Controladores
IC6
Repetir la excelencia

El controlador de deposición de película fina IC6 ofrece un valor excepcional al combinar el rendimiento probado de los controladores de película fina de INFICON con características únicas, todas ellas diseñadas para que usted obtenga el máximo rendimiento de su proceso de deposición. El IC6 utiliza nuestro sistema de medición de frecuencia ModeLock para proporcionar una medición de velocidad y espesor estable y de alta resolución con una resolución de velocidad líder en el sector de 0,00433 Å/s cada 1/10 segundos. Ningún otro controlador de cristal de cuarzo tiene el rendimiento, la calidad y las características del IC6, lo que le permite hacer repetible la excelencia.
Características
- La tecnología INFICON ModeLock garantiza la velocidad y la medición del espesor más estables y de mayor resolución disponibles, incluso a velocidades muy bajas
- Auto Z mejora la precisión del espesor determinando automáticamente la relación Z a medida que se deposita el material
- Codeposición de hasta seis fuentes simultáneamente
- La pantalla LCD TFT en color facilita la visualización del proceso
- +/-0,0035 Hz sobre muestra de 100 ms
- Almacenamiento de datos USB para capturas de pantalla, almacenamiento de recetas y registro de datos
- Potentes E/S con flexibilidad para integrarse en sistemas sencillos o complejos (mediante entradas (28) y salidas (24 relés, 14 salidas TTL) ampliables, y uso de funciones lógicas (100 sentencias lógicas)
- 6 salidas DAC estándar, 6 adicionales opcionales para el control de la fuente, la velocidad o la supervisión del espesor
- Puede alojar hasta 50 procesos de 200 capas cada uno y los procesos pueden enlazarse entre sí para un máximo de 10.000 capas
- Promedio de sensores múltiples para hasta 8 sensores
La opción XIU de 4 metros ofrece la posibilidad de utilizar cables de sensor en vacío largos para sistemas grandes - Comunicaciones Ethernet opcionales
- Software opcional IC6 Configuration Editor (número de pieza 781-620-G1) - Software Windows® basado en LabVIEW® que permite crear y editar fuera de línea archivos de configuración IC6
y convierte los archivos de configuración IC/5 al formato IC6. - Cumple la directiva RoHS
Aplicaciones típicas
- Revestimiento óptico de alta gama
Especificaciones
Rendimiento de medición | |
Medición/resolución de velocidad y grosor (1) | ±0.00433 Å |
Rango de frecuencia de medición | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) |
Fórmula de proceso y gestión de datos | |
Programas de materiales | 32 |
Capas de proceso (por proceso) | 200 |
Procesos | 50 (processes can be linked together) |
Número de fuentes (2) | up to 6 |
(1) Herramienta/densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz (2) El IC6 tiene 6 salidas DAC estándar, se pueden añadir 6 más como opción. Cualquiera de las 12 puede configurarse como tensiones de control de fuente o salidas de registrador, sin embargo, el número de fuentes que pueden controlarse simultáneamente es de 6. |
Número de parte
Accesorios
Consumibles
Nombre | Descripción |
Front Load Single Sensor | Front Load Single Sensor |
Front Load Dual Sensor | Front Load Dual Sensor |
Cool Drawer Single Sensor | Cool Drawer Single Sensor |
Cool Drawer Dual Sensor | Cool Drawer Dual Sensor |
Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
Easy Rate Dual Sensor | Easy Rate Dual Sensor |
UHV Bakeable Sensor | UHV Bakeable Sensor |
ALD Sensor | ALD Sensor |
Sputtering Sensor | Sputtering Sensor |
CrystalSix® Sensor | CrystalSix® Sensor |
Crystal 12® Sensor | Crystal 12® Sensor
|
Accessories and Replacement Parts | |
Número de parte | Descripción |
779-220-G1 | CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables |
779-220-G2 | CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables |
Oscillator kits | (Includes oscillator and cables) |
781-611-G15 | XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-611-G30 | XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-611-G50 | XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-611-G100 | XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-612-G15 | 4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-612-G30 | 4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-612-G50 | 4 m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-612-G100 | 4m XIU with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-613-G15 | 4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-613-G30 | 4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-613-G50 | 4m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-613-G100 | 4m XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
Oscillator Only | (No cables included) |
781-600-G1 | XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 15 to 183 cm (6 to 72 in.) - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
781-600-G2 | XIU (oscillator) - for XIU to sensor head cable lengths of 3 to 4 m (118 to 157 in.) - For use with Cygnus 2 or IC6 |
Cables | |
600-1261-P100 | 30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
600-1261-P15 | 4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
600-1261-P30 | 9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
600-1261-P50 | 15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU |
755-257-G6 | 15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough |
Configuration Editor Software | |
781-620-G1 | IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format. |
Nombre | Descripción |
---|---|
Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
Descargas
Manuales
IC6 Configuration Editor Manual Version 006
pdf
•
559,1 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
IC6 Configuration Editor Manual
pdf
•
559,1 KB
•
Inglesa
074-380-P1C CrystalTwo Switch IS
pdf
•
469,4 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
IC6 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (English)
pdf
•
8,3 MB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
IC6 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Japanese)
pdf
•
9,8 MB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
Archivos 3D
Otros
Application Note: Auto-Z: A Path to Precision Control of Layer Thinckness (English)
pdf
•
154,7 KB
•
Inglesa
IC6/Cygnus 2 Datalogger (Install File)
zip
•
234,8 MB
•
Inglesa
IC6/Cygnus 2 Datalogger (Project file)
zip
•
645,2 KB
•
Inglesa
Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators ( English)
pdf
•
1,7 MB
•
Inglesa
Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring (English)
pdf
•
1,6 MB
•
Inglesa
Technical Note: The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes (English)
pdf
•
71,8 KB
•
Inglesa
El producto se utiliza en los siguientes mercados