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IC6

Repetir la excelencia

IC6

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El controlador de deposición de película fina IC6 ofrece un valor excepcional al combinar el rendimiento probado de los controladores de película fina de INFICON con características únicas, todas ellas diseñadas para que usted obtenga el máximo rendimiento de su proceso de deposición. El IC6 utiliza nuestro sistema de medición de frecuencia ModeLock para proporcionar una medición de velocidad y espesor estable y de alta resolución con una resolución de velocidad líder en el sector de 0,00433 Å/s cada 1/10 segundos. Ningún otro controlador de cristal de cuarzo tiene el rendimiento, la calidad y las características del IC6, lo que le permite hacer repetible la excelencia.

Características

  • La tecnología INFICON ModeLock garantiza la velocidad y la medición del espesor más estables y de mayor resolución disponibles, incluso a velocidades muy bajas
  • Auto Z mejora la precisión del espesor determinando automáticamente la relación Z a medida que se deposita el material
  • Codeposición de hasta seis fuentes simultáneamente
  • La pantalla LCD TFT en color facilita la visualización del proceso
  • +/-0,0035 Hz sobre muestra de 100 ms
  • Almacenamiento de datos USB para capturas de pantalla, almacenamiento de recetas y registro de datos
  • Potentes E/S con flexibilidad para integrarse en sistemas sencillos o complejos (mediante entradas (28) y salidas (24 relés, 14 salidas TTL) ampliables, y uso de funciones lógicas (100 sentencias lógicas)
  • 6 salidas DAC estándar, 6 adicionales opcionales para el control de la fuente, la velocidad o la supervisión del espesor
  • Puede alojar hasta 50 procesos de 200 capas cada uno y los procesos pueden enlazarse entre sí para un máximo de 10.000 capas
  • Promedio de sensores múltiples para hasta 8 sensores
    La opción XIU de 4 metros ofrece la posibilidad de utilizar cables de sensor en vacío largos para sistemas grandes
  • Comunicaciones Ethernet opcionales
  • Software opcional IC6 Configuration Editor (número de pieza 781-620-G1) - Software Windows® basado en LabVIEW® que permite crear y editar fuera de línea archivos de configuración IC6 
    y convierte los archivos de configuración IC/5 al formato IC6.
  • Cumple la directiva RoHS

Aplicaciones típicas

  • Revestimiento óptico de alta gama

Especificaciones

Rendimiento de medición
Medición/resolución de velocidad y grosor (1)±0.00433 Å
Rango de frecuencia de medición6.0 to 4.5 MHz (fixed)
Fórmula de proceso y gestión de datos
Programas de materiales32
Capas de proceso (por proceso)200
Procesos50 (processes can be linked together)
Número de fuentes (2)up to 6
  
(1) Herramienta/densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz 
(2) El IC6 tiene 6 salidas DAC estándar, se pueden añadir 6 más como opción. Cualquiera de las 12 puede configurarse como tensiones de control de fuente o salidas de registrador, sin embargo, el número de fuentes que pueden controlarse simultáneamente es de 6.

Número de parte

Accesorios
Consumibles
NombreDescripción
Front Load Single SensorFront Load Single Sensor
Front Load Dual SensorFront Load Dual Sensor
Cool Drawer Single SensorCool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual SensorCool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single SensorEasy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual SensorEasy Rate Dual Sensor
UHV Bakeable SensorUHV Bakeable Sensor
ALD SensorALD Sensor
Sputtering SensorSputtering Sensor
CrystalSix® SensorCrystalSix® Sensor
Crystal 12® Sensor

Crystal 12® Sensor

 

Accessories and Replacement Parts
Número de parteDescripción
779-220-G1CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits(Includes oscillator and cables)
781-611-G15XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G30XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G50XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G100XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G154m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G304m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G504 m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G1004m XIU with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G154m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G304m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G504m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G1004m XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
Oscillator Only(No cables included)
781-600-G1XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 15 to 183 cm (6 to 72 in.) - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-600-G2XIU (oscillator) - for XIU to sensor head cable lengths of 3 to 4 m (118 to 157 in.) - For use with Cygnus 2 or IC6
Cables 
600-1261-P10030.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P154.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P309.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P5015.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
755-257-G615.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
Configuration Editor Software 
781-620-G1IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
NombreDescripción
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
Número de parte
El producto se utiliza en los siguientes mercados
Battery-Market-Navi
Baterías

Desde la producción de electrodos hasta las pruebas de final de línea

Más información
Vacuum_Coating-Navi
Recubrimientos al vacío

Los mercados de revestimiento al vacío van mucho más allá de la óptica y se están expandiendo rápidamente a ámbitos, industrias y capas de película que eran casi inimaginables hace sólo diez años.

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