé y 12 entradas digitales
El IC6, rico en funciones, ofrece la mejor precisión de medición posible
- La tecnología INFICON ModeLock garantiza la velocidad y la medición del espesor más estables y de mayor resolución disponibles, incluso a velocidades muy bajas
- Auto Z mejora la precisión del espesor determinando automáticamente la relación Z a medida que se deposita el material
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
- La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas
- Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
- La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas.
- Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
Control de deposición de bajo coste en una tarjeta PCI express
- PCI Express
- Tres entradas de sensor, tres salidas de control
- Instalar varias tarjetas en un PC
- Codeposición de múltiples fuentes
INFICON ofrece una gran variedad de pasos de sensores de monitores de cristal de cuarzo (QCM) para almacenar diferentes sensores QCM y configuraciones de cámara. Los pasos de estilo perno CF40 (2,75 pulgadas ConFlat®) y 2,54 cm (1 pulgada) están disponibles en diferentes combinaciones de conexiones eléctricas, refrigeración por agua y tubos de aire.
- Los pasos de estilo perno CF40 (2,75 pulgadas ConFlat ) y 2,54 cm (1 pulgada) están disponibles en diferentes combinaciones de conexiones eléctricas, refrigeración por agua y tubos de aire.
- Conectores por comprensión con junta tórica Ultra-Torr disponibles
- Configuración personalizada del paso eléctrico
La precisión y fiabilidad de los cristales de INFICON están totalmente comprobadas
- 5 y 6 MHz
- Oro, plata (para procesos con cargas caloríficas elevadas) y aleación reductora de tensión (para revestimientos ópticos con materiales dieléctricos y procesos de semiconductores)
- Tres prácticas opciones de embalaje: dispensador compatible con sala blanca, dispensador de cápsula plana y caja compacta
Rendimiento excelente del cristal en aplicaciones exigentes
- Seis cristales
- Retroalimentación de posición (dependiente del controlador)
- Longitud ajustable (con brida opcional)
- Diseño resistente
Control secuencial o de codeposición de alta precisión
- Brillante pantalla LCD en color - disponible en inglés o chino
- RS-232 y USB estándar (RS-232 y Ethernet opcionales)
- Fácil configuración y funcionamiento con un menú de "Configuración rápida", 6 botones sensibles al contexto y un cómodo mando de ajuste de parámetros
- Programa Windows® para desarrollar, probar y descargar procesos, y para registrar los datos del instrumento en su PC para el análisis de procesos y el control de calidad
QM-160 utiliza la tecnología probada del sensor de cristal de cuarzo de INFICON para medir la velocidad y el grosor en procesos deposición de película delgada.
- Dos canales de medición estándar y cuatro adicionales opcionales
- Salidas analógicas para registrar el grosor y la velocidad
- Opción de alta precisión: 0,03Hz a 10 lecturas/segundo
- RS-232 estándar, USB o Ethernet opcional
STM-2 combina la simplicidad de la conexión USB con la precisión de una máquina de medición de precisión, todo ello en un pack asequible y compacto.
- Instrumento de bajo coste
- Conexión USB
- Oscilador interno
- Gran precisión con 10 lecturas por segundo
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
- Monitorización del proceso in situ y en tiempo real
- Prevención de sobregrabado, identificación del punto final de limpieza de la cámara
- Identificación de fallos en el equipo o en el estado del proceso
El sensor SemiQCM™ SR es un componente de un sistema para la supervisión de precursores siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
- Control del proceso in situ y en tiempo real
- Prevenir el sobregrabado, identificar el punto final de limpieza de la cámara
- Identificar fallos en el equipo o en el estado del proceso
El sensor de pulverización de INFICON se ha diseñado específicamente para su uso en cualquier proceso de pulverización.
- Tubos de refrigeración y cuerpo del sensor en cobre al berilio chapado en oro para una eficacia máxima durante la refrigeración
- Imán para desviar los electrones sin carga del cristal del monitor
- Fácil instalación con tubos de agua flexibles para obtener flexibilidad en la instalación del sensor
- Cristal de carga trasera para su fácil sustitución
Los sensores refractarios de cristal UHV de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad probadas, y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado.
- Construcción soldada de alta temperatura
- Temperaturas de cocción de hasta 450°°C
- Obturador de cristal (opcional)
- Soporte de cristal de carga frontal
Controlador de velocidad asequible y avanzado para una o varias capas
- Disponible en modelos de una o múltiples capas
- La tecnología patentada de ModeLock evita errores en el grosor de películas producidos por saltos de modo
- Compatible con Crystal 12®, Crystal Six® de INFICON y la sustitución de cristales automático de sensores duales para obtener la máxima productividad
Parte de la nueva generación de controladores de deposición INFICON Zevision, que ofrecen la nueva tecnología patentada necesaria para los recubridores ópticos actuales.
- Maximice la reproducibilidad y la uniformidad con la máxima precisión de espesor, la mejor resolución de medición y el menor ruido de tasa mediante el sistema de medición ModeLock.
- Maximice el número de ejecuciones posibles al tiempo que reduce el coste de los consumibles de cristal con ModeLock (mayor vida útil del cristal).
- Minimice el coste de integración y maximice la velocidad de integración gracias a la compatibilidad con versiones anteriores, la lógica y la capacidad opcional de ejecutar varias fuentes durante un único proceso al mismo tiempo con un único controlador.
- Minimice el riesgo de desarrollo y optimice el rendimiento del sistema gracias a la asistencia de expertos en aplicaciones de todo el mundo
Herramientas de precisión para la deposición y supervisión exactas de películas finas
La tecnología de película fina desempeña un papel fundamental en los procesos de fabricación de precisión, ya que permite la deposición de capas ultrafinas de material sobre una gran variedad de superficies. La experiencia de INFICON en la deposición de películas finas proporciona soluciones de alta precisión que garantizan resultados consistentes y fiables para las industrias que dependen de revestimientos avanzados. Una de nuestras herramientas clave en estos procesos es la microbalanza de cristal de cuarzo (QCM), que supervisa las velocidades de deposición y garantiza una estratificación precisa del material.
Mediante el uso de los equipos de metrología de películas finas de INFICON, los fabricantes pueden conseguir un control total del proceso de deposición de películas finas. Estas herramientas de medición de precisión están diseñadas para mantener la exactitud y consistencia que son críticas en campos como los semiconductores, la óptica y los materiales avanzados. La integración de la tecnología QCM garantiza que incluso las películas finas más delicadas se apliquen según estándares exactos.
El conjunto de herramientas de INFICON no sólo mejora la deposición de películas finas, sino que también proporciona información en tiempo real, lo que facilita el ajuste de parámetros sobre la marcha. Esto se traduce en un aumento de la eficacia, una reducción de los residuos y una mejora de la calidad del producto, lo que consolida nuestro compromiso con el avance de las soluciones tecnológicas de película fina.