Controlador EIES Guardian™
Deposición simultánea de hasta ocho materiales
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Ideal para películas delgadas CIGS
Guardian puede controlar las velocidades de reposición desde 0,1 hasta 10 000 Å/s. Trabaja con uno o dos sensores, hasta 8 entradas ópticas y controla hasta 8 fuentes de deposiciones, lo que permite la codeposición de hasta 8 materiales.
Guardian de INFICON es ideal para aplicaciones como la fabricación de módulos fotovoltaicos, como la fabricación de módulos fotovoltaicos, OLED, elementos fotovoltaicos y películas delgadas y MBE de superconducción.
El sistema de codeposición Guardian se basa en la espectroscopia de emisión de impacto de electrones (EIES). Al utilizar EIES, un emisor termoiónico excita el material que se deposita, lo que tiene como resultado la creación de fotones. La luz que se crea pasa a través de un filtro óptico hasta llegar a un detector de tubo fotomultiplicador (PMT), el cual mide la intensidad de la emisión de la longitud de onda que ha pasado. A continuación, el controlador Guardian de INFICON genera una señal para controlar el origen de ese material. Se usan detectores adicionales con filtros ópticos apropiados para varios materiales.
Un sistema Guardian completo está formado por, al menos, un sensor, un detector PMT, un filtro óptico, una unidad de controlador Guardian y un PC (proporcionado por el usuario) con software Guardian. La EIES se suele utilizar para controlar la deposición de diferentes materiales, por lo que la mayoría de estos sistemas suelen incluir sensores adicionales, detectores, componentes ópticos como divisores de rayos y QCM para la calibración o el control de la velocidad de deposición en algunos materiales. Puede encontrar más información sobre sistemas típicos en la guía de configuración de Guardian que se encuentra en la pestaña de descargas que aparece a continuación.
Para configurar el sistema de codeposición de Guardian tenga en cuenta lo siguiente
¿Cuáles son las longitudes de onda de la emisión primaria y secundaria de sus materiales de deposición?
Si materiales diferentes tienen picos muy cerca uno de otros, es posible que tenga que supervisar una longitud de onda secundaria, cuya potencia de señal es inferior.
Durante el proceso de deposición, ¿qué gases de fondo aparecen en la cámara de vacío y cuáles son las longitudes de las ondas de emisión de dichos gases?
Si las emisiones de los gases de fondo interfieren con los materiales de deposición, se recomienda usar un sensor para compensar los gases.
EIES es más efectivo con los espectros exclusivos de especies atómicas. Las especies moleculares que generan espectros de emisión amplios o inestables no pueden medirse adecuadamente. No se recomienda el uso de EIES en el caso de materiales orgánicos. Estos y otros factores determinan la configuración óptima de sistema para el EIES para cada aplicación específica.
Características
- Supervisa y controla la deposición simultánea de hasta 8 materiales
- Tasas de deposición desde 0,1 y hasta 10.000 Å/s
- Control integrado de proceso de película delgada QCM y EIES
- 12 salidas de relé y 12 entradas digitales
- Software basado en Windows para la instalación y el funcionamiento
- Compatible con los sensores Sentinel® de INFICON
Especificaciones
| Presión operativa | <5x10-4 Torr |
| Temperatura | 450° C maximum during operation and/or bakeout |
| Salidas de control | Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable |
| Equipo proporcionado por el usuario: | Any PC with Windows® Vista/XP/2000/7/8/10 operating system, and Ethernet or RS-232 interface |
Número de parte
| Número de parte | Descripción |
| 782-900-031 | Guardian Controller for one sensor (standard or gas compensating) |
| 782-900-050 | Guardian Controller for two sensors (standard or gas compensating) |
| Número de parte | Descripción |
| EIES Sensors | |
| 016-600-G22 | Guardian Standard Single Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange |
| 016-601-G22 | Guardian Gas Compensating Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange |
| Beam Splitters | Fiber Optic Beam Splitters split the beam of light from the sensor to allow measurement of multiple materials per EIES sensor. |
| 782-900-034 | Guardian Fiber Optic Beam Splitter (1:3) - 400 mm length |
| 782-900-034-x-yyy | Guardian Fiber Optic Beam Spliter (1:x) - yyy mm length |
| Filament Cables | Connects the EIES sensor to the Guardian controller |
| 600-1406-P10 | Guardian Single Filament cable, 10 ft. (3 m) - For standard EIES sensor |
| 600-1406-P40 | Guardian Single Filament cable, 40 ft. (12 m) - For standard EIES sensor |
| 600-1407-P10 | Guardian Dual Filament cable, 10 ft. (3m) - For gas compensating EIES sensor |
| 600-1407-P40 | Guardian Dual Filament cable, 40 ft. (12 m) - For gas compensating EIES sensor |
| PMT Detector | |
| 782-900-030 | Guardian PMT Detector |
| PMT Detector Cables | Connects the PMT Detector to the Guardian controller |
| 782-505-065 | Guardian Detector cable 10 ft. (3 m) |
| 782-505-065-40 | Guardian Detector cable, 40 ft. (12 m) |
| Optical Filters | Select the wavelength appropriate for your material |
| 782-900-035-202 | Optical filter - 202nm, BP10nm (Zn) |
| 782-900-035-241 | Optical Filter - 241nm, BP10nm (Co, Au) |
| 782-900-035-252 | Optical Filter - 252nm, BP10nm, (Si) |
| 782-900-035-265 | Optical Filter - 265nm, BP10nm, (Ge, Pt, Ta, Ir) |
| 782-900-035-267 | Optical Filter, 267 nm, Guardian |
| 782-900-035-294 | Optical Filter 294nm, BP2nm, (Hf) (Ga [when using a gas compensating sensor]) |
| 782-900-035-304 | Optical Filter 304nm, BP2nm (Ba, In [when using a gas compensation sensor]) |
| 782-900-035-325 | Optical Filter - 325nm, BP10nm (Cu, Cd) |
| 782-900-035-358 | Optical Filter - 358nm, BP10nm, (Nb, U, Cr) |
| 782-900-035-364 | Optical Filter - 364nm, BP10nm (Ti, Pb) |
| 782-900-035-396 | Optical Filter - 396nm, BP10nm, (Al) |
| 782-900-035-417 | Optical Filter - 417nm, BP2nm, (Ga) |
| 782-900-035-451 | Optical Filter - 451nm, BP5nm, (In) |
| Número de parte | Descripción |
| 016-201-G1 | Emitter assembly for all 016-400-Gx sensors used in 016-600-Gxx and -601-Gxx |
| 782-900-038 | Guardian Photomultiplier Tube Replacement |
| 016-509-G22 | Guardian Sensor EIES In-vacuum Cable, 22 in. (559 mm), other lengths available |
| 782-530-015 | Guardian Sensor Filament Replacement (for discontinued 782-900-029 and -052 sensors) |
